GF080 Metallgedichtete Massendurchflussregler und -messgeräte
MFCs für höchste Leistungsfähigkeit und Wirtschaftlichkeit
Für viele Industrie- und Halbleiterprozesse sind sowohl die Leistungsfähigkeit als auch die Wirtschaftlichkeit ausschlaggebend. Die metallgedichteten Massendurchflussregler und -messgeräte der Serie GF80 liefern Ihnen beides.
Die zuverlässigen Durchflussmesser sind mit einem schnell-ansprechenden Sensor und der patentierten MultiFlo™ Technologie ausgestattet. Für Sie bedeutet das: Höchste Leistung zu einem fairen Preis.
Da keine Sauerstoffpermeation nötig ist, bestehen keine Einschränkungen für die verwendbaren Gase. Durch die Elastomere ist zudem eine verbesserte Gasreinheit gegeben. Die Metalldichtungen sind sehr stabil, sodass sich der Wartungsaufwand stark reduziert.
Merkmale
- Langzeitnullpunktstabilität von <±0,5 % des Endwerts pro Jahr
- Einschwingzeiten <1 Sekunde
- Durchflussraten im Vollmaßstab bis zu 55 slpm
- Vollständig aus Metall bestehender Strömungsweg - Oberflächenrauigkeit Ra 0,4 µm
- Der korrosionsbeständige Hastelloy® Sensor kann für Gase, die anfällig für thermische Zersetzung sind, bei niedrigeren Temperaturen arbeiten.
- Kompatibel mit MultiFlo™: Sie können eine Vielzahl an Gas-Arten und Durchflusswerten mit nur einem Gerät messen
- Beste Temperaturkoeffizient-Spezifikation seiner Klasse dank aktiver Temperaturkompensation
- Eingebaute Selbsttestroutinen und unabhängiger Diagnose-/Serviceanschluss
- Schlankes Gehäuse mit VCR-Verschraubungen oder Downport
- DeviceNet™, Profibus®, RS-485- und analoge Schnittstellen
IhreVorteile
- Keine Gasverschwendung oder Prozessschwankungen dank der schnellen Durchflusseinschwingzeit von <1 Sekunde
- Keine Elastomerdichtungen, die wegen möglicher Sauerstoffpermeation nach gewisser Zeit auszutauschen sind
- MultiFlo™ vereinfacht und beschleunigt den Prozessgaswechsel — Keine Demontage und Kalibrierung der Massedurchflussregler erforderlich
- Neue Gase und/oder Bereiche lassen sich in weniger als 60 Sekunden einstellen.
- Keine Beeinflussung der Messgenauigkeit durch Temperaturschwankungen
- Maximale Verfügbarkeit durch komfortabel zugänglichen Diagnoseanschluss
- Kompakte Bauform erleichtert die Integration in engen Gasversorgungsschränken; hervorragende Wahl für Nachrüstungen
- Die Multiprotokoll-Kommunikationsschnittstelle vereinfacht die Integration in bestehende Systeme
How to Write LabVIEW™ Programs for a Mass Flow Meter
| Medientyp | Gas |
|---|---|
| Durchflussmessprinzip | Thermal (TMF) |
| Durchflussbereich | 3 sccm - 55 slpm |
| Genauigkeitsbereich | ±1% S.P. 35-100%, ±0.35% F.S. < 5-35% |
| Ablehnungsquote | < 5% - 100% |
| Wiederholgenauigkeit | < ±0.2% S.P. |
| Maximaler Druck | 150 psi |
| Betriebstemperatur | 5°C - 50°C |
| Messen/Steuern | Measure & Control (Controller), Measure Only (Meter) |
| Maximaler Durchfluss | 55 slpm |
| Maximale Temperatur | 50 celsius |
| Dichtungsoption | Metal |
| Genauigkeit (% vom Messwert) | ±1.0% |
| Konnektivität | Analog (0–5 V), Analog (0–10 V), Analog (0–20 mA), DeviceNet, Profibus, RS485, Analog (4–20 mA) |
Use the model code information from the data sheet to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.
0250 Series
Controls and powers up to 4 devices
0260 Series
Controls and monitors up to 30 devices, powers up to 10 devices.
Brooks Expert Support Tool (BEST)
The Brooks Expert Support Tool (BEST) provides expanded control of mass flow controllers and allows the user to take advantage of multiple servicing tasks.
MultiFlo™ Configurator
A comprehensive gas database enabling you to configure your MultiFlo™ capable MFC for thousands of gas types and ranges without removing it from the gas line.
Smart DDE
Dynamic Data Exchange software allows user to make bi-directional links between Windows® based applications and Brooks Instrument RS485 S-Protocol devices.