マスフローコントローラー ガス補正係数
適用モデルファミリー5700、5850e、5850em、5850emh、5850i、5850tr、SLA5800、SLAMF
センサーファクターが使用されるシナリオには、次のようなものがあります：
ファクター理論と導出
熱式マスフローコントローラー（MFC）またはメーターが、校正されたガスと異なるガスで動作する場合、出力信号とマスフロー率との間の関係にスケールシフトが発生します。これは、2つのガス間の熱容量または比熱の変動によって起こります。
比熱とは、ある物質の単位質量の温度を摂氏/ケルビンで1度上げるのに必要な熱エネルギー量のことです。物質が温度を上昇させるまでにどれだけのエネルギーを吸収できるかを示す。定圧比熱は記号Cpで表記されることが多く、単位はジュール・パー・グラム・パー・摂氏（J/g-℃）またはジュール・パー・グラム・パー・ケルビン（J/g-K）。モル比熱は、ジュール毎モル毎ケルビン（J/mol-K）で表されます。比熱は温度、圧力、組成によって変化する。サーマル・ワイヤ・ベースのセンサーでは、比熱は通常80℃で測定されます。
数学的には次のように定義できる：
2つの異なるガスの比熱間のスケールシフトは、モル比熱の比、またはセンサーファクターで近似することができます。
マスフロー関係からのセンサーファクターの導出を以下に示す：
約200種類のガスのセンサー係数、計算式、オリフィス係数、密度などの役立つリストをダウンロードできます。
ほとんどの気体の比熱は、圧力や温度に強く依存しません。しかし、参照条件と大きく異なるガス条件は、不正確さを引き起こす可能性があります。センサー係数の精度においてさらに考慮すべき事項には、比熱の参照データベースの一貫性、レイノルズ数効果（流路形状、ガス密度/粘度）、および代替/プロセスガスの熱物理学的類似性が含まれます。最も精度が高いのは、常に実際のガスで校正した場合です。
新しいガスへの変更
新しいガスに変更するには、校正用ガスのセンサー・ファクターに対する希望するガスのセンサー・ファクターの比率を出力読み値に掛けます。
計算例を参照してください：
混合ガスの変更
新しい混合ガスの流量を計算するには、以下の式を使用します：
工場で製造され、校正された条件と異なるガス条件、操作圧力、または流量範囲でサーマルマスフローコントローラまたはメータを操作する場合、 オリフィスと リストリクタの新しいサイジングも必要になることがあります。 そのような サイズ変更は、デバイスの内部コンポーネントが新しいプロセス条件と互換性があることを確認 するために、 Brooks テクニカルサービスチームからのサポートが必要になります。
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