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SLAMf Series Elastomer Sealed Thermal Gas Mass Flow Controllers & Meters

정밀한 질량 유량 제어. 가장 혹독한 환경을 위한 고강도 설계. EtherNet/IP™ 사용 가능
분진, 습기, 극한 온도, 세척 조건이 요구되는 환경에서 SLAMf 시리즈 질량 유량 제어기 및 계측기는 입증된 SLA5800 제어기 및 계측기 제품군의 정밀성, 정확성, 장기적인 안정성을 제공합니다. 특별히 설계된 NEMA4X/IP66 enclosure는 고급 디지털 전자 장치를 보호하고, 공정상 중요한 가스 질량 유량을 안정적이고 정확하게 측정하고 제어할 수 있도록 보장합니다. 

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가격 정보:

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SLAMf 시리즈 데이터 시트

특징

  • ISO/IEC 17025 인증
  • NEW SLA 시리즈 Biotech MFC는 생물공정 성능을 향상시키기 위해 특별히 개발된 기능을 갖춘 2가지 옵션 패키지를 제공합니다. 자세한 내용은 데이터 시트를 참조하십시오.
  • NEMA4X/IP66 등급 고강도 Enclosure
  • 폭넓은 최대 유량 범위 : 0.003~2500 lpm(계측기 36,000 lpm)
  • 광범위한 온도 및 압력 조건에 적합
  • 업계 최고의 열 유량 측정 센서 기술로 탁월한 정확성 제공
  • 네트워크 설정을 쉽게 구성할 수 있는 웹 기반 인터페이스를 제공하는 EtherNet/IP™ 프로토콜이 포함된 다양한 통신 옵션
  • 프로그래밍 가능한 Multi-Gas/Multi-Range 기능
  • 정비 시 MFC를 제거하지 않고도 유량 상태를 해결하거나 변경할 수 있는 고급 자가 테스트 루틴과 독립적 진단 서비스 포트

장점

  • 가혹한 환경에서도 공정 정확성과 제어를 보장하는 고강도 장치 하우징
  • 낮은 설정점에서 우수한 신호 대 잡음비를 제공하는 독점 열 감지 기술
  • 유지보수 및 정기적인 재보정 요구를 줄여주는 장기적인 센서 안정성
  • 장치를 1개 선택하여 최대 6가지 가스 보정 프로그래밍
  • SLA 시리즈 Biotech 프리미엄 패키지와 밸브 시트 및 O링을 포함한 MFC의 기류(습식 경로)에서 모든 탄성중합체 재료에 대해 산업 인증 획득 (USP 등급 VI/ADI 무함유)
  • 향상된 밸브 차단, 광범위한 유량측정비, SLA 시리즈 Biotech 프리미엄 패키지 사용 시 생물공정 인증 및 승인
  • 사용자가 액세스할 수 있는 서비스 포트를 통해 설치, 문제 해결 및 진단 작업 간소화
  • 우수한 계측 시스템 및 글로벌 표준에 기반한 보정을 통해 탁월한 정확성 지원
  • 질량 유량 제어기로만 얻을 수 있는 범위를 넘어선 복수의 추가 진단 기능으로 사용자에게 풍부한 실시간 시스템 정보를 제공하는 EtherNet/IP™
  • ISO/IEC 17025 인증, ±0.6% SP의 유량 정확도로 보정 가능
  • 업계 표준 및 규정 요구사항을 충족하기 위한 추적 가능한 보정

응용 분야

  • 생명공학
  • 화학 및 석유화학 파일럿 플랜트
  • 식품가공 분야 블랭킷 공정



{4D39703F-8431-4E00-AAAF-E32A63224B73}
상품 유형
질량 유량 제어기 
{D253B33E-C5F3-4DDA-BD34-73FFC0C232FA}
특장점
NEMA 4X/IP66 승인 Enclosure 
 
호스 다운/워시 다운 응용 분야에 적합  
 
위험 구역 승인 
{67DC4ABD-6777-4374-A573-7D0D966C728D}
성능
{9AAFFE42-6B76-4D6E-93E5-BECEAA6F8668}
유량 범위(최대 용량)
0.003~2500 slpm
{0B64BBEC-4BB7-4FED-9357-592DD5690A75}
정확도
17025 인증 장치(선형성 포함, 보정 시스템 측정 불확도 제외, SEMI E69 기준) 
 
±0.6% SP(20~100% FS) 
 
±0.12% FS(<20% FS) 
 
1100 slpm(최대 2500 slpm): ±0.6% FS 
 
표준 장치(표준품으로부터의 불확도 포함) 
 
±0.9% SP(20~100% FS) 
 
±0.18% FS(2~20% FS) 
1100 slpm(최대 2500 slpm): ±1.0% FS 
{26C11D89-3C54-4E7D-8888-5556E24F7DE1}
반복성 및 재현성
0.20% SP
{1D81766F-E683-411F-B8B7-7DF8FB04B1AF}
선형성
정확도에 포함됨 
{4CF87FD8-F072-4D48-A130-093BC919EBAE}
응답 시간
최대 100 lpm까지 <1초 
 
최대 2500 lpm까지 <3초 
{7F7303B9-21F0-4DB8-B19A-DD6744F98098}
다중 가스 및 범위 구성
표준 
{5786AAD7-7C1E-4073-98EF-2E9C159850E3}
최대 압력
100 lpm 이하: 1500 psi/100 bar  
 
50 lpm 이하: 4500psi/310 bar(옵션) 
 
100~2500 lpm:  1000 psi/70 bar 
{7FC46212-0BAA-4696-B5DA-9170F8547A94}
제어 범위
1~50 slpm: FS 유량측정비 100:1 
 
50~2500 lpm: FS 유량측정비 50:1 
{5F2CA8BE-E327-46C6-A3BB-0D820D401F43}
제로 안정성
연간 < 0.2% FS 
{036F2FE9-02A0-4D8B-8038-2E478D431EE1}
유량 온도 계수
Zero :  <0.05%FS / ℃ 
 
Span : < 0.1%SP / ℃ 
{5E5CD617-7F04-4615-8737-FE8E3FFE18E9}
압력 계수
±0.03% / psi(0~200 psi N2) 
{836190EB-84E2-4D7B-B0A8-E3755CCD2B95}
위치 저감도
제로화한 후 명시된 정확도로부터 <0.2%FS 최대 편차 
{636DEA02-86E7-4C2A-99C4-A35955A98A42}
등급
{926B9E2B-B423-48C5-B970-149010D48B39}
최고 온도
65°C 
{7688D2A8-C7B4-4E0B-99C6-A09793B8432B}
차압 범위
제어기 
 
50 lpm 이하: 최소 5 psi/0.35 bar - 최대 1500 psi/103.4 bar 
 
50-100 lpm: 최소 10 psi/0.69 bar - 최대 50 psi/3.45 bar 
 
500 lpm: 최소 7.5 psi/0.52 bar - 최대 300 psi/20.0 bar 
 
1000 lpm: 최소 14.5 psi/1.00 bar - 최대 300 psi/20.0 bar 
 
2500 lpm: 최소 35.0 psi/2.41 bar - 최대 300 psi/20.0 bar 
{5A7962B1-CCBE-433E-9949-3A00D3E1CCEB}
누출 무결성
1X10-9 atm. cc/sec He
{FD1D1004-5C0F-4B63-932C-35138114F6EA}
기계적
{564301AE-2597-47D3-B01A-D1EA5035CE62}
씰 재료
탄성중합체 실링 
{E25F7667-7768-49A8-BC0A-E0825FA74744}
습윤 재료
316L 스테인리스강 
고합금 스테인리스강 
Viton® Fluoroelastomers 
Buna-N 
Kalrez® 
Teflon®/Kalrez® 
EPDM 
{F382B259-19AC-405F-B302-6B9714656C5C}
밸브
Nomally Closed 
 
Normally Open 
 
계측기(밸브 없음) 
{E453CD3F-EB1B-46A0-9AB5-289E0F2F94F0}
진단
{C2E26E76-7B9F-4B24-9F5E-CBA3D18D1EC0}
진단 능력
사용 가능 
{C3E267C1-0306-43D2-81C0-4E56D6E3631C}
상태 표시등
MFC 상태, 네트워크 상태 
{C6339274-4BFE-4E18-8B94-C9FA3F25F2A2}
알람
센서 출력 
 
제어 밸브 출력 
 
온도 과부하 
 
전원 Power Surge/Sag 
 
네트워크 간섭 
 
 
{8BE7F605-87D9-4DB9-BB89-ABD70731BEB2}
독립 진단 서비스 포트
RS485(2.5mm Jack) 
{53E159A3-B49E-43ED-981A-019A342A4332}
전기
{8B595ECE-164D-4211-B642-A97342BB1B00}
아날로그 통신
0~5 V, 1~5 V, 0~10 V, 0~20 mA, 4~20 mA
{04455110-D658-42D9-B6F0-121BA12BAAFB}
디지털 통신
DeviceNet™
EtherNet/IP™
FOUNDATIONTM Fieldbus
Profibus®
PROFINET
RS-485 
{9225A0F9-07BD-427C-B176-FC5179F41675}
전기 연결
DeviceNet™: 1 x M12 with threaded coupling nut (B) 
 
Profibus®: 1 x 15-pin Male Sub-D 
 
1 x 9-pin female Sub-D 
 
RS485: 1 x 15-pin Male Sub-D, (A) 
{71103481-4143-41CD-8B6E-75BB5C0B18B1}
전원 공급/소비
아날로그/Profibus®/RS-485 
 
Valve Orifice > 0.032”: 8 Watts 
 
Valve Orifice ≤ 0.032”: 5 Watts 
 
밸브 없음: 2 Watts 
 
DeviceNet™ 
 
Valve Orifice > 0.032”: 10 Watts 
 
Valve Orifice ≤ 0.032”:  7 Watts 
 
밸브 없음: 4 Watts 
{5B59C62B-86F8-4735-A7B7-52F770F486E3}
규정 준수
{69B425DA-C564-46AC-BFDF-92D19720A61D}
인증/승인

SO/IEC 17025:2005

CE: EMC, RoHs, PED

UL 등재/공인:

 

1등급, 2부, A, B, C, D 그룹

 

1등급, 2구역, IIC T4, II등급, 22구역

 

ATEX:

 

II 3 G Ex nA IIC T4 Gc 

 

II 3 D Ex tc IIIC T 85°C Dc

 

IECEx:

 

Ex nA IIC T4 Gc 

 

Ex tc IIIC T 85°C Dc 

 

KOSHA:

 

Ex nA IIC T4

 

Ex tc IIIC T85°C Dc

{76045893-80DF-43BE-B8AD-00E586A83EDD}
환경 규정 준수
RoHS (2011/65/EU) 

REACH  EC 1907/2006 

 
{1109E7B2-CEF9-4302-8A6E-E217BF7B1706}
크기
대형 
파일 이름 파일 형식 언어별 문서
Data Sheet pdf Chinese English French German Japanese
SLA Biotech MFC At-a-Glance pdf Chinese English German
Dimensional Drawings Quick Reference Guide SLAMf pdf English German
설치 및 사용 매뉴얼 pdf Korean English
DeviceNet™ Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf Mass Flow pdf English
EtherNet/IP™ Supplemental Manual (Prod Rev 4) pdf English
Profibus® Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf pdf English
PROFINET Supplemental Manual SLA5800, SLAMf pdf English German
RS485 Supplemental Manual - SLA5800, SLAMf pdf English

CAD 파일 이름 예시: SLAMf60 - S - B1 - 0 - Y - RevB

미터 시리즈
  디지털 통신 I/O

기계적 연결
(몸 사이즈 0 & 1 오직)

  밸브 유형
아날로그 통신 I/O
개정
SLAMf5x
 S - RS485 (select applicable analog I/O)
 B1 - 1/4” tube compression w/Filter
   0 - None (Sensor only)
 Y - 4-20 mA / 0-5 V M20x1.5 Conduit
 RevB
       

파일 이름 파일 형식
SLAMF50-A-1P-1-Y-REVB DXF
SLAMF50-A-1P-1-Y-REVB IGS
SLAMF50-A-1P-1-Y-REVB STEP
SLAMF50-S-1B-1-G-RevB STEP
SLAMF50-S-1B-1-K-REVB DXF
SLAMF50-S-1B-1-K-REVB IGS
SLAMF50-S-1B-1-K-REVB STEP
SLAMF50-S-1L-1-F-REVB DXF
SLAMF50-S-1L-1-F-REVB IGS
SLAMF50-S-1L-1-F-REVB STEP
SLAMF50-S-T1-1-Y-REVB DXF
SLAMF50-S-T1-1-Y-REVB IGS
SLAMF50-S-T1-1-Y-REVB STEP
SLAMF50-7-5A-1-A-REVB DXF
SLAMF50-7-5A-1-A-REVB IGS
SLAMF50-7-5A-1-A-REVB STEP
SLAMF51-7-1P-1-A-REVB DXF
SLAMF51-7-1P-1-A-REVB IGS
SLAMF51-7-1P-1-A-REVB STEP
SLAMF51-7-P1-1-A-REVB DXF
SLAMF51-7-P1-1-A-REVB IGS
SLAMF51-7-P1-1-A-REVB STEP
SLAMF51-7-5B-1-A-REVB DXF
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SLAMF51-7-5B-1-A-REVB STEP
SLAMF51-S-1D-1-K-REVB DXF
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SLAMF51-S-1D-1-K-REVB STEP
SLAMF51-S-1L-1-F-REVB STEP
SLAMF51-S-T1-1-Y-REVB DXF
SLAMF51-S-T1-1-Y-REVB IGS
SLAMF51-S-T1-1-Y-REVB STEP
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SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-K-RevB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-K-RevB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-Y-REVB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-Y-REVB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1H-1-Y-RevB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1H-1-Y-RevB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-1H-1-Y-RevB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-5A-1-Y-RevB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-5A-1-Y-RevB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-5A-1-Y-RevB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-5B-1-Y-RevB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-5B-1-Y-RevB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-5B-1-Y-RevB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1A-1-G-REVB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-1A-1-G-REVB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-1A-1-G-REVB STEP
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SLAMF50-SLAMF51-S-1P-1-K-REVB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-1P-1-K-REVB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-1P-1-K-REVB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-F-REVB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-F-REVB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-F-REVB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-Y-REVB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-Y-REVB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-1E-1-Y-REVB DXF
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SLAMF50-SLAMF51-S-1J-1-G-REVB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-1J-1-G-REVB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-5A-1-G-REVB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-5A-1-G-REVB IGS
SLAMF50-SLAMF51-S-5A-1-G-REVB STEP
SLAMF50-SLAMF51-S-5B-1-G-REVB DXF
SLAMF50-SLAMF51-S-5B-1-G-REVB STEP
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SLAMF53-7-3E-1-A-REVB STEP
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SLAMF53-7-5E-2-A-REVB STEP
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SLAMF53-A-2E-2-Y-REVB STEP
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SLAMF53-D-2K-3-A-RevB IGS
SLAMF53-D-2K-3-A-RevB STEP
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SLAMF53-P-2X-2-A-RevB STEP
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SLAMF53-S-2C-2-K-REVB IGS
SLAMF53-S-2C-2-K-REVB STEP
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SLAMF53-S-2E-2-G-REVB IGS
SLAMF53-S-2E-2-G-REVB STEP
SLAMF53-S-2E-2-K-REVB DXF
SLAMF53-S-2E-2-K-REVB IGS
SLAMF53-S-2E-2-K-REVB STEP
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SLAMF53-S-2F-1-G-REVB STEP
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SLAMF53-S-2X-3-G-REVB STEP
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SLAMF60-7-1E-0-A-REVB STEP
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SLAMF60-S-1E-0-K-REVB STEP
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SLAMF60-S-1L-0-K-REVB DXF
SLAMF60-S-1L-0-K-REVB IGS
SLAMF60-S-1L-0-K-REVB STEP
SLAMF60-S-1P-0-K-REVB DXF
SLAMF60-S-1P-0-K-REVB IGS
SLAMF60-S-5A-0-Y-REVB DXF
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SLAMF60-S-5A-0-Y-REVB STEP
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SLAMF61-S-1P-0-K-REVB IGS
SLAMF63-P-2E-0-K-RevB STEP
SLAMF63-P-2E-0-K-RevB IGS
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SLAMF63-S-2D-0-G-REVB DXF
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SLAMF63-S-2E-0-K-RevB STEP
SLAMF63-S-2E-0-K-RevB IGS
SLAMF63-S-2G-0-G-REVB DXF
SLAMF63-S-2G-0-G-REVB IGS
SLAMF63-S-2G-0-G-REVB STEP
SLAMF63-S-2M-0-G-REVB IGS
SLAMF63-S-2M-0-G-REVB DXF
SLAMF63-S-2M-0-G-REVB STEP
SLAMF63-S-2N-0-G-REVB DXF
SLAMF63-S-2N-0-G-REVB IGS
SLAMF63-S-2N-0-G-REVB STEP
SLAMF63-S-2U-0-K-REVB DXF
SLAMF63-S-2U-0-K-REVB IGS
SLAMF63-S-2U-0-K-REVB STEP
SLAMF63-S-3J-0-G-RevB STEP
SLAMF63-S-3J-0-G-RevB IGS
SLAMF63-T-2U-0-A-RevB STEP
SLAMF63-T-2U-0-A-RevB IGS
SLAMF64-S-2W-0-G-REVB DXF
SLAMF64-S-2W-0-G-REVB IGS
SLAMF64-S-2W-0-G-REVB STEP
SLAMF64-S-3L-0-K-REVA IGS
SLAMF64-S-3L-0-K-REVA DXF
SLAMF64-S-3L-0-K-REVA STEP
SLAMF64-S-3P-0-K-REVB DXF
SLAMF64-S-3P-0-K-REVB IGS
SLAMF64-S-3P-0-K-REVB STEP
SLAMF64-S-4A-0-K-REVB DXF
SLAMF64-S-4A-0-K-REVB IGS
SLAMF64-S-4A-0-K-REVB STEP
0250 시리즈
최대 4개의 장치 제어 및 전원 공급
0260 시리즈
최대 30개의 장치를 제어 및 모니터링하고 최대 10개의 장치에 전원을 공급합니다.
Brooks Expert Support Tool (BEST)
A Windows™ Brooks Instrument MFC 및 압력 컨트롤러의 확장된 제어를 제공하는 기반 응용 프로그램입니다.
Brooks LabVIEW™ DLL

사용자가 Brooks® 디지털 질량 유량 컨트롤러, 압력 컨트롤러 및 보조 전자 장치와의 통신을 설정할 수 있습니다. DLL은 LabVIEW™에서 자신의 어플리케이션을 생성할 때 사용됩니다.

Smart DDE Software
Dynamic Data Exchange 소프트웨어를 사용하면 Windows® 기반 응용 프로그램과 Brooks Instrument RS485 S-Protocol 장치 간에 양방향 링크를 만들 수 있습니다.