GF080 金属密閉型マスフローコントローラーおよびメーター
価値重視のメタルシールアプリケーションの性能基準を向上します。
工業および半導体プロセスでは、性能とコスト効率が不可欠です。GF80 シリーズメタルシールマスフローコントロラ/メータの特長：ブルックスのベストセラー、GF シリーズと同様の高速応答センサと特許取得済みの第4世代MultiFlo™ テクノロジーを搭載し、低価格なプライスポイントで高性能が求められる作業に最適です。メタルシールMFC に移行すると、使用可能なガスに限度がないため、MultiFlo™ マルチガス/マルチレンジ機能のメリットを最大限に活かすことができます。エラストマによる透過酸素を防ぐことによってガスの清浄度を向上し、メタルシールが永久的に継続するので、メンテナンス回数を減らすことができます。
特長
- 長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下
- セトリングタイム 1秒以下
- 最大流量：55スロットル・パー・ミニット
- オールメタル製シール流路：16µインチRa表面仕上げ
- 耐腐食ハステロイ® 製センサは、熱変性しやすいガスに適した低温で動作可能
- 設定可能なMultiFlo™ 機能- ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、1台のデバイスで数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポート
- 有効な温度補償により、クラス最高の温度係数仕様を実現
- 自己診断ルーチンと独立した診断用サービスポートを搭載
- VCR継手でスリムなボディ幅
- DeviceNet™、Profibus®、RS-485、アナログインターフェース
メリット
- 1秒以下の高速流量セトリングタイムにより、ガスの無駄を省き、プロセスの変動性を解消
- 酸素を透過し、経時で交換が必要なエラストマシールを使用しない
- MultiFlo™ は、MFC の取り外しやキャリブレーションが必要なく、プロセスガスの切り替えを簡素化し、合理化
- 新しいガスおよび/またはレンジを60秒以下で設定可能
- 温度の変動に影響されない測定精度
- 診断ポートに簡単アクセスして、生産稼働時間を最大限に向上
- 狭小なマシンスペースにも容易に組み込めるコンパクトサイズで、改良に最適
- 数種類のプロトコル通信インターフェースにより、既存システムへの組み込みを合理化
How to Write LabVIEW™ Programs for a Mass Flow Meter
| 使用媒体 | Gas |
|---|---|
| 流量測定原理 | Thermal (TMF) |
| 流量範囲 | 3 sccm - 55 slpm |
| 精度範囲 | ±1% S.P. 35-100%, ±0.35% F.S. < 5-35% |
| 却下率 | < 5% - 100% |
| 再現性 | < ±0.2% S.P. |
| 最大圧力 | 150 psi |
| 動作温度 | 5°C - 50°C |
| 測定／制御 | Measure & Control (Controller), Measure Only (Meter) |
| 最大流量 | 55 slpm |
| 最高温度 | 50 celsius |
| シールオプション | Metal |
| 精度（流量比） | ±1.0% |
| 接続性 | Analog (0–5 V), Analog (0–10 V), Analog (0–20 mA), DeviceNet, Profibus, RS485, Analog (4–20 mA) |
Use the model code information from the data sheet to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.
0250 Series
Controls and powers up to 4 devices
0260 Series
Controls and monitors up to 30 devices, powers up to 10 devices.
Brooks Expert Support Tool (BEST)
The Brooks Expert Support Tool (BEST) provides expanded control of mass flow controllers and allows the user to take advantage of multiple servicing tasks.
MultiFlo™ Configurator
A comprehensive gas database enabling you to configure your MultiFlo™ capable MFC for thousands of gas types and ranges without removing it from the gas line.
Smart DDE
Dynamic Data Exchange software allows user to make bi-directional links between Windows® based applications and Brooks Instrument RS485 S-Protocol devices.