モデル SLAMF50 / SLAMF51 / SLAMF53 / SLAMF60 / SLAMF61 / SLAMF63 / SLAMF64
SLAMF エラストマーシール式質量流量コントローラーおよび流量計
精密マスフローコントロール。厳しい環境にも対応する耐久性
粉塵、湿度、極端な温度、水分など、どんな厳しい条件でも、SLAMfシリーズエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータなら、実証済みのSLA5800ファミリのメータとコントローラならではの高い精度と長期安定性を実現します。特殊設計のIP66規格筐体により、高度なデジタル電子部品を保護し、プロセスに不可欠なガス/流体マスフローの安定した正確な測定と制御を行います。
特長
- IP66級の高耐久性筐体
- 幅広い定格流量 - 0.003から2500 slpm
- 幅広い温度と圧力条件に対応
- 業界をリードするサーマルフロー測定センサテクノロジーにより、優れた精度を実現
- 設定可能なマルチガス/マルチレンジ機能
- 先進的な自己診断ルーチンと独立した診断用サービスポートを備え、MFCを取り外すことなく、ユーザーによるトラブルシューティングや流量条件の変更が可能
- DeviceNet®, Profibus®, RS-485, アナログインターフェースなど、広範囲な通信オプション
メリット
- 高耐久性のデバイス筐体により、厳しい条件でも高いプロセス精度と制御を実現
- 独自のサーマルセンサテクノロジーにより、低セットポイントにおけるS/N比を改善
- センサの長期安定性により、メンテナンスや定期的な再キャリブレーションの必要がない
- デバイス1台で、最大6種類までキャリブ レーションのプログラムが可能
- ユーザーがアクセスしやすいサービスポートを搭載し、取り付け、トラブルシューティング、診断作業を簡素化
- グローバルスタンダードに基づいた高性能の計測システムやキャリブレーションにより、高い精度を実現
- 数種類のプロトコル通信インターフェースにより、既存システムへの組み込みを合理化
Thermal Mass Flow Meter with EtherNet/IP & PROFINET Features Class I Division II & Zone 2 Approvals
Thermal Mass Flow Meter with EtherNet/IP and PROFINET Features IP66 Protection for Bioprocessing
Mass Flow Controller (MFC): The Principle of Operation
Digital Thermal Mass Flow Meter for Bioprocessing and Other Life Sciences Applications
Thermal Mass Flow Meter with a High Turndown Ratio
Thermal Mass Flow Meter with EtherNet/IP or PROFINET Features a Web-based Interface
How to Write LabVIEW™ Programs for a Mass Flow Meter
Brooks Expert Support Tool (BEST) Software: How-to Download, Install & Set-up on SLA5800 Series
| 使用媒体 | Gas |
|---|---|
| 流量測定原理 | Thermal (TMF) |
| 流量範囲 | .003 - 2500 slpm |
| 精度範囲 | Up to ±0.6% of S.P. (20-100% FS) ±0.12% of FS (<20% FS) |
| 却下率 | 1-50 slpm: 100:1, 50-2500 lpm: 50:1 |
| 再現性 | 0.20% S.P. |
| 最大圧力 | 4500 psi |
| 動作温度 | -14°C - 65°C |
| 保護等級 | IP66 |
| 測定／制御 | Measure & Control (Controller), Measure Only (Meter) |
| 最大流量 | 2500 slpm |
| 最大使用圧力 | 310 bar |
| 最高温度 | 65 celsius |
| 防爆認証 | Class 1 Div 2, Zone 2 |
| シールオプション | Elastomer |
| 接続性 | DeviceNet, Profibus, RS485, Analog (0–5 V), Analog (0–10 V), Analog (0–20 mA), EtherNet/IP, PROFINET, Analog (4–20 mA) |
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ファイル形式
言語別ドキュメント
Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.
Example: SLAMf60 - S - B1 - 0 - Y - RevB
| Meter Series | Digital Communications I/O | Mechanical Connection (Body size 0 & 1 only) |
Valve Type | Analog Communications I/O | Revision Level |
| SLAMf5x | S - RS485 (select applicable analog I/O) | B1 - 1/4” tube compression w/Filter | 0 - None (Sensor only) | Y - 4-20 mA / 0-5 V M20x1.5 Conduit | RevB |
| SLAMf6x |
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ZIP