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ブルックスインスツルメントの5850EMH シリーズメタルシールマスフローコントロラは、リークインテグリティの高いメタルシールに、柔軟なアプリケーション対応を可能にするさまざまなオプションを組み合わせ、最先端の高温ガス測定および制御を実現します。5850EMHの中心は、電子出力信号と流量を表示する安定性の高いセンサーです。この信号は、自動ゼロ調整回路を使用せず、表示、記録、制御を行う場合に使用します。
アプリケーションエンジニアにお問合せ:
電話:03-5633-7100
Highest Flow Range
Proven, reliable technology
1% of FS
Included in accuracy.
<3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)
316L, 316L VAR, & high alloy ferric SS
Normally Open
Normally Closed
50 - 350 kPa (7 - 50 psid)
1 MPa (145 psi)
0-5 Vdc
15-Pin "D" connector
±15 Vdc @ 350 mA (max)
±1% FS
3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)