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キャパシタンスマノメータ

先進のマノメーターテクノロジーは、真空精度を維持します

真空容器には、プロセス収率を維持するために達成しなければならない正確なTorrレベルが設定されています。高い信頼性で測定を実行する業界トップの機能を搭載するブルックスインスツルメントのキャパシタンスマノメータ。測定の信頼性を高め、ドリフトを削減し、ダイアフラム耐汚染性を向上するとともに、熱による影響を最小限に抑えます。ブルックスキャパシタンスマノメータは完全デジタルデバイスで、幅広いダイナミックレンジによる動作と超高精度測定を実現します。その結果、あらゆる真空測定アプリケーションに適した絶対的信頼性のキャパシタンスマノメータが完成しました。

主な用途

  • 超電導体製造
  • 薄膜蒸着プロセス - ガラス、ウェブ、光学被膜
  • 生鮮素材のフリーズドライ
  • 医療機器のハイテクコーティング(外科手術器具、歯科用ドリルなど)

お客様のプロジェクト要件に最適なキャパシタンスマノメータを選択してください。

 



※2020年10月キャパシタンスマノメータの正規代理店にメガトール株式会社を追記しました。
当社製品の真空計測キャパシタンスマノメータに関するお問い合わせはメガトール社までお願いいたします。
▶ Brooks Instrument 製キャパシタンスマノメータ商流変更のご連絡

メガトール株式会社 本社 営業部
〒231-0024 神奈川県横浜市中区吉浜町2-14 4F
T: 045-222-0035 F: 045-222-0016

製品

CMC  シリーズ
CMC シリーズ
XacTorr®  シリーズ
XacTorr® シリーズ
製品タイプ Capacitance Manometer Capacitance Manometer
差別化要因

Unheated

Heated or Unheated

Analog or Digital

 

圧力レンジ

10, 20, 50, 100 and 1000 Torr Full Scale

0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr

mBar & Pascal References Available

精度

Type A = 0.25% of Reading

Type B = 0.50% of Reading

CMX0: 0.25% of Reading

CMX1, CMX2: 1 to 1000 Torr Ranges = 0.15% of Reading

CMX1, CMX2: < 1 Torr Ranges = 0.25% of Reading

温度 Ambient

CMX0 Ambient

CMX1 45°C

CMX2 100°C

CMX3 160°C

アナログ通信

0-10 Vdc (<10k Ohm load)

0-10 Vdc 5k Ohm load
デジタル通信

DeviceNet™

RS485

サイズ Compact Large