ピエゾゲージ
当社のピエゾ真空ゲージと圧力ゲージは、高度なセンサー技術を採用し、迅速な応答時間と長期的な安定性を実現しています。真空チャンバーやクリーンルームでの高純度アプリケーションのいずれにおいても、当社のトランスミッタとゲージは、耐久性、再現性、および長期にわたる低ドリフトを実現するように設計されています。
ピエゾセンサー設計の進歩とアクティブ温度補正および高度なデジタル信号処理を組み合わせることで、MEMSベースの真空・圧力測定の性能を拡張し、精度を大幅に向上させます。
当社のピエゾ真空ゲージと圧力ゲージは、高度なセンサー技術を採用し、迅速な応答時間と長期的な安定性を実現しています。真空チャンバーやクリーンルームでの高純度アプリケーションのいずれにおいても、当社のトランスミッタとゲージは、耐久性、再現性、および長期にわたる低ドリフトを実現するように設計されています。
ピエゾセンサー設計の進歩とアクティブ温度補正および高度なデジタル信号処理を組み合わせることで、MEMSベースの真空・圧力測定の性能を拡張し、精度を大幅に向上させます。
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