{401C5C5F-E447-4C89-AE9A-7AB9531800B5}
{85D6B977-1CF9-4752-8A3D-4A1088016856}
특장점
높은 정확도
MultiFlo™ 기능
컴팩트한 크기
모든 가스에 적합
{4E6BA170-D9B9-4E88-B422-6E7D941017EB}
{B8CBEAA1-9B67-4F93-8C9E-128F709C488F}
유량 범위(최대 용량)
3 sccm~50 slpm
{4091AF3B-8E51-462D-AB96-3C8C5F50CACB}
정확도
1% SP 35~100%, 0.35% FS 2~35%
{430B01B9-6AC3-4A2E-A47E-3EE4A08AAC87}
{279F2CEC-549F-4FEB-8417-236707ACE451}
{D598FBEC-ADC6-4536-B3FE-F81D371B5B9B}
응답 시간
Normally Closed Valve: 300 ms - <1초
{55583860-F6FB-4C11-9221-42CEA7121314}
다중 가스 및 범위 구성
MultiFlo™ 사용 가능
{9B669EE1-BBCF-4001-A23E-82E1E01BD337}
{595E4D12-1536-4B83-9EA7-07DC8C5FDD44}
{0EDA30F7-20EC-43A9-BB2F-971CE3D90ECF}
밸브 차단
Setpoint가1.5%FS 이하로내려갈 경우 밸브폐쇄
{F0FE01D0-412B-473D-B2A9-716EEFEBB8FB}
{177D8BF4-A5BA-4507-A921-1CCC1217ACB6}
압력 계수
0.03%/psi(0~50psi N2)
{EDF6FC6E-51A3-471C-936C-0EAFAE78FF3E}
{170B6E7F-8429-42D4-884E-8CDA7CA51329}
{7B7D20F0-4595-4BAB-A1F6-052EC6D9D08F}
{5B0169F5-649F-4B58-9FB4-EC506037713E}
차압 범위
3~860 sccm = 7~45 psid
861~7200 sccm = 15~45 psid
7201~55000 sccm = 25~45 psid
*자세한 내용은 Brooks 기술 지원에 문의하십시오.
{979D5D9B-7109-4C2E-9E3C-48AEF44743DA}
누출 무결성
1x10-10 atm. cc/sec He
{B630BC60-9E07-427E-B377-5B0810A2B020}
{D3A18DDA-24FC-4D77-B17D-7D9C82FE20F4}
{B48DDCAE-901A-499D-9C22-FEEA1BE3CB6B}
{A7F69D55-8885-4FA3-9030-108E9CF720AA}
습윤 재료
32µ 인치 Ra
316 스테인리스강, Hastelloy C-22, 1707 PH,43055
{CE6916E3-668E-4AED-8555-49F4C1D958ED}
밸브
Normally Closed
Normally Open
계측기(밸브 없음)
{4825F789-6AC0-452E-9B5A-D1B345D4D5C0}
{E30F071F-D5C1-47C2-B303-2ED8AAAA9844}
{87C6F242-81D8-4670-8268-FB09DB343DBC}
{FF050C1C-9989-499B-8DDD-D145556C5119}
{DB7C7415-9565-4D3C-BF20-3004CB2E2DBC}
아날로그 통신
0~5 V, 0~10 V
0~20 mA, 4~20 mA
{F0D53125-7F59-4D1D-8A06-C458BD6D5F65}
{EF8D242D-4752-40C5-8428-06E05B5D5044}
전기 연결
DeviceNet™: 1 x M12 with threaded coupling nut (B)
EtherCAT®: 5-pin M8 with threaded coupling nut/2 x RJ45
Profibus®: 1 x 15-pin Male Sub-D/1 x 9-pin female Sub-D
RS485: 1 x 15-pin Male Sub-D, (A)
{122753E9-9ECE-4B29-AD62-90D09D883D95}
전원 공급/소비
아날로그/RS-485
+12 Vdc~+24 Vdc: 7 Watt/8 Watt
DeviceNet™
+11 Vdc~+25 Vdc: 7 Watt/8 Watt
EtherCAT®/Profibus®
+13.5 Vdc~+27 Vdc: 7 Watt/8 Watt
{F76C62CC-4EBB-4D9E-8BEB-C9196A1B4B50}
{D0EB512E-048B-46F6-B187-BB52DF7C2682}
인증/승인
CE: EN61326: 2006(FCC Part 15, 캐나다 CE 시험 IC 서브셋)
안전성 EN61010-1
{C411D614-A5D2-4FD1-BCB2-A4441DF2D33A}
환경 규정 준수
RoHS (2011/65/EU)
REACH EC 1907/2006
{2B5B0F79-5BB4-4E84-BC1A-630F6CB50DB4}