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ゴールデンウィーク期間 営業日ならびに休業日のお知らせ - 平素は格別のご愛顧を賜り、誠にありがとうございます。勝手ながら、4月28日(土)~4月30日(月)、5月2日(水)~5月6日(日)の期間は休業日となります。5月1日(火)は平常営業いたします。何卒ご了承くださいますようお願い申し上げます。

エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ

幅広いニーズに柔軟に対応

ブルックスインスツルメントのエラストマシールフローメータ/コントローラは、高精度かつ長期安定性を実現する高コストパフォーマンスのラインナップを揃えています。お客様のプロセスに必要な精度、信頼性、再現性を兼ね備え、 製品の価値と利益を最大限に引き出します。

主な用途

  • 化学および石油化学の解析およびパイロットプロセス
  • ラボおよび解析システム
  • ライフサイエンスバイオリアクタ
  • 薄膜蒸着
  • 熱処理、カッティング、サーマルプロセス
  • 真空アプリケーション
プロセスの条件に最適なマスフローデバイスを選択

製品

SLA シリーズ
SLA シリーズ
GF40 シリーズ
GF40 シリーズ
5850E/i シリーズ
5850E/i シリーズ
SLAMf シリーズ
SLAMf シリーズ
4800 シリーズ
4800 シリーズ
5700シリーズ
5700シリーズ
機種 Mass Flow Controller Mass Flow Controller Mass Flow Controller Mass Flow Controller Mass Flow Controller Mass Flow Meter
Differentiator

Wide Flow & Pressure Range

Superior Long-term Stability

High Accuracy

High Accuracy

MultiFlo™ Capability

Compact Size

Suitable for Full Suite of Gases

Proven Reliable Performance

Long Term Stability

Easy to Change Range and Recalibrate in the Field

NEMA 4X/IP66 Approved Enclosure

Perfect for Hose Down/Wash Down Applications

Hazardous Area Approvals

 

Ultra-fast Response Times

Optional Local Operator Interface

Compact Size

Suitable for Non-corrosive Gases

Economical

Compact

Ideal Upgrade from Volumetric Devices

流量範囲(フルスケール容量) .003 - 2500 slpm 3 sccm - 50 slpm

0 - 1000 slpm

.003 - 2500 slpm 50 sccm - 40 slpm

0  - 50 slpm

Seal Material Elastomer Seal Elastomer Seal Elastomer Seal Elastomer Seal Elastomer Seal

Stainless Steel

最大圧力

.003-200 slpm: 1500 psi/103 bar

100 - 2500 slpm: 1000 psi/70 bar

Optional 4500 psi/310 bar on 50 slpm max device

150 psig/10 bar

Controllers: 1500 psig

Meters: up to 4500 psig on some models

Up to 100 lpm: 1500 psi/100 bar

Up to 50 lpm: 4500psi/310 bar (optional)

100-2500 lpm:  1000 psi/70 bar

150 psig/10 barg

150 psig

精度

0.9% of SP (20-100% FS)

0.18% of FS (2-20% FS)

1-50 slpm: 0.18% of SP (1-20% FS)

1100 slpm up to 2500 slpm: 1.0% of FS

1% of SP 35-100%, 0.35% of FS 2-35%

1% of FS

1.5% of FS > 20 slpm

Up to 100 lpm: 0.90% of SP (20-100% FS)

0.18% of FS (2-20% FS, 1-20% FS from 1 - 50 lpm)

100 - 2500 lpm: 0.90% of SP (20-100% FS)

100 - 1100 lpm: 0.18% of FS (2-20% FS)

1100 - 2500 lpm: 1.0% of FS

3.0% of FS

1.0% of FS (optional)

5% of FS including linearity

Repeatability

0.20% SP

0.20% SP

0.25% of Rate

0.20% SP

0.15% FS

0.50% FS

Multi-Gas Multi-Range

Standard

MultiFlo™ Available

Standard

Diagnostic Capability Available

Available

Available

Available

Analog Communication

0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA

0-5 V, 0-10 V
0-20 mA, 4-20 mA

0-5 Vdc
0-20 mA
4-20 mA

0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA



0-5 Vdc
4-20 mA

0-5 V into 1000 ohms or greater

デジタル通信 DeviceNet™
EtherCAT®
FOUNDATIONTM Fieldbus
Profibus®
RS-485 

DeviceNetTM
EtherCAT®
Profibus®
RS485


DeviceNet™
FOUNDATIONTM Fieldbus
Profibus®
RS485





RS232


サイズ Medium Compact Medium Large

Compact

Compact

認定 / 承認

ISO/IEC 17025:2005
CE: EMC Directive 2014/30/EU
Directive 2011/65/EU

UL (Recognized):
Class I, Div 2, Group A, B, C, D
Class I, Zone 2, IIC T4
Class II, Zone 22

ATEX: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc

IECEx: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc

KOSHA: Ex nA IIC T4

CE: EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

Safety EN61010-1

ISO/IEC 17025:2005

CE: EMC, RoHs, PED

UL Listed/Recognized:

Class 1, Div 2, Group A,B,C,D

Class 1, Zone 2, IIC T4, Class II, Zone 22

ATEX:

II 3 G Ex nA IIC T4 Gc 

II 3 D Ex tc IIIC T 85°C Dc

IECEx:

Ex nA IIC T4 Gc 

Ex tc IIIC T 85°C Dc 

KOSHA:

Ex nA IIC T4

Ex tc IIIC T85°C Dc

ATEX Zone 2

CSA Div 2/Zone 2 (Recognized)