VersaTorr BVT100 真空計

超広範囲の真空測定

VersaTorr BVT100シリーズの真空計は、業界最高水準の性能を発揮し、熱伝導式真空計の測定可能範囲を1～3デシベル分拡大することで、新たな基準を打ち立てました。

VersaTorr BVT100シリーズ真空計は、最先端のMEMS（微小電気機械システム）センサー技術を基盤とし、斬新な高精度デジタル信号処理アーキテクチャと先進的な革新的な測定アルゴリズムを融合させた設計を採用しています。これらを、高精度な自動製造および校正プロセスと組み合わせることで、妥協のない測定性能を実現する独自の製品となっています。

熱伝導率計の粗真空域におけるガス依存性という周知の問題は、高価な静電容量式マノメーターに匹敵する精度性能を持つMEMSダイヤフラムセンサーを組み込むことで解消されました。この機能により、真空システムの排気プロセスをより正確に制御できるようになり、真空システム内の過圧を防止することができます。