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高温用サーマル式マスフローコントローラ/メータ

厳しい高温アプリケーション用の高度に清浄な流路

現在の高度な電子デバイス製造プロセスでは、幅広い種類の高純度ガスや流体プリカーサの正確かつ繰り返し性の高い測定と制御が求められてまいす。ブルックスインスツルメントは、高温対応のメタルシールマスフローコントローラ/メータでこうしたニーズに応えます。安定性の高い高精度測定センサ、高速・精密制御バルブ、パワフルなデジタル電子部品を組み合わせることで、精度の高い薬品コントロールを行います。腐食したプロセス環境からの湿気や酸素などの混入を防止するよう設計されており、高インテグリティ(リークタイト性能)、高清浄性、オールメタルの流量経路でプロセスケミカルの清浄度を維持します。

主な用途

  • 光ファイバー製造 - MCVD
  • シリコン半導体装置製造プロセス
    • CVD(気体プリカーサ供給)
    • ストリップ(水蒸気)
    • エッチング(パッシベーション用水蒸気)
5850EMHシリーズ
5850EMHシリーズ
9861 シリーズ
9861 シリーズ
製品タイプ Mass Flow Controller Mass Flow Controller
差別化要因

Highest Flow Range

Proven, reliable technology

Highest Flow Accuracy

Highest Operating Temperature

Digital Communication

流量範囲(フルスケール容量) 100 slm (N2 equivalent) 10 slm (N2 equivalent)
Seal Material Metal Metal
Level of Purity 4 μ inch Ra
精度

1% of FS

1% of SP@ 35 - 100% FS

0.35% of FS @ <35% FS

再現性 <±0.25% SP <±0.15% FS
Response Time - NC

<3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

<1 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

最高圧力

1 MPa (145 psi)

620 kPa (90 psi)

最高気温 105oC 150oC
Diagnostic Capability
Analog Communication

0-5 Vdc

0-5 Vdc

デジタル通信

RS485 L-Protocol (via dual RJ11 ports)