PG 시리즈 기계식 압력 게이지

고순도 애플리케이션을 위한 안정적이고 효율적인 국소 압력 모니터링 시스템.

모델 PG15 (C15 및 S15) / PG20 (C20 및 S20)

PG15 및 PG20 기계식 압력 게이지는 반도체 산업의 까다로운 고순도 애플리케이션을 위해 설계 및 개발되었습니다. 스테인리스 스틸로 제작된 이 다중 스케일 다이얼 방식의 압력 게이지는 내구성이 뛰어난 측정 장치로, 1.5인치 또는 2인치 다이얼 크기와 다양한 공정 연결 방식, 압력 범위 및 소켓 방향을 제공하여 현장에서 압력을 안정적이고 효율적으로 모니터링할 수 있도록 해줍니다. 세계 최고의 압력 게이지 공급업체에서 정밀하고 고성능의 제품을 만나보세요.

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가격 정보:

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PG 시리즈 게이지 데이터 시트

특징

정밀한 성능을 제공하는 스테인리스 스틸 무브먼트
316L 스테인리스강 재질의 접액부품
산소가 없는 챔버에서 용접된 게이지는 엄격한 청결 및 안전 지침을 충족합니다.

이익

기계식 압력계는 현장에서 압력을 모니터링하는 데 있어 내구성이 뛰어나고 효율적인 방법을 제공합니다.

응용 프로그램

반도체 공정에 사용되는 가스 공급 시스템 및 도구는 다음과 같습니다.
- 벌크 가스
- 가스 캐비닛
- 가스 분배

상품 유형

기계식 압력 게이지

특장점

고순도

성능

압력 범위

15 - 4,000 PSI

정확도

PG15: 3/2/3% 또는 B등급, PG20: 2/1/2% 또는 A등급

파열 압력

400%

보증 압력

110% 전체 스케일

등급

안전 구호

제한 없는 후면 블로우아웃 플러그

헬륨 누출 테스트

4 x 10^-9 내부 표준 cc/초

청정도

ASME B40.1 레벨 IV

기계적

하우징

300 시리즈 스테인리스 스틸, 전해연마 처리

베젤 및 렌즈 소재

투명 폴리카보네이트 소재, 스냅온 또는 나사식 장착 방식

소켓 재료

316L 스테인리스 스틸

	PG15 (C15 및 S15)	PG20 (C20 및 S20)
특장점	1.5인치 다이얼 크기	2인치 다이얼 크기
압력 범위	15 - 4,000 PSI	15 - 4,000 PSI
정확도	3/2/3% 또는 B등급	2/1/2% 또는 A등급
소켓 방향	센터 백 또는 스템 장착	2/1/2% 또는 A등급

파일 이름	파일 형식	언어별 문서
Data Sheet	pdf	English
Installation and Operation Manual	pdf	English

아래 제공된 CAD 구성 파일을 번역하려면 다음 예시 모델 코드를 사용하십시오. 도움이 필요하거나 찾으시는 정보를 찾을 수 없는 경우, 애플리케이션 엔지니어링 팀 또는 지역 Brooks Instrument 담당자에게 문의하십시오.

예시: C - 15 - CS

소켓 방향	모델	연결
C	15	CS - 1.125인치 C형 씰 - 다이얼 크기 1.5인치에만 적용 가능

파일 이름	파일 형식
C15-CS	zip
C15-SF	zip
C15-SM	zip
C20-NT	zip
C20-SF	zip
C20-SM	zip
S15-SF	zip
S15-SM	zip
S20-NT	zip
S20-SF	zip
S20-SM	zip