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5850EM Series Metal Sealed Thermal Gas Mass Flow Controllers

입증된 장기간 안정성. 고압 사용 공정을 위한 초순도 성능.
5850EM 시리즈 금속 씰 질량 유량 제어기는 초청정 환경에서 널리 이용되는 5850E 및 i 시리즈 MFC의 성능을 바탕으로 입증된 안정성으로 고압 가스 유량을 측정하고 제어합니다. 이 제품의 금속 씰 구조와 전해 연마 습식 표면은 뛰어난 유량 무결성을 보장하고 안정적인 가스 유량을 제공하기 위한 지속적인 모니터링의 필요성과 가스 압력 재조정 필요성을 없애 전반적인 공정 효율성을 개선하도록 합니다. 

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5850EM 시리즈 데이터 시트

특징

  • 연간 0.2%F.S. 미만의 장기간 Zero 안정성
  • 무시할 수 있는 수준의 Overshoot/Undershoot과 3초 미만의 명령 변경의 안정 시간
  • 광범위한 유량 범위 - 3 sccm에서 최고 30,000 slpm
  • 고압 정격 - 최고 1,500 psi
  • 강화된 공정 내부 마감 옵션 - 5µ inch Ra 평균
  • 탈거가 가능한 유량 센서
  • 장착 자세에 민감하지 않음
  • 다른 질량 유량 제어기와의 기계적 및 전기적 호환성
  • TTL 호환 "밸브 차단" 및 퍼지 기능

장점

  • 전금속 유량 경로로 가스 순도를 높이고 Leak를 줄입니다
  • 광범위한 공정과 응용 범위에서 입증된 장기간 안정성 및 정확성
  • 안정적인 성능을 통한 뛰어난 투자 수익
  • 탈착이 가능한 유량 센서로 가스 압력의 계속적인 모니터링과 재조정할 필요성을 제거합니다
  • 아날로그 전용 입력/출력으로 쉽게 설치 및 서비스 가능

응용

  • 광섬유
  • LED / MOCVD
  • 반도체
  • 태양광
{3141C6E8-E1A9-438D-B5C4-D63EFAB1992A}
상품 유형
질량 유량 제어기 
{713B1CBC-7AC7-4571-B26E-32616A724893}
특장점
대형 설치 기반의 입증된 장기간 성능 
{80D240C2-0FDE-46F9-9F84-1390C806AF3F}
성능
{16DFC781-A8E5-4DF7-B59A-A7D8AD6EC46D}
유량 범위(최대 용량)
3 sccm - 30,000 sccm 
{F4EDA08B-FE9E-4633-9B02-1B79CAA46CD8}
정확도
1% F.S. 선형성 포함 

1.5% F.S. 선형성 포함(>20 slpm) 
{E7F55DC5-8163-4F49-87AE-44538F4E21D0}
반복성 및 재현성
속도의 0.2% 
{80387D91-59AF-41A4-A923-069F68153DC3}
선형성
±0.5% F.S. (정확도에 포함) 
{4643DD93-C8B4-408F-81B5-849F5D8C9F80}
응답 시간
Normally Closed Valve: <3 초  

선택: 600 msec 
{DC3E88E8-CE65-4F1A-B4D3-A49224429ADD}
다중 가스 및 범위 구성
{5BA547FE-F01D-4C7E-8C31-C2383EF04A1E}
압력 과도 무감응성
{2B00ACC8-97F0-4B4F-B173-E896B7E106A8}
제어 범위
2-3% ~ 100% 
{B76DA73A-A60B-429A-AF8F-1ABCDDDC23CB}
Bin 개수
해당사항 없음 
{7FF3A25B-6A9F-472C-A128-D4812238D575}
밸브 차단
해당사항 없음 
{9B475C49-52FB-4400-B3DD-A3E6F63E01F6}
제로 안정성
연간 ±0.5% F.S. 미만 
{1066F28B-8754-4281-9B21-C2DDB64C77AA}
기계적
-
{1D4BD45E-5C3B-4C43-8B3B-A95C0870359B}
씰 재료
금속 
{17DC294D-5BD8-4BDD-9B81-BE1988283AB7}
표면 마감 (Surface Finish)
316L VAR, 316L, 및 고합금 페라이트 스테인리스강 
{51B2E417-C5D5-48ED-894D-9CE40119746B}
습윤 재료
밸브 시트: 316L, Viton® 불화탄성체, Buna-N, Kalrez® 또는 Teflon® 
{3041890D-EFFD-4198-B5A4-B065DB876ACA}
밸브
Normally Closed, Normally Open 

유량계(밸브 없음) 
{33B32B4A-2FE4-4B3F-84C1-10AB6A7FE7B1}
등급
{C8A94F7F-0EB5-4591-9E19-D9221FEF8823}
최고 온도
65oC
{CF7C75B3-9B99-400F-8AA5-9084A9F3F353}
차압 범위
5 ~ 50 psi(가스 및 범위에 따름) 
{C190B420-32F2-4DC8-9822-088452814F4C}
최대 압력
1500 psi 
{7C1A9165-54B5-4700-B1C9-E382A7B7CACD}
누출 무결성
1x10-10 atm cc/초 He 
{4133F208-C666-415C-B6FE-F1877422381C}
진단 및 디스플레이
{97D761CA-2851-4ED0-A1CD-F42559FF6030}
진단 능력
{0162F6AA-B99D-4CB8-9AD4-A95DDA3E04C3}
상태 표시등
MFC 상태, 네트워크 상태 
{B9B24DC5-A4D2-4CBE-AD51-7E26B18618BC}
알람
제어 밸브 출력, 네트워크 중단 
{AF6D6F2E-63AD-4F06-93C0-AAF8E2AC9783}
독립 진단 서비스 포트
해당사항 없음 
{73BEBF95-6EB5-42F0-AC39-EDC8D38EC382}
전기
{69999E75-097B-4696-A63F-A89263BBA3E2}
아날로그 통신
4~20 mA 
0~5 Vdc 
{0303F12A-37EB-420A-BF47-53D86C711922}
디지털 통신
{BC195D12-9EB6-454A-86DE-F0B51AC868DE}
전기 연결
15 핀 D 커넥터(DA-15P) 
{D6A6D2FA-C38B-49FA-9514-158EAF2DFE65}
전원 공급/소비
Normally Closed valve: 3.25 watts 

Normally Open valve: 10.5 watts 
{7153A00C-56D3-4DFD-8862-3144B0058333}
규정 준수
{4AEEF581-7C84-4BF3-A1BF-B46966DF9571}
EMC
61326에 따름(89/336/EEC)  
{69EA7516-24C1-40C6-BDA0-2E27979519B9}
환경 규정 준수
해당사항 없음 
파일 이름 파일 형식 언어별 문서
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual - 5850EM pdf English
Installation & Operation Manual - 5851EM pdf English
파일 이름 파일 형식
5850EC-4-B-F DXF
5850EC-4-B-F IGS
0250 시리즈
최대 4개의 장치 제어 및 전원 공급