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製品 マスフローコントローラ 高温用サーマル式 5850EMH シリーズ
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5850EMH シリーズ 高温マスフローコントローラ

実証された長期安定性。高温アプリケーション向けの超高清浄性能
モデル 5850EMH / 5851EMH

ブルックスインスツルメントの5850EMH シリーズメタルシールマスフローコントロラは、リークインテグリティの高いメタルシールに、柔軟なアプリケーション対応を可能にするさまざまなオプションを組み合わせ、最先端の高温ガス測定および制御を実現します。5850EMHの中心は、電子出力信号と流量を表示する安定性の高いセンサーです。この信号は、自動ゼロ調整回路を使用せず、表示、記録、制御を行う場合に使用します。

お問合せ先

アプリケーションエンジニアにお問合せ：

電話：03-5633-7100

5850EMH シリーズ データシート

特長

  • 高リークインテグリティ（10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He 以下）
  • 幅広い流量レンジ（0.003～100 slpm）
  • 高清浄VAR 316Lステンレス製
  • 粒子の発生を防ぐ
  • ヘリウム漏れチェックポート
  • 平常時クローズドバルブ（平常時オープンバルブのオプションもあり）
  • 電動式バルブオーバーライド
  • 低コマンド流量カットオフ
  • TTl準拠の「バルブオフ」機能

メリット

  • 安定性が高く、実証された製品プラットフォーム
  • 最大100 lpm（N2と同等）の高流量性能
  • ガス清浄度を向上し、リークを削減するメタル製流量経路
  • アナログ専用入力/出力により、取り付けとサービスが容易

用途

  • 光ファイバー製造 - MCVD、OVD、AVD
  • 流量蒸気流制御
{9F5F8308-BB6F-42B0-BD54-C495F4A0126E}
製品タイプ
Mass Flow Controller
{7C9D6510-73BC-4ACD-9DD5-B693D3543606}
差別化要因

Highest Flow Range

Proven, reliable technology

{03882600-8FB3-4134-90D3-C759AE7913D5}
パフォーマンス
{1DB000F2-90B7-4F8D-A70B-D58EC2D7BE3F}
流量範囲（フルスケール容量）
100 slm (N2 equivalent)
{553BC2AE-E87A-4EC7-8334-D4F3E54642E8}
精度

1% of FS

{0F71F561-6DC0-40C8-BA84-F170AD1E500B}
再現性
<±0.25% SP
{C296AA4A-2775-4FD6-B2E4-3F43E86AF17D}
Linearity

Included in accuracy.

{66056C47-A8A5-4039-826D-5B0F0821BAAB}
レスポンスタイム

<3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

{30FCFDAA-7F33-43CA-8CE0-010251B967DD}
Zero Stability
{7EFE73E0-C61E-44C5-A8AE-E4EF538BD875}
メカニカル
{78BEECC6-5DC0-4B01-9E1D-732F7A35B58C}
シール材
Metal
{E521A5A8-FF1B-41BD-AB12-B829A05B9CF6}
表面仕上げ
—
{395424D3-1E1C-4411-81BA-8A97EE12C0CE}
Wetted Materials

316L, 316L VAR, & high alloy ferric SS

{62CA6E0E-9BF9-4D2E-8BF0-41A2369EBA3D}
Valves

Normally Open

Normally Closed

{F6E53204-51AB-4A67-A5AE-113BAAA94DFB}
評価
{7B60461D-7A5D-4A8F-8FED-407DF732D9FA}
最高気温
105oC
{AEB479E2-3AE8-4BAC-878E-3269B58B3025}
Differential Pressure Range

50 - 350 kPa (7 - 50 psid)

{22BA8F9C-AA37-4DC0-B7A5-DD55E92EAFCF}
最高圧力

1 MPa (145 psi)

{FF616B11-A632-48A1-8819-95CBE60D41E4}
Leak Integrity
1x10-10 atm cc/sec He (1x10-11 Pa m3 /sec)
{3630766A-B8ED-46EF-AD39-EA40656C8007}
Electrical


{BA2C1E51-B47F-460D-BD6B-5F03C9575414}
診断能力
—
{CC44B54D-D2E6-4871-B5C6-1BA0DF955379}
アナログ通信

0-5 Vdc

{E96D9E49-C86E-47E4-813A-B7CFA10FDA62}
デジタル通信
—
{B1295451-7346-4899-8752-E88DAC951DFA}
Electrical Connection

15-Pin "D" connector

{1E5B2F7D-C97F-4902-8026-994EE128FBEB}
Power Supply - Consumption

±15 Vdc @ 350 mA (max)

5850EMH 5851EMH
流量範囲（フルスケール容量） 3 sccm - 30 slm (N2 equivalent) 10 - 100 slm (N2 equivalent)
精度

±1% FS

±1% FS
再現性 < ±0.25% of SP < ±0.25% SP
レスポンスタイム

3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)

3 sec to within 2% of SP (per SEMI E17-91)
アナログ通信

0-5 Vdc

0-5 Vdc
Filename File Type Documents By Language
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
Quick Start Guide pdf English
Filename File Type
5851EMH-1-K DXF
5851EMH-1-K IGS
5851EMH-1-K STEP