Vapor Delivery Modules
광범위한 질량 흐름 요구 사항에 대해 검증된 유연성.
당사의 탄성중합체 밀폐형 질량 유량계 및 컨트롤러는 공정에 필수적인 정확성, 신뢰성 및 반복성과 함께 정밀한 성능과 장기적인 안정성을 지원하는 비용 효율적인 기기입니다. 결과: 운영에 필요한 가치와 투자 수익을 극대화할 수 있습니다.
주요 용도
- 화학 및 석유화학 분석 및 파일럿 공정
- 실험실 및 분석 시스템
- 생명과학 바이오리액터
- 박막 증착
- 열처리, 절단 및 기타 열처리
- 진공 분야
공정 요구 사항에 가장 적합한 질량 유량 기기를 선택하십시오.
제품
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상품 유형 | DI 수증기 전달 모듈 |
특장점 |
초고순도 DI 수증기 고순도 DI 수증기 전달 최고의 유량 정확도 컴팩트한 디자인 EtherCAT 디지털 통신 |
기화 방법 | 증기 그리기 |
유체 유형 | 직접 주입 물 |
유량 범위(최대 용량) |
3000 sccm |
최대 압력 | 증기 배출구: 200 Torr |