GP200 金属密閉型マスフローコントローラー

最高の性能を最大限に引き出す

GP200シリーズは、半導体製造における高度なエッチングやデポジションのプロセスに特化して設計された、業界初の完全圧力不感応タイプの圧力ベースのマスフローコントローラ（P-MFC）です。

GP200シリーズP-MFCは、従来のP-MFCの限界を克服し、低蒸気圧のプロセスガスでも高精度なプロセスガス供給を可能にする特許取得済みのアーキテクチャを採用しています。GP200シリーズは、差圧センサーを内蔵し、下流側にバルブを配置するなど、独自の設計を採用することで、業界で最も広い範囲の動作条件で高精度のプロセスガス供給を可能にしています。

GP200シリーズは、幅広いプロセス条件に対応しているため、従来のP-MFCやサーマルMFCの代替品やアップグレード品として使用することができます。また、圧力調整器や変換器などの部品が不要になるため、ガス供給システムを簡易化し、コストを低減することができます。

GP200シリーズのデザインの詳細と、その仕組みをご紹介します。