GP200 金属密封质量流量控制器
GP200 系列是首款完全压力敏感型压力式质量流量控制器 (P-MFC)，专为半导体制造领域的先进蚀刻和沉积工艺而设计。
带 EtherCat 的 GF100 金属密封质量流量控制器和仪表
Brooks GF100 系列专为下一代半导体工具而设计，具有超稳定、高速质量流量控制、嵌入式诊断、快速响应和无与伦比的长期可靠性，即使在要求最苛刻的工艺环境中也是如此。
GF100 金属密封质量流量控制器和流量计
快速响应、可重复地输送高纯度和超高纯度的工艺气体；这就是 GF100 系列金属密封质量流量控制器和仪表的性能。
Quantim® QMC 科里奥利质量流量计和控制器
使用布鲁克斯仪器公司的新系列 Quantim® QMC 科里奥利流量计和控制器，可对极低流量的液体或气体进行最精确、稳定、可重复和可再现的测量和控制。
PC100 金属密封压力控制器
PC100 系列压力控制器和仪表结合了一系列高性能技术特性，为要求苛刻的半导体、气相沉积和其他超精密制造工艺提供了全新水平的压力控制精度和可靠性。
.jpg?width=1200&height=675&name=Untitled%20design%20(3).jpg)
XacTorr® 加热电容压力计
最大限度地提高依赖真空的过程的效率和性能：选择 Brooks Instrument 的 XacTorr® 系列数字式真空电容压力计。XacTorr® 系列设备具有业界领先的特性，可提高测量可靠性、减少漂移、防止膜片污染并将热效应降至最低。
SolidSense II® 压力传感器
在许多行业的超高纯和特种气体应用中测量压力时，压力变送器和传感器必须保持稳定性和准确性。因此，Brooks Instrument SolidSense II® 高压变送器将无焊接、耐腐蚀材料与出色的零点稳定性和全量程 0.25% 以内的精度设计相结合。
