처음부터 혁신의 선두주자
혁신의 시작은 1946년이었습니다. 제2차 세계 대전 이후 평화가 시작된 첫 해. 최초의 컴퓨터인 ENIAC이 공개되고 "자동화"라는 단어가 사용되기 시작한 해입니다. 그리고 Stephen A. Brooks가 펜실베니아주 랜스데일에서 Brooks Rotameter Company를 설립한 해이기도 합니다.
이 새로운 회사는 로타미터 구조의 혁신적인 측판, 다웰 핀 원리에 기반하는 기술을 무기로 설립되었습니다. 신뢰할 수 있는 결과를 제공하는 보다 발전된 기기였습니다. 산업이 필수 공정을 측정하고 제어하는 방식을 변화시키는 데 도움을 주는 기술에 대한 헌신은 처음부터 우리의 핵심적인 유산이었습니다
성장의 촉매
70년에 걸친 성장과 성공을 통해 Brooks Instrument는 1958년에 처음 출시되어 NASA에서 1965년 3월 Gemini 우주 프로그램을 위한 우주복 누출 테스트에 사용한 바 있는 내구성이 뛰어나고 효율적인 Sho-Rate® 가변 면적 유량계 등, 세상을 변화시키는 많은 유체 측정 및 제어 기술을 개척해 왔습니다
그 이후로 Brooks Instrument 제품군에 합류한 여러 회사도 이러한 혁신의 유산에서 동등한 역할을 담당하고 있습니다. Tylan General 및 UNIT Instruments와 같은 획기적인 질량 흐름 기술의 창시자는 질량 흐름 기술의 개발 및 적용 변화를 위한 촉매제가 되겠다는 결의를 Brooks와 공유했습니다
질량 흐름이 가진 잠재력의 발휘
우리의 유산에는 디지털 세계를 주도하는 글로벌 반도체 산업을 구축하는 데 핵심적인 기술인 질량 유량 측정 및 제어 기술을 도입하고 지속적으로 발전시키는 것이 포함됩니다.
산소 흐름을 정확하게 측정하기 위해 아폴로 우주선에서 처음 사용된 MFC는 1970년대 Tylan FC-260과 함께 상용화되었으며, 이를 통해 반도체 제조업체는 최초로 산업적 규모의 처리 속도 및 수율로 도구에 유입되는 공정 가스를 자동 제어할 수 있게 되었습니다.
1980년, UNIT Instruments는 에칭과 같은 까다로운 공정에 적합한 더 빠르고 안전한 폐쇄형(normally closed) MFC 밸브를 제공하는 UFC1000을 출시했습니다. 90년대 초반에서 중반까지 Brooks Instrument는 정확성과 공정 도구에 대한 통합 용이성을 위한 최초의 완전 디지털 MFC이자 부식성 가스에 대한 향상된 신뢰성과 저항성을 제공하는 최초의 금속 밀폐 MFC(5850EM)를 출시했습니다.
질량 유량 기기에 추가된 혁신 또는 기술 기능은 제조업체가 공정 결과에서 새로운 수준의 정밀도와 정확성을 갖도록 지원하고자 하는 단 하나의 근본적인 목표하에 개발되었습니다.
분야별 성능 향상
당사의 기술은 언제나 우리가 지원하는 산업의 혁신을 위한 촉매제 이상의 역할을 해 왔습니다. 또한 실제 분야에서 성능을 지속적으로 개선하여 공정 유연성을 높이고 더 광범위한 기기 선택성을 제공하며 고유한 운영 요구 사항을 충족하는 데 중점을 두고 있습니다.
일례로, 1998년에 Brooks는 내후성을 제공하는 위험 지역용 MFC인 Mf 시리즈를 최초로 출시하여 야외, 워시 다운/호스 다운 분야 및 위험 지역에서 사용할 수 있도록 했습니다. Brooks는 또한 고객에게 향상된 저유량 액체 측정 및 제어 정확도를 제공하는 최초의 미니 코리올리 기반 MFC를 출시했습니다.
2000년대 초에는 특정 영역을 대상으로 하는 여러 혁신이 있었습니다:
- 컴팩트한 표면 장착 MFC가 출시되어 OEM이 가스 패널 크기를 최대 60%까지 축소하여 공정 도구에 필요한 공간을 대폭 줄일 수 있게 되었습니다.
- 진공 측정 분야는 최초의 디지털 정전 용량 압력계가 출시되면서 새로운 시대로 접어들었습니다.
- 2001년에 개발된 MultiFlo® 질량 유량 기술은 열 질량 유량계 및 유량 컨트롤러 사용자에게 하나의 기기로 다양한 가스 및 유량 조합의 전달을 프로그래밍할 수 있는 기능을 제공합니다.
- 2004년 Celerity Instrumentation(이전의 UNIT Instruments)은 시장 최고의 응답 시간과 유입구 압력 변동에 대한 보정 기능을 제공하는 최초의 PTI(pressure transient insensitive) MFC인 IFC125를 출시했습니다.
혁신의 유산 유지
2009년 Brooks는 Tylan, Mykrolis 및 UNIT Instruments와 같은 업계 선두업체의 기술적인 유산을 간직한 Celerity Instrumentation을 인수했습니다. 당사는 이러한 유산을 다음을 비롯한 여러 영역의 발전을 통해 지속적으로 구축해 가고 있습니다:
- 반도체 산업을 위한 다목적 범용 MFC 플랫폼인 GF100 시리즈는 MultiFlo®, PTI 및 기타 첨단기술을 결합하여 정확도, 성능 및 장기적 가치에 대한 산업 표준을 설정합니다.
- 실시간 유량 오차 감지 기능이 통합된 최초의 MFC인 GF135 MFC를 통해 반도체 제조업체는 가스 라인에서 유량 컨트롤러를 제거하지 않고도 공정 가스 정확도를 확인하고 밸브 누출을 점검하고 센서 안정성을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다.
- MT3809 VA 유량계는 이제 HART 7 기능이 있는 개선된 트랜스미터와 로컬 운영자 인터페이스가 있는 디지털 LCD 디스플레이를 갖추고 있어 덮개를 제거하지 않고도 매개변수를 변경할 수 있으므로 위험 지역에서도 적용 가능합니다.
오늘날 당사가 보유한 혁신의 유산은 고객이 시스템 및 운영의 성능을 지속적으로 혁신할 수 있게 하려는 하나의 목표하에 기존 플랫폼을 개선하고 새로운 기술을 개발 및 배포하고 있습니다.