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高清浄および超高清浄プレッシャーコントローラ

課題:ツールの効果を強化するため、圧力制御を向上

プロセスガス流量を測定し、制御するシステムは、同時かつ精密に圧力を測定・制御することにより、沈着を抑え、プロセス性能を向上することができます。ほとんどの製造工場では、一元管理されたバルクガス源と蒸気キャビネットを設置し、さまざまなツールに供給しています。MFCの入口側と出口側の圧力が変動するのは避けられないため、リアルタイムな圧力管理がなければ、ツールの効率性とウェハーの品質(収率)を改善することはできません。

解決策:PC100シリーズ超高清浄デジタルプレッシャーコントローラ

実績あるブルックスGF 100マスフローコントローラテクノロジーを基に作られたPC100シリーズは、高清浄オールメタル流路、高性能なセンサテクノロジー、先進的な診断機能を備えており、デバイス評価やトラブルシューティングを容易に実行できます。

PC100シリーズは、ブルックス独自の耐腐食ハステロイ® 製C-22センサを備え、低セットポイントでの高い精度を実現し、高温での測定の繰り返し性を向上するとともに、長期安定性を提供します。高速応答時間とセトリングタイムを実現し、ブルックスインスツルメントの半導体用プレッシャーコントローラを導入する装置製造業者やエンドユーザーは、ダウンタイムを低減し、生産性を向上する可能性があります。

製品

SLA7840
SLA7840
PC100  シリーズ
PC100 シリーズ
Product Type

Pressure Controller & Flow Meter

Pressure Controller
Differentiator

Control Mode: Downstream or Upstream

Remote Transducer

Wide Flow & Pressure Range

Control Mode: Downstream or Upstream

Ultra-High Purity

Digital Pressure Control

Pressure Control Range

20:1

> 2 to 100%

流量範囲(フルスケール容量)

Any range from 0 to 3 sccm to 0 to 30,000 sccm N2 Eq.

10 slm (N2 or H2 only)

精度

±1% of rate 20-100% F.S.

±0.2% F.S. < 20% F.S.

Pressure Reading: ± 1% of reading

Pressure Control: ± 0.2% of F.S. <10% F.S.; ± 1% of reading >10% to 100% F.S.

Flow Reading: ± 0.35% of F.S. 2-35% F.S. ; ± 1% of reading >35% F.S

Response Time - NC

< 1 sec typical for a 20-100% setpoint step with max 2% overshoot.

Actual pressure response depends on system design.

< 1 sec typ. (excluding system time constant)

Repeatability

±0.2% of rate

< ±0.2% F.S.

Seal Material Metal Metal
Level of Purity

32 µ inch Ra

5 µ inch Ra

Diagnostic Capability Available

Available

Analog Communication

0 - 5 Vdc

Digital Communication DeviceNet™

DeviceNet™