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5866RT Elastomer Sealed Pressure Controller & Flow Meter

다양한 유량 측정 범위에 걸친 고압 응용을 위한 다기능성
Brooks 모델 5866RT 금속 또는 탄성중합체 밀봉 압력 컨트롤러와 유량계는 유속을 측정하는 동시에 압력을 제어합니다. 모델 5866RT는 원격 압력 트랜스듀서 신호를 수신하고 조절식 내장 PID 제어 전자장치 및 제어 밸브를 이용하여 원하는 설정 압력을 유지합니다. 밀봉 옵션과 전해연마 습윤 표면 및 넓은 압력 및 유량 측정 범위를 이용하여 5866RT는 다양한 공정에서 입증된 결과를 제공합니다.

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5866RT 데이터 시트

특징

  • 통합 압력 트랜스듀서
  • 응답 시간: < 0.8초
  • 0 - 3 sccm에서 0 – 30,000 sccm의 풀 스케일 유속을 이용한 넓은 유량 측정 범위
  • 넓은 풀 스케일 압력 범위(최고 압력 1500 psig)
  • 선택형 금속 실 이용 가능
  • 전해 연마 습윤 표면(옵션)
  • 전기식 밸브 오버라이드
  • 업스트림 또는 다운스트림 제어에 적합
  • 아날로그 인터페이스

장점

  • 드룹, 히스테리시스 및 부스트 제거
  • 높은 누출 무결성
  • 더 높은 압력 및 유량 제어 능력
  • 상단에 장착된 DIP 스위치를 이용한 동적 튜닝 조정

적용

  • 박막 공정
  • 화학 연구
  • 석유화학 연구
  • 실험실
  • 연료전지
  • 생명과학
{D2D139DD-5602-4B58-9816-25FFE744D4D2}
상품 유형
압력 컨트롤러 및 유량계 
 
{AB310584-3FE7-492D-87CA-96108F8ACCDF}
특장점
원격 트랜스듀서 

압력 제어 및 유량 측정 
{AC33C19D-CFED-4FB8-8E50-870657C2CD34}
성능
{8C385242-2566-4FAF-A740-01D5753AE0CB}
유량 범위(최대 용량)
0-10 V 출력을 가진 원격 트랜스듀서에서 100:1 
{08A3432B-4DED-4156-B139-A2361485EF48}
정확도
±1% F.S. 보정 조건의 선형성 포함 

±1.5% F.S. 20 slm을 초과하는 유량 
{6F0AB09C-1A49-4DC0-8512-252CD22D1870}
반복성 및 재현성
유속의 ±0.25% 
{2837365E-D2B2-4A0A-84A1-F8C582730702}
유량 온도 계수
°C당 0.1% F.S. 
{3D3D1079-6B71-4B0B-BF34-010288E854F1}
압력 범위
원격 압력 트랜스듀서에 따름
{278FF35E-6127-41EC-AE62-6E0126D40545}
압력 제어 범위
0-10 V 출력을 가진 원격 트랜스듀서에서 100:1 
{5C802199-C60E-48B1-81A4-7A451FE08512}
응답 시간
압력 응답 시간: 

압력 오버슛이 2% 미만인 경우 0-100% 명령 단계에 대해 0.8초 미만. 

실제 압력 응답은 시스템 설계에 따라 다름. 
{0E296DA0-3B2A-4E8F-BD53-2D1131E5AA17}
등급
{301DB8E0-77F0-4BDE-BD73-B077EB51A5D1}
최대 압력
1500 psig
{26581697-E249-4174-856A-3DBDFC3C8AFC}
온도 범위
0 - 65°C 
{57A38ACC-F9BA-4DB6-9C9F-4EEA1F910994}
누출 무결성
-
{0B30E349-72C2-4CB6-9FCE-9D9D120184DD}
기계적
{83A68B74-F525-48A8-9301-7DD6422EC59C}
씰 재료
탄성중합체 또는 금속 
{15593491-CF95-4382-9688-9ECD63B16425}
습윤 재료
습윤 부품: 표준 316L/316L VAR 스테인리스강 

밸브 시트: 표준 Viton® 불화탄성체 또는 금속 

외부/내부 실: 불화탄성체 또는 금속 

선택: Buna-N, Teflon® 또는 Kalrez® 
{E0F2EAA4-5466-434E-B0BD-32C52BD57E48}
밸브
통상적으로 닫힘 

통상적으로 열림 

밸브 없음(탄성중합체, 업스트림 구성에 한함) 
 
{40380015-2DC3-4133-8676-AFA8CA6CC046}
전기
{D3FC93D9-109E-439D-A6CC-46CE2439E047}
아날로그 통신
0-5 V
{DE54BDDB-3F43-4DA7-B0C0-F868F79C8A08}
디지털 통신
-
{C8DC96A5-70A5-4B4D-8B4F-A7EFA8D1B0E2}
전기 연결
15-Pin "D" 커넥터
{85136DED-F0BB-4E6E-8A95-A88EAF9B891C}
전원 공급/소비
통상적으로 닫힘: 3.5 watts; +15 Vdc(±5%) @ 35 mA, -15 Vdc(±5%) @ 180 mA 
통상적으로 열림: 10.5 watts; ±15 Vdc(±5%) @ 350 mA 
{A61CB646-C77E-48AD-B21D-276E5047C8BC}
진단 능력
-
{D240032C-F212-4DA6-8F89-3CC7C65700C3}
규정 준수
{FB7B9B2B-6544-4FB5-B8DC-2BC43F0C6C84}
인증/승인
-
{A73C4D47-2310-42D5-9311-E43935397925}
EMC
EMC Directive 89/336/EEC EN 61326-1
{7F34FD08-D7D8-4BA7-95A1-A1530DCE90A8}
크기
컴팩트
파일 이름 파일 형식 언어별 문서
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English