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メタルシール プレッシャーコントローラ

安定した圧力制御と高いプロセスガス清浄度。プロセスの成果を最大限に拡大

ブルックスインスツルメントのメタルシールプレッシャーコントローラは、信頼性と耐久性に優れた構造です。流体測定および制御のリーダーならではの継続的かつ実績のある精度には、世界のユーザーが信頼を寄せています。ブルックスの電子式プレッシャーコントローラは、業界をリードするサーマル式マスフローコントローラにも搭載されているコア制御テクノロジーを採用しています。

電子式プレッシャーコントローラは、従来のスプリング式ダイアフラム圧力レギュレータで起こりがちなドループやヒステリシスを排除します。また、メタルシールプレッシャーコントローラは、エラストマによる透過酸素を防ぐことによってガスの清浄度を向上し、メタルシールが永久的に継続するので、メンテナンス回数を減らすことができます。

ブルックスのプレッシャーコントローラは、500 psigからの圧力を制御する内蔵圧力センサが付属するモデルもあります。その結果、 プレッシャーコントローラによりクリティカルな半導体プロセスの的確性を維持し、数時間、または数日間連続して厳密な制御を行うことができます。

主な用途

  • シリコン半導体デバイス製造プロセス - エッチング、ストリップ、CVD、ALD、PVD、Epi、拡散、インプラント、RTP(急速熱処理)など
  • 複合半導体デバイス製造プロセス - MOCVD
  • 精密設計の表面被膜
  • 解析システム
  • 真空プロセスアプリケーション
お客様のプロジェクト要件に最適なプレッシャーコントローラデバイスを選択してください。

製品

SLA7840
SLA7840
PC100  シリーズ
PC100 シリーズ
機種

Pressure Controller & Flow Meter

Pressure Controller
特長

Control Mode: Downstream or Upstream

Remote Transducer

Wide Flow & Pressure Range

Control Mode: Downstream or Upstream

Ultra-High Purity

Digital Pressure Control

Pressure Control Range

20:1

> 2 to 100%

流量範囲(フルスケール容量)

Any range from 0 to 3 sccm to 0 to 30,000 sccm N2 Eq.

10 slm (N2 or H2 only)

精度

±1% of rate 20-100% F.S.

±0.2% F.S. < 20% F.S.

Pressure Reading: ± 1% of reading

Pressure Control: ± 0.2% of F.S. <10% F.S.; ± 1% of reading >10% to 100% F.S.

Flow Reading: ± 0.35% of F.S. 2-35% F.S. ; ± 1% of reading >35% F.S

Response Time - NC

< 1 sec typical for a 20-100% setpoint step with max 2% overshoot.

Actual pressure response depends on system design.

< 1 sec typ. (excluding system time constant)

Repeatability

±0.2% of rate

< ±0.2% F.S.

Seal Material Metal Metal
Level of Purity

32 µ inch Ra

5 µ inch Ra

Diagnostic Capability Available

Available

Analog Communication

0 - 5 Vdc

デジタル通信 DeviceNet™

DeviceNet™