PC100 シリーズメタルシールプレッシャーコントローラ

圧力下でも高精度測定、 精度をコントロール
モデル PC115 / PC125

PC100シリーズプレッシャーコントローラおよびメータは、さまざまな高性能なテクノロジーを組み合わせ、要求の厳しい半導体、蒸着、高精度の製造プロセスでも、精度と信頼性の高い圧力制御を実現します。

実績あるブルックスGF 100マスフローコントローラテクノロジーを基に作られたPC100シリーズは、高清浄オールメタル流路、センサドリフト(偏差)を低減する高性能なセンサテクノロジー、ユーザーインターフェース、デバイスの診断機能を搭載。デバイス評価やトラブルシューティングを容易に実行し、稼働中断やダウンタイムを大幅に減らします。

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PC100 データシート

特長

  • 応答時間:1秒以下
  • フルスケール流量レート 最大10 slm
  • トランデューサ圧力レンジ:1000 Torr FS
  • メタルシール流量経路:5µインチRa表面仕上げ
  • 組み込みフローメータ付PC125には、高速ARMプロセッサを搭載した耐腐食ハステロイ®製C-22フローセンサが付属
  • 非ダイアフラム高速動作バルブアセンブリ
  • 使いやすいプッシュボタンを備え、流量、温度、ネットワークアドレスをローカル表示する可視性の高いLCDディスプレイ
  • 独立した診断/サービスポート独立した診断/サービスポート
  • DeviceNet™ プロトコル

メリット

  • 圧力制御向上のための応答時間と設定時間を短縮する高性能コンポーネント
  • 転用ガス消費と廃棄コストを削減
  • SEMI F20準拠の耐腐食性オールメタル接ガス・接液部流路で表面積とデッ ドボリュームを削減し、パージ時におけるドライダウン時間を短縮
  • サーマルセンサと圧力センサの長期安定性により、最大の収率とスループットを保証
  • スローランプ付の圧力制御が必要なプロセス向けにユーザー定義が可能な起動機能

用途

  • 半導体高度エッチングツール
  • 薄膜化学蒸着(CVD)システム(CVD、MOCVD、PECVD、ALD)
  • 物理蒸着(PVD)システム
{1F295648-8F02-4CB1-9CDF-88EBBA5382A5}
製品タイプ
Pressure Controller
{4E5FEAE0-D850-4C40-B132-0F558FAAB63A}
差別化要因

Control Mode: Downstream or Upstream

Ultra-High Purity

Digital Pressure Control

{1E77F782-55E2-4D8D-8516-2D3E24D1F5AE}
パフォーマンス
{EBFA0A0A-3B9B-437B-AEAE-5D064E59D8BE}
流量範囲(フルスケール容量)

10 slm (N2 or H2 only)

{CB3889BC-A2BE-4951-AC6C-7D6B17269372}
精度

Pressure Reading: ± 1% of reading

Pressure Control: ± 0.2% of F.S. <10% F.S.; ± 1% of reading >10% to 100% F.S.

Flow Reading: ± 0.35% of F.S. 2-35% F.S. ; ± 1% of reading >35% F.S

{6E1E9F1C-5174-437E-8556-0ACF1984C4DA}
再現性

< ±0.2% F.S.

{3D67A3EF-67C3-4836-A6D8-3416ABE14B50}
Temperature Coefficient

Zero: < 0.05% F.S./°C

Span: < 0.08% of reading/°C

{BC52041F-E6E9-45FD-919E-3EB374FED1B4}
最高圧力

1000 Torr FS

{59A3993D-AD07-4548-A7E5-767AC39E2529}
Pressure Control Range

> 2 to 100%

{96A8F9D9-4C0E-4EFA-B1C2-512C3DC4D5CC}
Response Time - NC

< 1 sec typ. (excluding system time constant)

{C4A5CCCC-0CFC-4FF7-BDC0-AFC7BD16EC5B}
温度レンジ
10 - 50°C
{06A13040-4CE2-460E-AB6D-0A2C9445EF31}
Leak Integrity

External: 1 x 10-10 atm scc/sec He max

{37EF911C-5AB2-41E6-BDAA-0E5546E2429E}
メカニカル
{04647A1A-77D1-48E5-94C0-4C345575D054}
シール材
Metal
{E2F8F805-5FB4-44D6-BDB9-A2BCD08CF825}
Level of Purity

5 µ inch Ra

{5FE329ED-7253-468D-9BFF-4F336F85BAA8}
Wetted Materials

SEMI F20 HP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

{A6C13564-F3F4-471D-8513-B10CE67199BC}
Valves

Normally Closed

{9087A477-4469-499E-AD0B-2A74CD529E1C}
Electrical
{B0432B84-4C46-443F-8E01-8EFFF1A638D3}
Diagnostic Capability
Available

{341B13DE-D3FE-44E9-89FB-EFDD9BE856F3}
アナログ通信

{C271A315-618F-4564-AC87-AD3EF24F8AAF}
デジタル通信

DeviceNet™

{F5DAA319-818A-4B18-A962-970AAE88CB6B}
Electrical Connection

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" Connector

{A793B5B6-6477-433B-9416-B30E562055A5}
Power Supply - Consumption

DeviceNet™: 545 mA max @ +11-25 Vdc

{950A2A75-EF73-4614-97EE-6B825856F986}
コンプライアンス
{94A26102-AF48-4FDF-A2EF-344FA253289B}
電磁環境適合性

EC Directive 2014/30/EU

CE: EN61326-1: 2013

{83C59269-0EAD-42B1-BA1D-8AE95AC04833}
環境法令遵守

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

PC115 PC125
差別化要因

Control Mode: Downstream and Upstream

Embedded Thermal Flow Sensor: No

Control Mode: Downstream

Embedded Thermal Flow Sensor: Yes

流量範囲(フルスケール容量)

20 sccm - 5 slm (N2 and H2 only)

10 slm (N2 and H2 only)

Pressure Control Range

Downstream: >2 to 100%

Upstream: >15 to 100%*

*Assuming hard vacuum on the outlet and 150 Torr min DP to achieve max flow

>2 to 100%

最高圧力

Transducer Pressure Range: 1000 Torr F.S.

Transducer Over Pressure Limit: 2 x F.S. range

Transducer Pressure Range: 1000 Torr F.S.

Transducer Over Pressure Limit: 2 x F.S. range

シール材

Metal Seal

Metal Seal

Electrical Connection

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" Connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" Connector

Filename File Type Documents By Language
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual - PC100 Series pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English Romanian Russian Spanish
0250 シリーズ

4デバイスまでのコントロールと権限

ブルックスエキスパートサポートツール(BEST)
ブルックスエクスパートサポートツール(BEST)は、SLA58XXおよびSLAMfXX高機能マスフローコントローラ、メータ、圧力コントローラの制御を強化するWindowsベースのアプリケーションです。このソフトウェアを使用すれば、セットアップ、属性設定、診断、トラブルシューティング、バルブ調整、キャリブレーション(ライセンスキー)を含むサービスタスクを利用することができます。デバイスの上部にある診断ポートからアクセスできます。