モデル 5850E, i / 5851E, i / 5860E, i / 5861E, i / 5853E, i / 5863E, i
5800E エラストマーシール式質量流量コントローラーおよび流量計
長期安定性に優れ、生産の的確性を維持
どの製品ラインにも主力製品があります。ブルックスインスツルメントの5850Eと5850iシリーズサーマル式マスフローコントローラは、その条件に当てはまる製品です。数十年に渡って、世界中の数千種類ものアプリケーションでアクティブに使用された実績を持つ本シリーズは、独自の安定した流量センサを備え、現代の要求の厳しい工業生産プロセスに必要な信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います。
特長
- 長期的なゼロ点安定性：0.2％フルスケール/年以下
- 微少オーバーシュート/アンダーシュートによる変更に対応する高速フロー応答
- 幅広い定格流量 - 3 sccmから1000 slpm
- 定格高圧力 - 最大1,500 psi
- 取り外し可能な流量センサ
- 取付姿勢の影響なし
- 他のマスフローコントローラとの機械的/電気的互換性
- 電動式バルブオーバーライド
- 耐腐食バルブ
メリット
- 幅広いプロセスとアプリケーション範囲で実証済みの長期安定性と精度
- 信頼性の高いパフォーマンスにより優れた投資利益率を提供
- 連続監視とガス圧の最調整が必要ない取り外し可能な流量センサ
- アナログ専用入力/出力により、取り付けとサービスが容易
| 使用媒体 | Gas |
|---|---|
| 流量測定原理 | Thermal (TMF) |
| 流量範囲 | .003 - 1000 slpm |
| 精度範囲 | 1% of FS, 1.5% of FS > 20 slpm |
| 却下率 | 50:1 |
| 再現性 | 0.25% of rate |
| 最大圧力 | 1500 psi |
| 動作温度 | 5°C - 65°C |
| 測定／制御 | Measure & Control (Controller) |
| 最大流量 | 1000 slpm |
| 最大使用圧力 | 103 bar |
| 最高温度 | 65 celsius |
| シールオプション | Elastomer |
| 接続性 | Analog (0–5 V) |
| 測定／制御 | Measure & Control (Controller), Measure Only (Meter) |
ファイル名
ファイル形式
言語別ドキュメント
Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.
Example: 5850E - C - 4 - B - F
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