GF 100 シリーズ

モデル GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121 / GF125 / GF126

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アプリケーションエンジニアにお問合せ：

電話：03-5633-7100

特長

長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下
セトリングタイム：300 ms - <700 ms or 700 ms - <1 秒以下
フルスケール流量レート最大300 slpm
メタルシール流路：4µ または 10µ インチ Raの表面仕上げオプション
耐腐食ハステロイ® 製T-Riseセンサにより、温度が上昇しても、測定の再現性を向上
MultiFlo™ によりガスとレンジのプログラムが可能 — ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、1台のデバイスで数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポート
ローカル表示
オプションでSDSガス供給
DeviceNet™ 、RS-485 L-Protocol、アナログインターフェース

メリット

信頼性を実現するため、半導体業界の標準に合わせた連続テストを実行した高性能部品
パージ時におけるドライダウン時間を短縮する、表面積とデッドボリュームが削減された耐腐食性オールメタル流路
MultiFlo™ により、MFCを取り外したり、再キャリブレーションせず、新しいプロセスガスおよび/またはレンジを60秒以下で設定可能
高度構成が可能なプラットフォームにより、Celerity、Mykrolis、Tylan、UNITなどのブランドを含むメタルシールMFCの不意の置き換えやアップグレードにも対応
GF120 Safe Delivery System （SDS®）は、インプラントやエッチングプロセスで使用される大気圧以下のSDSガス供給用の、ブルックスの最先端技術を駆使した低圧力損失マスフローコントローラです。
デバイスの取り付け、監視、トラブルシューティングが簡単に行える、便利なユーザー表示と独立した診断/サービスポート

用途

半導体エッチングツール
薄膜化学蒸着（CVD）システム（CVD、MOCVD、PECVD、ALD）
物理蒸着（PVD）システム
エピタキシャルプロセスシステム

製品タイプ

Mass Flow Controller

差別化要因

High Purity/Ultra-High Purity

Standard GF Series

High Flow GF Series

Ultra-Fast Response Time

Pressure Transient Insensitivity

パフォーマンス

流量範囲（フルスケール容量）

Standard GF Series: 3 sccm - 55 slm

High Flow GF Series: 55 slm - 300 slm

精度

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

再現性

< ±0.15% S.P.

Linearity

±0.5% F.S. (included in accuracy)

レスポンスタイム

Normally Closed Valve:

300 ms - < 700 ms

700 ms - < 1 sec

SDS Gas Delivery: < 3 sec

Response Time - NO

Normally Open Valve: <1.5 sec (specific models)

マルチガス　　マルチレンジ

MultiFlo™ Standard (most models)

供給圧力変動耐性/背圧変動耐性 (安定時)

<5% S.P. for up to 5 psi/sec upstream press. spike

Control Range

Standard GF Series: < 3-100%

High Flow GF Series: 5-100%

Number of Bins

Standard GF Series: 11 bins

High-Flow GF Series: 4 bins

Valve Shut Down

Standard GF Series: < 1% F.S.

High Flow GF Series: < 2% F.S. @ 30 N2 psig/atm out

Zero Stability

< ±0.5% F.S. per year

Temperature Coefficient

Span: 0.05% S.P. per °C

Zero: 0.005% F.S. per °C

メカニカル

シール材

Metal

表面仕上げ

4 - 10µ inch Ra

Wetted Materials

SEMI F20 HP/UHP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

KM-45

Valves

Normally Closed

Normally Open (specific models only)

Meter (no valve)

評価

最高気温

50^oC

Differential Pressure Range

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 10-45 psid

7201-55000 sccm = 15-45 psid

51 slm-300 slm = 30-90 psid

*Typical pressure drops. Contact Brooks Technical Support for more information.

最高圧力

Standard GF Series: 500 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

Leak Integrity

1x10^-10 atm cc/sec He

診断と表示

診断能力

Available

Status Lights

MFC Health

Network Status

警報

Control Valve Output

Network Interruption

Diagnostic - Service Port

RS-485 via 2.5mm jack (all models)

Display

Top Mount Integrated LCD

Viewing Angle: Fixed

Viewing Distance: 10 feet

Units Displayed: Flow (%), Temp (°C), Pressure (psia, kPa)

Resolution: 0.1 (unit)

Electrical

アナログ通信

0-5 Vdc

デジタル通信

DeviceNet™

RS485 L-Protocol

Electrical Connection

Analog/RS485 via 9-Pin "D" connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" connector

Various cable adaptors available. See product data sheet for more information.

Power Supply - Consumption

Analog/RS485 L Protocol: 6 Watts max @ ±15 Vdc (±10%) or +24 Vdc (±10%)

DeviceNet™: 545 mA max @ +11-25 Vdc, 250 mA max @ 24 Vdc

(Under typical operating conditions)

コンプライアンス

電磁環境適合性

EC Directive 2004/108/EC

CE: EN61326-1: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

環境法令遵守

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

	GF100	GF101	GF120	GF120XSL	GF120XSD	GF121	GF125	GF126
差別化要因	High Purity	High Purity High Flow Rate	Ultra-High Purity Ultra-Fast Response Time	SDS Gas Delivery	SDS Gas Delivery	Ultra-High Purity High Flow Rate	Ultra-High Purity Ultra-Fast Response Time Pressure Transient Insensitivity	Ultra-High Purity High Flow Rate Pressure Transient Insensitivity
流量範囲（フルスケール容量）	3 sccm - 55 slm	55 slm - 300 slm	3 sccm - 55 slm	>25 sccm - 1 slm	4 - 25 sccm	55 slm - 300 slm	3 sccm - 55 slm	55 slm - 300 slm
Surface Finish	10µ inch Ra	10µ inch Ra	4µ inch Ra	4µ inch Ra	4µ inch Ra	4µ inch Ra	4µ inch Ra	4µ inch Ra
精度	±1% S.P. > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% S.P. > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% S.P. > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% S.P. > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% S.P. > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% S.P. > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% S.P. > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%	±1% S.P. > 35-100% ±0.35% F.S. 2-35%
再現性	< ±0.15% S.P.	< ±0.15% S.P.	< ±0.15% S.P.	< ±0.15% S.P.	< ±0.15% S.P.	< ±0.15% S.P.	< ±0.15% S.P.	< ±0.15% S.P.
レスポンスタイム	Normally Closed <1 sec	Normally Closed <1 sec	Normally Closed 700 ms	Normally Closed <3 sec	Normally Closed <3 sec	Normally Closed <1 sec	Normally Closed Valve 300ms (3-860 sccm N2 Eq.) 400ms (861-7200 sccm N2 Eq.) 500ms (7201-30000 sccm N2 Eq.) <700ms (30001-55000 sccm N2 Eq.)	Normally Closed Valve <1 sec
Response Time - NO	Normally Open <1.5 sec	Normally Open —	Normally Open <1.5 sec	Normally Open —	Normally Open —	Normally Open —	Normally Open Valve <1.5 sec	Normally Open Valve —
マルチガス　　マルチレンジ	MultiFlo™ Standard	MultiFlo™ Standard	MultiFlo™ Standard	—	—	MultiFlo™ Standard	MultiFlo™ Standard	MultiFlo™ Standard
供給圧力変動耐性/背圧変動耐性 (安定時)	—	—	—	—	—	—	±5% S.P. up to 5 psi/sec upstream press. spike	Ability to measure inlet pressure
診断能力	Status Lights: MFC Health & Network Status Alarms: Control Valve Output & Network Interruption	Status Lights: MFC Health & Network Status Alarms: Control Valve Output & Network Interruption	Status Lights: MFC Health & Network Status Alarms: Control Valve Output & Network Interruption	Status Lights: MFC Health & Network Status Alarms: Control Valve Output & Network Interruption	Status Lights: MFC Health & Network Status Alarms: Control Valve Output & Network Interruption	Status Lights: MFC Health & Network Status Alarms: Control Valve Output & Network Interruption	Status Lights - MFC Health, Network Status Alarms - Control Valve Output, Network Interruption	Status Lights: MFC Health & Network Status Alarms: Control Valve Output & Network Interruption
アナログ通信	0-5 Vdc	0-5 Vdc	0-5 Vdc	0-5 Vdc	0-5 Vdc	0-5 Vdc	0-5 Vdc	0-5 Vdc
デジタル通信	RS485 L Protocol DeviceNet™	RS485 L Protocol DeviceNet™	RS485 L Protocol DeviceNet™	RS485 L Protocol DeviceNet™	RS485 L Protocol DeviceNet™	RS485 L Protocol DeviceNet™	RS485 L Protocol DeviceNet™	RS485 L Protocol DeviceNet™

Filename	File Type	Documents By Language
Data Sheet - GF100, GF120, GF125	pdf	English
Data Sheet - GF101, GF121, GF126	pdf	English
Installation & Operation Manual	pdf	English
DeviceNet™ Supplemental Manual - GF100 Series	pdf	English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GF100 Series	pdf	English

Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: GF100 - AS - G1

Meter Series	Fitting	Connector
GF1xx	AS - 1-1/2” body width, 92 mm 0.440” large bore C Seal (only for bins SH45-SH50)	BX - Cable adapter to 15 pin D Brooks (Unit “B”,”N”) adapts G1 base
	CX - 1-1/8” body width, 92 mm C Seal	*DX - DeviceNet™ 5 pin micro
	VX - 1-1/2” body width, 124mm 1/4” VCR male	EX - Cable adapter to Card Edge (w/o VTP), RS485 through RJ11 jacks (Unit”E”; IN “L”, “R”) adapts GX base
	WX - 1-1/8” body width, 92mm W Seal	GX - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”); display and overlay 180 degree orientation
		G1 - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”)
		SX - 9 pin D with STEC pin-out (w/VTP) (Unit”S”,”Q”)

Filename	File Type
GF100-GF120-GF125-AS-G1	STEP
GF100-GF120-GF125-AS-SX	DXF
GF100-GF120-GF125-AS-SX	IGS
GF100-GF120-GF125-AS-SX	STEP
GF100-GF120-GF125-AX-DX	DXF
GF100-GF120-GF125-AX-DX	IGS
GF100-GF120-GF125-AX-DX	STEP
GF100-GF120-GF125-AX-G1	IGS
GF100-GF120-GF125-AX-G1	STEP
GF100-GF120-GF125-CX-DX	STEP
GF100-GF120-GF125-CX-GX	DXF
GF100-GF120-GF125-CX-GX	IGS
GF100-GF120-GF125-CX-GX	STEP
GF100-GF120-GF125-CX-SX	DXF
GF100-GF120-GF125-CX-SX	STEP
GF100-GF120-GF125-CX-TX	DXF
GF100-GF120-GF125-CX-TX	IGS
GF100-GF120-GF125-CX-TX	STEP
GF100-GF120-GF125-DX-DX	DXF
GF100-GF120-GF125-DX-DX	IGS
GF100-GF120-GF125-DX-DX	STEP
GF100-GF120-GF125-DX-TX	DXF
GF100-GF120-GF125-DX-TX	IGS
GF100-GF120-GF125-DX-TX	STEP
GF100-GF120-GF125-EX-SX	DXF
GF100-GF120-GF125-EX-SX	IGS
GF100-GF120-GF125-EX-SX	DXF
GF100-GF120-GF125-LX-DX	DXF
GF100-GF120-GF125-LX-DX	IGS
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GF100-GF120-GF125-LX-GX	DXF
GF100-GF120-GF125-LX-GX	IGS
GF100-GF120-GF125-LX-GX	STEP
GF100-GF120-GF125-VS-E0	DXF
GF100-GF120-GF125-VS-E0	IGS
GF100-GF120-GF125-VS-E0	STEP
GF100-GF120-GF125-VS-G1	DXF
GF100-GF120-GF125-VS-G1	IGS
GF100-GF120-GF125-VS-G1	STEP
GF100-GF120-GF125-VS-GX	DXF
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GF100-GF120-GF125-VS-GX	STEP
GF100-GF120-GF125-VS-SX	DXF
GF100-GF120-GF125-VS-SX	IGS
GF100-GF120-GF125-VS-SX	STEP
GF100-GF120-GF125-VS-TX	DXF
GF100-GF120-GF125-VS-TX	IGS
GF100-GF120-GF125-VS-TX	STEP
GF100-GF120-GF125-VX-BX	STEP
GF100-GF120-GF125-VX-DX	STEP
GF100-GF120-GF125-VX-E0	DXF
GF100-GF120-GF125-VX-E0	IGS
GF100-GF120-GF125-VX-E0	STEP
GF100-GF120-GF125-VX-EX	STEP
GF100-GF120-GF125-VX-G1	dxf
GF100-GF120-GF125-VX-G1-STEP	STEP
GF100-GF120-GF125-VX-GX-STEP	STEP
GF100-GF120-GF125-VX-KX	DXF
GF100-GF120-GF125-VX-KX	IGS
GF100-GF120-GF125-VX-KX	STEP
GF100-GF120-GF125-VX-SX	DXF
GF100-GF120-GF125-VX-SX-STEP	STEP
GF100-GF120-GF125-WX-DX	DXF
GF100-GF120-GF125-WX-DX	IGS
GF100-GF120-GF125-WX-DX	STEP
GF100-GF120-GF125-WX-GX-STEP	STEP
GF100-GF120-GF-125-WX-SX	DXF
GF100-GF120-GF-125-WX-SX	IGS
GF100-GF120-GF-125-WX-SX	STEP
GF101-GF-121-GF126-C1-DX	DXF
GF101-GF-121-GF126-C1-DX	IGS
GF101-GF-121-GF126-C1-DX	STEP
GF101-GF121-GF126-V1-D0	DXF
GF101-GF121-GF126-V1-D0	IGS
GF101-GF121-GF126-V1-D0	STEP
GF101-GF121-GF126-V1-DX	DXF
GF101-GF121-GF126-V1-DX	IGS
GF101-GF121-GF126-V1-DX	STEP
GF101-GF-121-GF126-V1-EX	DXF
GF101-GF-121-GF126-V1-EX	IGS
GF101-GF-121-GF126-V1-EX	STEP
GF101-GF121-GF126-V1-G1	DXF
GF101-GF121-GF126-V1-G1	IGS
GF101-GF121-GF126-V1-G1	STEP
GF101-GF121-GF126-V2-DX	STEP
GF101-GF121-GF126-V2-G1	DXF
GF101-GF121-GF126-V2-G1	IGS
GF101-GF121-GF126-V2-G1	STEP
GF101-GF121-GF126-V2-SX	DXF
GF101-GF121-GF126-V2-SX	IGS
GF101-GF121-GF126-V2-SX	STEP

0250 シリーズ

4デバイスまでのコントロールと権限

MultiFlo™コンフィギュレータ

MultiFlo™テクノロジーは、ブルックスインスツルメントによって特許取得された技術で、プロセスエンジニアに独自のリソースを提供します。総合的なガスデータベースは、様々なガスの熱的および物理的特性の違いを補正する関数を確立するための数千もの実ガステストに基づいて構築されています。

GF 100 シリーズ

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メリット

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