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5850EMH シリーズ 高温マスフローコントローラ

実証された長期安定性。高温アプリケーション向けの超高清浄性能
モデル 5850EMH / 5851EMH

ブルックスインスツルメントの5850EMH シリーズメタルシールマスフローコントロラは、リークインテグリティの高いメタルシールに、柔軟なアプリケーション対応を可能にするさまざまなオプションを組み合わせ、最先端の高温ガス測定および制御を実現します。5850EMHの中心は、電子出力信号と流量を表示する安定性の高いセンサーです。この信号は、自動ゼロ調整回路を使用せず、表示、記録、制御を行う場合に使用します。

お問合せ先

アプリケーションエンジニアにお問合せ:

電話:03-5633-7100

5850EMH シリーズ データシート

特長

  • 高リークインテグリティ(10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He 以下)
  • 幅広い流量レンジ(0.003~100 slpm)
  • 高清浄VAR 316Lステンレス製
  • 粒子の発生を防ぐ
  • ヘリウム漏れチェックポート
  • 平常時クローズドバルブ(平常時オープンバルブのオプションもあり)
  • 電動式バルブオーバーライド
  • 低コマンド流量カットオフ
  • TTl準拠の「バルブオフ」機能

メリット

  • 安定性が高く、実証された製品プラットフォーム
  • 最大100 lpm(N2と同等)の高流量性能
  • ガス清浄度を向上し、リークを削減するメタル製流量経路
  • アナログ専用入力/出力により、取り付けとサービスが容易

用途

  • 光ファイバー製造 - MCVD、OVD、AVD
  • 流量蒸気流制御
機種
Mass Flow Controller
特長

Highest Flow Range

Proven, reliable technology

Performance
流量範囲(フルスケール容量)
100 slm (N2 equivalent)
精度

1% of FS

Repeatability
<±0.25% SP
Linearity

Included in accuracy.

Response Time - NC

<3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

Zero Stability
Mechanical
Seal Material
Metal
Level of Purity
Wetted Materials

316L, 316L VAR, & high alloy ferric SS

Valves

Normally Open

Normally Closed

Ratings
最大温度
105oC
Differential Pressure Range

50 - 350 kPa (7 - 50 psid)

最大圧力

1 MPa (145 psi)

Leak Integrity
1x10-10 atm cc/sec He (1x10-11 Pa m3 /sec)
Electrical


Diagnostic Capability
Analog Communication

0-5 Vdc

デジタル通信
Electrical Connection

15-Pin "D" connector

Power Supply - Consumption

±15 Vdc @ 350 mA (max)

5850EMH 5851EMH
流量範囲(フルスケール容量) 3 sccm - 30 slm (N2 equivalent) 10 - 100 slm (N2 equivalent)
精度

±1% FS

±1% FS

Repeatability < ±0.25% of SP < ±0.25% SP
Response Time - NC

3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

Analog Communication

0-5 Vdc

0-5 Vdc

FilenameFile TypeDocuments By Language
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
Quick Start Guide pdf English