5850EMH シリーズ 高温マスフローコントローラ
実証された長期安定性。高温アプリケーション向けの超高清浄性能
モデル 5850EMH / 5851EMH
ブルックスインスツルメントの5850EMH シリーズメタルシールマスフローコントロラは、リークインテグリティの高いメタルシールに、柔軟なアプリケーション対応を可能にするさまざまなオプションを組み合わせ、最先端の高温ガス測定および制御を実現します。5850EMHの中心は、電子出力信号と流量を表示する安定性の高いセンサーです。この信号は、自動ゼロ調整回路を使用せず、表示、記録、制御を行う場合に使用します。
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