マスフローコントローラ/メータ

プロセスをコントロールするには、供給ライン、チャンバなどあらゆるポイントで正確な測定を行い、リアルタイムで測定した情報を使用して、プロセスの的確性と生産性を維持する必要があります。

精密流体測定および制御において世界をリードし、数十年にわたり、サーマル式マスフローテクノロジーの革新に携わってきたブルックスインスツルメント。継続的に新製品を発表し、既存システムを強化しながら、サーマルマスフローの新次元の精密性、応答性、精度、繰り返し性を実現してきました。

ブルックスインスツルメントのマスフローデバイスが世界中で使用されている理由：

• 幅広いアプリケーションのニーズに応える業界最高の製品レンジ
• 革新的なMultiFlo™ テクノロジーは、システムからデバイスを取り外さずにガスタイプやレンジを変更することができ、実プロセスガスの精度を向上します。
• エラストマシールおよびメタルシールオプションを含む一貫した製品レンジ
• 薄膜、半導体、ハイテク産業の条件を満たす超高清浄デバイス

主な用途

• 熱処理、カッティング、サーマルプロセス
• 半導体とLED生産ツール
• 薄膜形成システム
• 生物医薬バイオリアクタ
• 石油化学および化学ガス、流体パイロットプラント
• パージガス、プロセス解析、解析フロー測定