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製品 半導体製品 高清浄および超高清浄ガスマスフローコントローラ/メータ GF 100 シリーズ
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GF 100 シリーズ

モデル GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121 / GF125 / GF126

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アプリケーションエンジニアにお問合せ：

電話：03-5633-7100

特長

  • 長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下
  • セトリングタイム：300 ms - <700 ms or 700 ms - <1 秒以下
  • フルスケール流量レート 最大300 slpm
  • メタルシール流路：4µ または 10µ インチ Raの表面仕上げオプション
  • 耐腐食ハステロイ® 製T-Riseセンサにより、温度が上昇しても、測定の再現性を向上
  • MultiFlo™ によりガスとレンジのプログラムが可能 — ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、1台のデバイスで数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポート
  • ローカル表示
  • オプションでSDSガス供給
  • DeviceNet™ 、RS-485 L-Protocol、アナログインターフェース

    • メリット

    • 信頼性を実現するため、半導体業界の標準に合わせた連続テストを実行した高性能部品
    • パージ時におけるドライダウン時間を短縮する、表面積とデッ ドボリュームが削減された耐腐食性オールメタル流路
    • MultiFlo™ により、MFCを取り外したり、再キャリブレーションせず、新しいプロセスガスおよび/またはレンジを60秒以下で設定可能
    • 高度構成が可能なプラットフォームにより、Celerity、Mykrolis、Tylan、UNITなどのブランドを含むメタルシールMFCの不意の置き換えやアップグレードにも対応
    • GF120 Safe Delivery System （SDS®）は、インプラントやエッチングプロセスで使用される大気圧以下のSDSガス供給用の、ブルックスの最先端技術を駆使した低圧力損失マスフローコントローラです。
    • デバイスの取り付け、監視、トラブルシューティングが簡単に行える、便利なユーザー表示と独立した診断/サービスポート

    用途

    • 半導体エッチングツール
    • 薄膜化学蒸着（CVD）システム（CVD、MOCVD、PECVD、ALD）
    • 物理蒸着（PVD）システム
    • エピタキシャルプロセスシステム

{67621A02-7699-4F12-BBDC-60D9004F0339}
製品タイプ

Mass Flow Controller

{B39AB522-FCA3-4A92-B76F-8147E7A99DE1}
差別化要因

High Purity/Ultra-High Purity

Standard GF Series

High Flow GF Series

Ultra-Fast Response Time

Pressure Transient Insensitivity

{0F724D3A-A6AF-4AE4-850F-7CB7D98ABC8A}
パフォーマンス
{DD04D52B-F1CB-49CB-8C3C-6DD4DCCE8F47}
流量範囲（フルスケール容量）

Standard GF Series: 3 sccm - 55 slpm

High Flow GF Series: 55 slpm - 300 slpm

{081BE13A-92DA-4DE7-851E-2943A8B79405}
精度

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

{3A51093B-CA51-41BB-881F-3F228AB4B9AC}
再現性
< ±0.15% S.P.
{9642EE73-6469-41B0-9635-D0FC77DE416C}
Linearity

±0.5% F.S. (included in accuracy)

{F6EAA9AA-9EFA-499A-87B8-41E6B509AF51}
レスポンスタイム

Normally Closed Valve:

300 ms - < 700 ms

700 ms - < 1 sec

SDS Gas Delivery: < 3 sec

{02AA87A4-3B1E-4F25-B7D0-105C6C9F9FD1}
Response Time - NO

Normally Open Valve: <1.5 sec (specific models)

{05574362-0330-4B02-B820-5123105D6513}
マルチガス　　マルチレンジ
MultiFlo™ Standard (most models)
{538D3201-786E-4A32-B275-41597E0CE7E0}
供給圧力変動耐性/背圧変動耐性 (安定時)

<5% S.P. for up to 5 psi/sec upstream press. spike

{DF7B02EF-6342-4148-B7F6-794315818D3B}
Control Range

Standard GF Series: < 3-100%

High Flow GF Series: 5-100%

{9C3AA3E1-C5FC-48E8-B36A-C195F8F606DD}
Number of Bins

Standard GF Series: 11 bins

High-Flow GF Series: 4 bins

{438A9418-BB97-43D1-81C5-B0A52D92C0FD}
Valve Shut Down

Standard GF Series: < 1% F.S.

High Flow GF Series: < 2% F.S. @ 30 N2 psig/atm out

{11E8DCA4-4E3B-4975-9BE5-EBA91C80801C}
Zero Stability
< ±0.5% F.S. per year
{39961ABF-0D9C-4C4F-B2E5-DD244D234A9F}
Temperature Coefficient

Span: 0.05% S.P. per °C

Zero: 0.005% F.S. per °C

{92DB7D93-6B51-4A9B-9B45-E7AC9B4F0848}
メカニカル
{00FD366A-9377-49D6-BB7A-C0AF22DC8434}
シール材
Metal
{53181BE2-787E-48EC-8BA0-712085A1CE8C}
表面仕上げ
4 - 10µ inch Ra
{E9DFB78F-5DA5-4974-852B-271C5300CB93}
Wetted Materials

SEMI F20 HP/UHP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

KM-45

{D991E384-0015-45DF-8B6E-4B3975F9EFE5}
Valves

Normally Closed

Normally Open (specific models only)

Meter (no valve)

{E9BE919F-CF9A-4818-A0E0-55DEE43D53A7}
評価
{00DFAA0D-4DDD-4057-8EC1-F713D0EB0233}
最高気温
50oC
{9D73B7BD-D7C3-4C56-B408-FA7D94CD8FED}
Differential Pressure Range

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 10-45 psid

7201-55000 sccm = 15-45 psid

51 slm-300 slm = 30-90 psid

*Typical pressure drops. Contact Brooks Technical Support for more information.

{E7A1C04C-79EC-4FAC-B1E1-BD576CA8D52E}
最高圧力

Standard GF Series: 500 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

{D5A59A33-B974-4ED4-98D8-4C092762422D}
Leak Integrity
1x10-10 atm cc/sec He
{4C4BA641-C44D-4E88-AA7E-98F200705CB6}
診断と表示
{6136989F-23CC-4A62-9BCD-6660E022B2AF}
診断能力
Available

{D549975F-CA5B-4308-944C-1138276AECCC}
Status Lights

MFC Health

Network Status

{E9C0F579-B726-429F-8B14-788F805E8DA1}
警報

Control Valve Output

Network Interruption

{6CF6BE50-F8FF-4B83-98B2-F5AA0B788BAF}
Diagnostic - Service Port

RS-485 via 2.5mm jack (all models)

{4D8488B6-EB3E-4DED-95D7-2D5D6699626F}
Display

Top Mount Integrated LCD

Viewing Angle: Fixed

Viewing Distance: 10 feet

Units Displayed: Flow (%), Temp (°C), Pressure (psia, kPa)

Resolution: 0.1 (unit)

{57E85A87-41A2-4A75-B778-6FC689FC2A65}
Electrical
{B7240DE5-C6E2-4C99-862B-810A5FFE0507}
アナログ通信

0-5 Vdc

{CB62894D-8440-4FCD-9829-5ED4E4050233}
デジタル通信

DeviceNet™

RS485 L-Protocol

{A407DCFB-4517-4752-921F-E0BA3951ED2D}
Electrical Connection

Analog/RS485 via 9-Pin "D" connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" connector

Various cable adaptors available. See product data sheet for more information.

{CAC8E733-6343-4F57-81A0-B1E808EE51AB}
Power Supply - Consumption

Analog/RS485 L Protocol: 6 Watts max @ ±15 Vdc (±10%) or +24 Vdc (±10%)

DeviceNet™: 545 mA max @ +11-25 Vdc, 250 mA max @ 24 Vdc

(Under typical operating conditions)

{A2B444AF-2A63-4013-9661-DA1BCA525685}
コンプライアンス
{BD155239-DD6A-4B7D-B9E9-3D97DFA8423B}
電磁環境適合性

EC Directive 2004/108/EC

CE: EN61326-1: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

{67256706-43E8-4E93-9191-90484E5B5D81}
環境法令遵守

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

GF100 GF101 GF120 GF120XSL GF120XSD GF121 GF125 GF126
差別化要因

High Purity

High Purity

High Flow Rate

 

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response Time

 

SDS Gas Delivery

SDS Gas Delivery

Ultra-High Purity

High Flow Rate

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response Time

Pressure Transient Insensitivity

Ultra-High Purity

High Flow Rate

Pressure Transient Insensitivity
流量範囲（フルスケール容量） 3 sccm - 55 slm

55 slm - 300 slm

 3 sccm - 55 slm >25 sccm - 1 slm 4 - 25 sccm

55 slm - 300 slm

 3 sccm - 55 slm

55 slm - 300 slm
Surface Finish 10µ inch Ra 10µ inch Ra 4µ inch Ra 4µ inch Ra 4µ inch Ra 4µ inch Ra 4µ inch Ra 4µ inch Ra
精度

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%
再現性 < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P.

< ±0.15% S.P.

< ±0.15% S.P.

 < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P.
レスポンスタイム

Normally Closed

<1 sec

Normally Closed

<1 sec

Normally Closed

700 ms

Normally Closed

<3 sec

Normally Closed

<3 sec

Normally Closed

<1 sec

Normally Closed Valve

300ms (3-860 sccm N2 Eq.)

400ms (861-7200 sccm N2 Eq.)

500ms (7201-30000 sccm N2 Eq.)

<700ms (30001-55000 sccm N2 Eq.)

 

Normally Closed Valve

<1 sec

 
Response Time - NO

Normally Open

<1.5 sec

Normally Open

—

Normally Open

<1.5 sec

Normally Open

—

Normally Open

—

Normally Open

—

Normally Open Valve

<1.5 sec

Normally Open Valve

—
マルチガス　　マルチレンジ MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard — — MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard
供給圧力変動耐性/背圧変動耐性 (安定時) — — — — — —

±5% S.P. up to 5 psi/sec upstream press. spike

Ability to measure inlet pressure
診断能力

Status Lights: MFC Health & Network Status

Alarms: Control Valve Output & Network Interruption

Status Lights: MFC Health & Network Status

Alarms: Control Valve Output & Network Interruption

Status Lights: MFC Health & Network Status

Alarms: Control Valve Output & Network Interruption

Status Lights: MFC Health & Network Status

Alarms: Control Valve Output & Network Interruption

Status Lights: MFC Health & Network Status

Alarms: Control Valve Output & Network Interruption

Status Lights: MFC Health & Network Status

Alarms: Control Valve Output & Network Interruption

Status Lights - MFC Health, Network Status

Alarms - Control Valve Output, Network Interruption

Status Lights: MFC Health & Network Status

Alarms: Control Valve Output & Network Interruption
アナログ通信

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc

0-5 Vdc
デジタル通信

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 

RS485 L Protocol

DeviceNet™

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 
Filename File Type Documents By Language
Data Sheet - GF100, GF120, GF125 pdf English
Data Sheet - GF101, GF121, GF126 pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual - GF100 Series pdf English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GF100 Series pdf English

Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: GF100 - AS - G1

Meter Series
Fitting
Connector
 GF1xx AS - 1-1/2” body width, 92 mm 0.440” large bore C Seal (only for bins SH45-SH50)
 BX - Cable adapter to 15 pin D Brooks (Unit “B”,”N”) adapts G1 base
  CX - 1-1/8” body width, 92 mm C Seal
 *DX - DeviceNet™ 5 pin micro
  VX - 1-1/2” body width, 124mm 1/4” VCR male
 EX - Cable adapter to Card Edge (w/o VTP), RS485 through RJ11 jacks (Unit”E”; IN “L”, “R”) adapts GX base
  WX - 1-1/8” body width, 92mm W Seal
 GX - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”); display and overlay 180 degree orientation
    G1 - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”)
    SX - 9 pin D with STEC pin-out (w/VTP) (Unit”S”,”Q”)
Filename File Type
GF100-GF120-GF125-AS-DX DXF
GF100-GF120-GF125-AS-DX IGS
GF100-GF120-GF125-AS-DX STEP
GF100-GF120-GF125-AS-G1 STEP
GF100-GF120-GF125-AS-SX DXF
GF100-GF120-GF125-AS-SX IGS
GF100-GF120-GF125-AS-SX STEP
GF100-GF120-GF125-AX-DX DXF
GF100-GF120-GF125-AX-DX IGS
GF100-GF120-GF125-AX-DX STEP
GF100-GF120-GF125-AX-G1 IGS
GF100-GF120-GF125-AX-G1 STEP
GF100-GF120-GF125-CX-DX STEP
GF100-GF120-GF125-CX-GX DXF
GF100-GF120-GF125-CX-GX IGS
GF100-GF120-GF125-CX-GX STEP
GF100-GF120-GF125-CX-SX DXF
GF100-GF120-GF125-CX-SX STEP
GF100-GF120-GF125-CX-TX DXF
GF100-GF120-GF125-CX-TX IGS
GF100-GF120-GF125-CX-TX STEP
GF100-GF120-GF125-DX-DX DXF
GF100-GF120-GF125-DX-DX IGS
GF100-GF120-GF125-DX-DX STEP
GF100-GF120-GF125-DX-TX DXF
GF100-GF120-GF125-DX-TX IGS
GF100-GF120-GF125-DX-TX STEP
GF100-GF120-GF125-EX-SX DXF
GF100-GF120-GF125-EX-SX IGS
GF100-GF120-GF125-EX-SX DXF
GF100-GF120-GF125-LX-DX DXF
GF100-GF120-GF125-LX-DX IGS
GF100-GF120-GF125-LX-DX STEP
GF100-GF120-GF125-LX-GX DXF
GF100-GF120-GF125-LX-GX IGS
GF100-GF120-GF125-LX-GX STEP
GF100-GF120-GF125-VS-E0 DXF
GF100-GF120-GF125-VS-E0 IGS
GF100-GF120-GF125-VS-E0 STEP
GF100-GF120-GF125-VS-G1 DXF
GF100-GF120-GF125-VS-G1 IGS
GF100-GF120-GF125-VS-G1 STEP
GF100-GF120-GF125-VS-GX DXF
GF100-GF120-GF125-VS-GX IGS
GF100-GF120-GF125-VS-GX STEP
GF100-GF120-GF125-VS-SX DXF
GF100-GF120-GF125-VS-SX IGS
GF100-GF120-GF125-VS-SX STEP
GF100-GF120-GF125-VS-TX DXF
GF100-GF120-GF125-VS-TX IGS
GF100-GF120-GF125-VS-TX STEP
GF100-GF120-GF125-VX-BX STEP
GF100-GF120-GF125-VX-DX STEP
GF100-GF120-GF125-VX-E0 DXF
GF100-GF120-GF125-VX-E0 IGS
GF100-GF120-GF125-VX-E0 STEP
GF100-GF120-GF125-VX-EX STEP
GF100-GF120-GF125-VX-G1 dxf
GF100-GF120-GF125-VX-G1-STEP STEP
GF100-GF120-GF125-VX-GX-STEP STEP
GF100-GF120-GF125-VX-KX DXF
GF100-GF120-GF125-VX-KX IGS
GF100-GF120-GF125-VX-KX STEP
GF100-GF120-GF125-VX-SX DXF
GF100-GF120-GF125-VX-SX-STEP STEP
GF100-GF120-GF125-WX-DX DXF
GF100-GF120-GF125-WX-DX IGS
GF100-GF120-GF125-WX-DX STEP
GF100-GF120-GF125-WX-GX-STEP STEP
GF100-GF120-GF-125-WX-SX DXF
GF100-GF120-GF-125-WX-SX IGS
GF100-GF120-GF-125-WX-SX STEP
GF101-GF-121-GF126-C1-DX DXF
GF101-GF-121-GF126-C1-DX IGS
GF101-GF-121-GF126-C1-DX STEP
GF101-GF121-GF126-V1-D0 DXF
GF101-GF121-GF126-V1-D0 IGS
GF101-GF121-GF126-V1-D0 STEP
GF101-GF121-GF126-V1-DX DXF
GF101-GF121-GF126-V1-DX IGS
GF101-GF121-GF126-V1-DX STEP
GF101-GF-121-GF126-V1-EX DXF
GF101-GF-121-GF126-V1-EX IGS
GF101-GF-121-GF126-V1-EX STEP
GF101-GF121-GF126-V1-G1 DXF
GF101-GF121-GF126-V1-G1 IGS
GF101-GF121-GF126-V1-G1 STEP
GF101-GF121-GF126-V2-DX STEP
GF101-GF121-GF126-V2-G1 DXF
GF101-GF121-GF126-V2-G1 IGS
GF101-GF121-GF126-V2-G1 STEP
GF101-GF121-GF126-V2-SX DXF
GF101-GF121-GF126-V2-SX IGS
GF101-GF121-GF126-V2-SX STEP
0250 シリーズ
0250 シリーズ

4デバイスまでのコントロールと権限

MultiFlo™コンフィギュレータ
MultiFlo™コンフィギュレータ
MultiFlo™テクノロジーは、ブルックスインスツルメントによって特許取得された技術で、プロセスエンジニアに独自のリソースを提供します。総合的なガスデータベースは、様々なガスの熱的および物理的特性の違いを 補正する関数を確立するための数千もの実ガステストに基づいて構築されています。