PC100シリーズ プレッシャーコントローラおよびメータは、さまざまな高性能なテクノロジーを組み合わせ、要求の厳しい半導体、蒸着、高精度の製造プロセスでも、精度と信頼性の高い圧力制御を実現します。
実績あるブルックス GF100 マスフローコントローラテクノロジーを基に作られたPC100シリーズは、高清浄オールメタル流路、センサドリフト（偏差）を低減する高性能なセンサテクノロジー、ユーザーインターフェース、デバイスの診断機能を搭載。デバイス評価やトラブルシューティングを容易に実行し、稼働中断やダウンタイムを大幅に減らします。