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SLAMf シリーズエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ

精密マスフローコントロール。厳しい環境にも対応する耐久性
モデル SLAMf50 / SLAMf60 / SLAMf51 / SLAMf61 / SLAMf53 / SLAMf63
粉塵、湿度、極端な温度、水分など、どんな厳しい条件でも、SLAMfシリーズエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータなら、実証済みのSLA5800ファミリのメータとコントローラならではの高い精度と長期安定性を実現します。特殊設計のNEMA4X/IP66規格筐体により、高度なデジタル電子部品を保護し、プロセスに不可欠なガス/流体マスフローの安定した正確な測定と制御を行います。

お問合せ先

アプリケーションエンジニアにお問合せ:

電話:03-5633-7100

SLAMf シリーズ データシート

特長

  • NEMA4X / IP66級の高耐久性筐体
  • 幅広い定格流量 - 0.003から2500 slpm
  • 幅広い温度と圧力条件に対応
  • 業界をリードするサーマルフロー測定センサテクノロジーにより、優れた精度を実現
  • 設定可能なマルチガス/マルチレンジ機能
  • 先進的な自己診断ルーチンと独立した診断用サービスポートを備え、MFCを取り外すことなく、ユーザーによるトラブルシューティングや流量条件の変更が可能
  • DeviceNet®, Profibus®, RS-485, アナログインターフェースなど、広範囲な通信オプション

メリット

  • 高耐久性のデバイス筐体により、厳しい条件でも高いプロセス精度と制御を実現
  • 独自のサーマルセンサテクノロジーにより、低セットポイントにおけるS/N比を改善
  • センサの長期安定性により、メンテナンスや定期的な再キャリブレーションの必要がない
  • デバイス1台で、最大6種類までキャリブ レーションのプログラムが可能
  • ユーザーがアクセスしやすいサービスポートを搭載し、取り付け、トラブルシューティング、診断作業を簡素化
  • グローバルスタンダードに基づいた高性能の計測システムやキャリブレーションにより、高い精度を実現
  • 数種類のプロトコル通信インターフェースにより、既存システムへの組み込みを合理化

用途

  • 石油化学および化学ガスのパイロットプラント
  • ライフサイエンスバイオリアクタ
  • 食品加工におけるブランケティング
Product Type
Mass Flow Controller
Differentiator

NEMA 4X/IP66 Approved Enclosure

Perfect for Hose Down/Wash Down Applications

Hazardous Area Approvals

 

Performance
流量範囲(フルスケール容量)
.003 - 2500 slpm
精度

Up to 100 lpm: 0.90% of SP (20-100% FS)

0.18% of FS (2-20% FS, 1-20% FS from 1 - 50 lpm)

100 - 2500 lpm: 0.90% of SP (20-100% FS)

100 - 1100 lpm: 0.18% of FS (2-20% FS)

1100 - 2500 lpm: 1.0% of FS

Repeatability

0.20% SP

Linearity

Included in Accuracy

Response Time - NC

<1 second up to 100 lpm

<3 seconds up to 2500 lpm

Multi-Gas Multi-Range

Standard

最大圧力

Up to 100 lpm: 1500 psi/100 bar

Up to 50 lpm: 4500psi/310 bar (optional)

100-2500 lpm:  1000 psi/70 bar

Control Range

1-50 slpm: 100:1 Turndown for F.S.

50-2500 lpm: 50:1 Turndown for F.S.

Zero Stability

< 0.2% F.S. per year

Temperature Coefficient

Zero: <0.05% of F.S. per °C

Span: < 0.1% of S.P. per °C

Pressure Coefficient

±0.03% per psi (0-200 psi N2)

Attitude Sensitivity

<0.2% F.S. maximum deviation from specified accuracy after re-zeroing

Ratings
最大温度
65oC
Differential Pressure Range

Controllers

Up to 50 lpm: 5 psi/0.35 bar min - 1500 psi/103.4 bar max

50-100 lpm: 10 psi/0.69 bar min -  50 psi/3.45 bar max

500 lpm: 7.5 psi/0.52 bar min - 300 psi/20.0 bar max

1000 lpm: 14.5 psi/1.00 bar min - 300 psi/20.0 bar max

2500 lpm: 35.0 psi/2.41 bar min - 300 psi/20.0 bar max

 

Leak Integrity
1x10-9 atm cc/sec He
Mechanical

Seal Material
Elastomer Seal
Wetted Materials

316L Stainless Steel

High Alloy Stainless Steel

Viton® Fluoroelastomers

Buna-N

Kalrez®

Teflon®/Kalrez®

EPDM

Valves

Normally Closed

Normally Open

Meter (no valve)

Diagnostics

 

Diagnostic Capability
Available

Status Lights

MFC Health, Network Status

Alarms

Sensor Output

Control Valve Output

Over Temperature

Power Surge/Sag

Network Interruption

Diagnostic - Service Port

RS485 via 2.5mm jack

Electrical

Analog Communication
0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA



Digital Communication
DeviceNet™
FOUNDATIONTM Fieldbus
Profibus®
RS485





Electrical Connection

DeviceNet™: 1 x M12 with threaded coupling nut (B)

Profibus®: 1 x 15-pin Male Sub-D
1 x 9-pin female Sub-D

RS485: 1 x 15-pin Male Sub-D, (A)

Power Supply - Consumption

Analog / Profibus® / RS-485

Valve Orifice > 0.032": 8 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032": 5 Watts

Without Valve: 2 Watts

DeviceNet™

Valve Orifice > 0.032": 10 Watts

Valve Orifice ≤ 0.032":  7 Watts

Without Valve: 4 Watts

Compliance
認定 / 承認

ISO/IEC 17025:2005

CE: EMC, RoHs, PED

UL Listed/Recognized:

Class 1, Div 2, Group A,B,C,D

Class 1, Zone 2, IIC T4, Class II, Zone 22

ATEX:

II 3 G Ex nA IIC T4 Gc 

II 3 D Ex tc IIIC T 85°C Dc

IECEx:

Ex nA IIC T4 Gc 

Ex tc IIIC T 85°C Dc 

KOSHA:

Ex nA IIC T4

Ex tc IIIC T85°C Dc

Environmental Compliance

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

サイズ
Large
SLAMf50 SLAMf60 SLAMf51 SLAMf61 SLAMf53

SLAMf63

Product Type Mass Flow Controller Mass Flow Meter Mass Flow Controller Mass Flow Meter Mass Flow Controller Mass Flow Meter
Differentiator

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

流量範囲(フルスケール容量) 0.003 - 50 slpm 0.003 - 50 slpm 15 - 200 slpm 15 - 200 slpm 100 - 2500 slpm 100 - 2500 slpm
最大圧力 1500 psi / 100 bar 1500 psi / 100 bar 1500 psi / 100 bar 1500 psi / 100 bar 1000 psi / 70 bar 1000 psi / 70 bar
精度

0.9% S.P. (20-100% F.S.)

0.18% F.S. (2-20% F.S., 1-20% F.S. from 1-50 lpm)

0.9% S.P. (20-100% F.S.)

0.18% F.S. (2-20% F.S., 1-20% F.S. from 1-50 lpm)

0.9% S.P. (20-100% F.S.)

0.18% F.S. (2-20% F.S., 1-20% F.S. from 1-50 lpm)

0.9% S.P. (20-100% F.S.)

0.18% F.S. (2-20% F.S., 1-20% F.S. from 1-50 lpm)

100 - 2500 lpm: 0.9% S.P. (20-100% F.S.)

100 - 1100 lpm: 0.18% of F.S. (2-20% F.S.)

1100 - 2500 lpm: 1.0% of F.S.

100 - 2500 lpm: 0.9% S.P. (20-100% F.S.)

100 - 1100 lpm: 0.18% of F.S. (2-20% F.S.)

1100 - 2500 lpm: 1.0% of F.S.

Repeatability 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P. 0.20% S.P.
Response Time - NC <1 second <1 second <1 second <1 second <3 seconds <3 seconds
Multi-Gas Multi-Range Standard Standard Standard Standard Standard Standard
Diagnostic Capability

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Status Lights - MFC Health , Network Status

Alarms - Sensor Output, control Valve output, Over Temperature, Power Surge/Sag, Network Interruption

Diagnostic/Service Port - RS485 via 2.5 mm jack

Analog Communication

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc, 1-5 Vdc, 0-10 Vdc, 0-20 mA, 4-20 mA

Digital Communication

DeviceNet™

Profibus®

FOUNDATIONTM Fieldbus

RS-485

DeviceNet™

Profibus®

FOUNDATIONTM Fieldbus

RS-485

DeviceNet™

Profibus®

FOUNDATIONTM Fieldbus

RS-485

DeviceNet™

Profibus®

FOUNDATIONTM Fieldbus

RS-485

DeviceNet™

Profibus®

FOUNDATIONTM Fieldbus

RS-485

DeviceNet™

Profibus®

FOUNDATIONTM Fieldbus

RS-485

FilenameFile TypeDocuments By Language
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual - Revision B pdf English Korean
Installation & Operation Manual - Revision A pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf Mass Flow pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf pdf English
Profibus® Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf pdf English
RS485 Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English

Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: SLAMf60 - S - B1 - 0 - Y - RevB

Meter Series
Digital Communications I/O
Mechanical Connection
(Body size 0 & 1 only)
Valve Type
Analog Communications I/O
Revision Level
 SLAMf5x  S - RS485 (select applicable analog I/O)
 B1 - 1/4” tube compression w/Filter
 0 - None (Sensor only)
 Y - 4-20 mA / 0-5 V M20x1.5 Conduit
 RevB
 SLAMf6x
 
     

 *See data sheet for more options

 

FilenameFile Type
SLAMF50-S-1E-1-J-RevB IGS
SLAMF50-S-1E-1-J-RevB STEP
SLAMF50-S-1E-1-J-RevB DXF
SLAMF50-S-1E-1-K-RevB IGS
SLAMF50-S-1E-1-K-RevB DXF
SLAMF50-S-1E-1-K-RevB STEP
SLAMF50-S-1E-1-Y-RevB DXF
SLAMF50-S-1E-1-Y-REVB IGS
SLAMF50-S-1E-1-Y-REVB STEP
SLAMF50-S-1H-1-Y-RevB STEP
SLAMF50-S-1H-1-Y-RevB DXF
SLAMF50-S-1H-1-Y-RevB IGS
SLAMF51-S-1E-1-F-REVB DXF
SLAMF51-S-1E-1-F-REVB IGS
SLAMF51-S-1E-1-F-REVB STEP
SLAMF51-S-1E-1-Y-REVB IGS
SLAMF51-S-1E-1-Y-REVB STEP
SLAMF51-S-1E-1-Y-REVB DXF
SLAMF53-S-2E-2-G-REVB DXF
SLAMF53-S-2E-2-G-REVB IGS
SLAMF53-S-2E-2-G-REVB STEP
SLAMF53-S-2P-2-G-REVB DXF
SLAMF53-S-2P-2-G-REVB IGS
SLAMF53-S-2P-2-G-REVB STEP
SLAMF53-S-2P-2-Y-REVB DXF
SLAMF53-S-2P-2-Y-REVB STEP
SLAMF53-S-2P-2-Y-REVB IGS
SLAMF53-S-2X-3-G-REVB DXF
SLAMF53-S-2X-3-G-REVB IGS
SLAMF53-S-2X-3-G-REVB STEP
SLAMf60-S-B1-0-Y-RevB-STEP STEP
SLAMF60-S-1G-0-G-RevB STEP
SLAMF60-S-1G-0-G-RevB IGS
SLAMF60-S-1P-0-K-REVB DXF
SLAMF60-S-1P-0-K-REVB IGS
SLAMF61-R-1J-0-A-REVB DXF
SLAMF61-R-1J-0-A-REVB IGS
SLAMF61-S-1G-0-K-REVB DXF
SLAMF61-S-1G-0-K-REVB IGS
SLAMF61-S-1P-0-K-REVB DXF
SLAMF61-S-1P-0-K-REVB STEP
SLAMF61-S-1P-0-K-REVB IGS
SLAMF63-P-2E-0-K-RevB STEP
SLAMF63-P-2E-0-K-RevB IGS
SLAMF63-S-2D-0-G-REVB STEP
SLAMF63-S-2D-0-G-REVB DXF
SLAMF63-S-2D-0-G-REVB IGS
SLAMF63-S-2E-0-K-RevB STEP
SLAMF63-S-2E-0-K-RevB IGS
SLAMF63-S-2M-0-G-REVB IGS
SLAMF63-S-2M-0-G-REVB DXF
SLAMF63-S-2M-0-G-REVB STEP
SLAMF63-S-3J-0-G-RevB STEP
SLAMF63-S-3J-0-G-RevB IGS
SLAMF63-T-2U-0-A-RevB STEP
SLAMF63-T-2U-0-A-RevB IGS
SLAMF64-S-3L-0-K-REVA IGS
SLAMF64-S-3L-0-K-REVA DXF
SLAMF64-S-3L-0-K-REVA STEP
SLAMF64-S-3N-0-K-REVB DXF
SLAMF64-S-3N-0-K-REVB IGS
SLAMF64-S-3N-0-K-REVB STEP

4デバイスまでのコントロールと権限

30デバイスまで制御および監視、10デバイスにパワーアップ。
ブルックスエクスパートサポートツール(BEST)は、SLA58XXおよびSLAMfXX高機能マスフローコントローラ、メータ、圧力コントローラの制御を強化するWindowsベースのアプリケーションです。このソフトウェアを使用すれば、セットアップ、属性設定、診断、トラブルシューティング、バルブ調整、キャリブレーション(ライセンスキー)を含むサービスタスクを利用することができます。デバイスの上部にある診断ポートからアクセスできます。
Brooks LabVIEW™ DLL はBrooks®のデジタルマスフローコントローラー、プレッシャコントローラー、コントロールユニットとの通信セットアップに使用します。DLLはお客様ご自身でLabVIEW™アプリケーションを作成する際にご使用いただけます。

Smart DDEは、ブルックスインスツルメントのDDE(Dynamic Data Exchange)ソフトウェア製品です。WindowsベースのアプリケーションとBrooks® GF40、GF80、SLA、Sシリーズのマスフローおよび圧力製品、0254セカンダリエレクロにクスデバイスを双方向でリンクさせることができます。