型号 GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126
GF100 金属密封式质量流量控制器和流量计（带 EtherCAT 接口）
速度最快、精度最高的MFC，并采用EtherCAT®技术进一步提升性能。
GF100 EtherCAT 系列产品专为半导体工艺而优化，内置诊断功能，可利用实时 EtherCAT® 数据采集功能。GF100 EtherCAT 系列采用超稳定流量传感器（年漂移率 ≤ 0.15% FS），可实现更高的低设定点精度并减少维护需求。GF100 系列还具有阀门关闭功能（泄漏量 ≤ 0.15% 量程），可减少阀门泄漏，从而降低首片晶圆效应；此外，全新增强的压力瞬变不敏感性可降低串扰敏感性，确保稳定的质量流量输送。
特点
- 每年<满量程的±0.15%的长期零点稳定性
- 响应稳定时间: 300毫秒 - <1秒
- 最大流量可达到300 slpm
- 全金属密封的流体通路：可选5µ 或 10µ inch Ra的表面粗糙度
- 抗腐蚀的哈氏合金升温传感器在温度升高时改善了测量的重复性
- MultiFloTM 气体和量程的可编程性—一台表，几千种气体和量程的组合，无需把MFC从管路上拆除，也不会影响精度
- 方便的用户显示和独立的诊断/服务端口可帮助仪表安装，监测和故障排查
- GF120 安全传输系统(SDS®)是布鲁克斯最先进的低压降质量流量控制计，用于离子注入和刻蚀工艺的负压安全传输系统的气体传输
优势
- 超常的性能
- 快速反应时间改进应用效率
- 灵活的拓扑
- 几乎无限的网络拓扑可能
- 简单、坚固
- 配置，诊断以及维护
- 负担能力
- 标准的以太网端口
How a Mass Flow Meter Addresses Flow Bursts with Zero Leak-by Valve Technology
| 介质类型 | Gas |
|---|---|
| 流量测量原理 | Thermal (TMF) |
| 流量范围 | Standard GF Series: 3 sccm - 55 slpm, High Flow GF Series: 55 slpm - 300 slpm |
| 精度范围 | Standard GF Series: ±1% S.P. > 20-100%; ±0.2% F.S. 2-20%, High Flow GF Series: ±1% S.P. > 35-100%; ±0.35% F.S. 2-35% |
| 拒绝率 | Standard GF Series: < 3-100%, High Flow GF Series: 5-100% |
| 重复性 | 5 - 100% = ±0.15% S.P, .2 - 5% = ±0.015% F.S. |
| 工作温度 | 10 - 50°C |
| 最大压力 | 500 psi |
| 最大流量 | 300 slpm |
| 最高温度 | 50 celsius |
| 測量/控制 | Measure & Control (Controller), Measure Only (Meter) |
| 密封选项 | Metal |
| 精度（占流量百分比） | ±0.2% |
| 连接方式 | EtherCAT |
Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.
Example: GF125 -WX - E0 - STEP
| Model Series | Fitting | Connector |
| GF1xx | CX - 1-1/8” body width, 92 mm C Seal | E0 - EtherCAT® via twin RJ45, Power via 5-pin M8 connector |
| VX - 1-1/2” body width, 124mm 1/4” VCR male | ||
| WX - 1-1/8” body width, 92mm W Seal |
文件名
文件类型
ZIP
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