5896E/F Power Supply

特長

• ユーザー固有の用途に合わせて、さまざまな機構構成に対応（パネル、デスクトップ、ラック取り付け
• 起動時の自己診断により、デバイスが正常動作していることを確認
• 合計量表示は、在庫管理に使用可能
• 一括制御で、単一またはマルチチャネルの一括レシピに対応
• マスタースレーブ混在構成と動作をサポート
• キャリブレーションしていない流体には、ガス係数率は0254を適用
• バルブオーバーライド制御（VOR） - オープン、クローズド、ノーマル
• グラフィカルでハイコントラスト、8行の大型バックライトディスプレイ
• Brooks Smart DDEソフトウェアは、0254とMicrosoft® Excel、Test Point™、LabVIEW™などの一般的なプログラムの間のデータ交換を簡素化します。
• RS232シリアルポートにより、リモートコントロール、データロギング、リモートアラームに対応

メリット

• バルブオープン（VOR使用）により、高速パージまたはチャンバのフラッディングが可能
• 読みやすいディスプレイにより、プロセス変動とセットポイントをすべて表示し、素早い読み取りと調整が可能