{4D39703F-8431-4E00-AAAF-E32A63224B73}
{D253B33E-C5F3-4DDA-BD34-73FFC0C232FA}
특장점
IP66 승인 Enclosure
호스 다운/워시 다운 응용 분야에 적합
위험 구역 승인
{67DC4ABD-6777-4374-A573-7D0D966C728D}
{9AAFFE42-6B76-4D6E-93E5-BECEAA6F8668}
유량 범위(최대 용량)
0.003~2500 slpm
{0B64BBEC-4BB7-4FED-9357-592DD5690A75}
정확도
17025 인증 장치(선형성 포함, 보정 시스템 측정 불확도 제외, SEMI E69 기준)
±0.6% SP(20~100% FS)
±0.12% FS(<20% FS)
1100 slpm(최대 2500 slpm): ±0.6% FS
표준 장치(표준품으로부터의 불확도 포함)
±0.9% SP(20~100% FS)
±0.18% FS(2~20% FS)
1100 slpm(최대 2500 slpm): ±1.0% FS
{26C11D89-3C54-4E7D-8888-5556E24F7DE1}
{1D81766F-E683-411F-B8B7-7DF8FB04B1AF}
{4CF87FD8-F072-4D48-A130-093BC919EBAE}
응답 시간
최대 100 lpm까지 <1초
최대 2500 lpm까지 <3초
{7F7303B9-21F0-4DB8-B19A-DD6744F98098}
{5786AAD7-7C1E-4073-98EF-2E9C159850E3}
최대 압력
100 lpm 이하: 1500 psi/100 bar
50 lpm 이하: 4500psi/310 bar(옵션)
100~2500 lpm: 1000 psi/70 bar
{7FC46212-0BAA-4696-B5DA-9170F8547A94}
제어 범위
1~50 slpm: FS 유량측정비 100:1
50~2500 lpm: FS 유량측정비 50:1
{5F2CA8BE-E327-46C6-A3BB-0D820D401F43}
{036F2FE9-02A0-4D8B-8038-2E478D431EE1}
유량 온도 계수
Zero : <0.05%FS / ℃
Span : < 0.1%SP / ℃
{5E5CD617-7F04-4615-8737-FE8E3FFE18E9}
압력 계수
±0.03% / psi(0~200 psi N2)
{836190EB-84E2-4D7B-B0A8-E3755CCD2B95}
위치 저감도
제로화한 후 명시된 정확도로부터 <0.2%FS 최대 편차
{636DEA02-86E7-4C2A-99C4-A35955A98A42}
{926B9E2B-B423-48C5-B970-149010D48B39}
{7688D2A8-C7B4-4E0B-99C6-A09793B8432B}
차압 범위
제어기
50 lpm 이하: 최소 5 psi/0.35 bar - 최대 1500 psi/103.4 bar
50-100 lpm: 최소 10 psi/0.69 bar - 최대 50 psi/3.45 bar
500 lpm: 최소 7.5 psi/0.52 bar - 최대 300 psi/20.0 bar
1000 lpm: 최소 14.5 psi/1.00 bar - 최대 300 psi/20.0 bar
2500 lpm: 최소 35.0 psi/2.41 bar - 최대 300 psi/20.0 bar
{5A7962B1-CCBE-433E-9949-3A00D3E1CCEB}
누출 무결성
1X10-9 atm. cc/sec He
{FD1D1004-5C0F-4B63-932C-35138114F6EA}
{564301AE-2597-47D3-B01A-D1EA5035CE62}
{E25F7667-7768-49A8-BC0A-E0825FA74744}
습윤 재료
316L 스테인리스강
고합금 스테인리스강
Viton® Fluoroelastomers
Buna-N
Kalrez®
Teflon®/Kalrez®
EPDM
{F382B259-19AC-405F-B302-6B9714656C5C}
밸브
Nomally Closed
Normally Open
계측기(밸브 없음)
{E453CD3F-EB1B-46A0-9AB5-289E0F2F94F0}
{C2E26E76-7B9F-4B24-9F5E-CBA3D18D1EC0}
{C3E267C1-0306-43D2-81C0-4E56D6E3631C}
{C6339274-4BFE-4E18-8B94-C9FA3F25F2A2}
알람
센서 출력
제어 밸브 출력
온도 과부하
전원 Power Surge/Sag
네트워크 간섭
{8BE7F605-87D9-4DB9-BB89-ABD70731BEB2}
독립 진단 서비스 포트
RS485(2.5mm Jack)
{53E159A3-B49E-43ED-981A-019A342A4332}
{8B595ECE-164D-4211-B642-A97342BB1B00}
아날로그 통신
0~5 V, 1~5 V, 0~10 V, 0~20 mA, 4~20 mA
{04455110-D658-42D9-B6F0-121BA12BAAFB}
디지털 통신
DeviceNet™
EtherNet/IP™
Profibus®
PROFINET
RS-485
{9225A0F9-07BD-427C-B176-FC5179F41675}
전기 연결
DeviceNet™: 1 x M12 with threaded coupling nut (B)
Profibus®: 1 x 15-pin Male Sub-D
1 x 9-pin female Sub-D
RS485: 1 x 15-pin Male Sub-D, (A)
{71103481-4143-41CD-8B6E-75BB5C0B18B1}
전원 공급/소비
아날로그/Profibus®/RS-485
Valve Orifice > 0.032”: 8 Watts
Valve Orifice ≤ 0.032”: 5 Watts
밸브 없음: 2 Watts
DeviceNet™
Valve Orifice > 0.032”: 10 Watts
Valve Orifice ≤ 0.032”: 7 Watts
밸브 없음: 4 Watts
{5B59C62B-86F8-4735-A7B7-52F770F486E3}
{69B425DA-C564-46AC-BFDF-92D19720A61D}
인증/승인
CE: EMC, RoHs, PED
UL 등재/공인:
1등급, 2구역, IIC T4, II등급, 22구역
II 3 D Ex tc IIIC T 85°C Dc
{76045893-80DF-43BE-B8AD-00E586A83EDD}
환경 규정 준수
RoHS (2011/65/EU)
REACH EC 1907/2006
{1109E7B2-CEF9-4302-8A6E-E217BF7B1706}