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超高清浄プレッシャートランスデューサ/トランスミッタ

課題:超高清浄プロセスのガス管理を改善

大部分の製造プラントでは、供給先の装置から離れた場所にバルクガス源やキャビネットを設置しています。ツールの利用率や生産稼働時間を向上するには、24時間365日体制でこれらのガス供給の正確なコントロールが重要です。そのためには、圧力レベルを測定、追跡、通知すると同時に、圧力が設定ポイントから外れるとアラートを生成するプレッシャートランスデューサ/トランスミッタを導入することが不可欠です。

解決策:SolidSense II® プレッシャートランスデューサ

SolidSense II® プレッシャートランスデューサは、最先端の半導体プロセスおよびノードで使用される複雑で条件の厳しいガスを処理するために作られています。溶接を使わない耐腐食性材質を採用し、0.25%フルスケール以内の高精度を実現します。また、高品質なステンレスを加工した独自の一体型センサを搭載し、測定するガス種を問わず、卓越した長期安定性を提供します。
シールフリー圧力トランスミッタ
シールフリー圧力トランスミッタ
SolidSense II®シリーズ
SolidSense II®シリーズ
Product Type

Pressure Transmitters (electronic)

Pressure Transducers

Differentiator Single piece design, No seal Ultra-High Purity
圧力レンジ

0-60 psi - 0-150 psi*

*150 psi and 145 psi ranges are available only in the Ultrapure Water Models 32 WA and 33 WA.

-15 psi - 3000 psi
構造材質

Process Wetted: High purity perfluoroalkoxy PFA plastic

       Electrical Enclosure: PolypropylenePressure

                            Sensor: AL2O3

Housing: Stainless steel, polymer plastics
Analog Communication 24 Vdc for current output; 12 - 24 Vdc for voltage output 0-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0.2-5.2 Vdc, 2-10 Vdc, 4-20 mA



認定 / 承認

IP55 Equivalent

Meets CE Standards

Pressure Equipment Directive 97/23/EC as Sound Engineering Standard

EMC: Compliant to EU Directive 2004/108/EC

FM Approved: Non-Incendive for use in Class I, Div II Groups A, B, C and D Hazardous Applications