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ゴールデンウィーク期間 営業日ならびに休業日のお知らせ - 平素は格別のご愛顧を賜り、誠にありがとうございます。勝手ながら、4月28日(土)~4月30日(月)、5月2日(水)~5月6日(日)の期間は休業日となります。5月1日(火)は平常営業いたします。何卒ご了承くださいますようお願い申し上げます。

PC100 シリーズメタルシールプレッシャーコントローラ

圧力下でも高精度測定、 精度をコントロール
モデル PC115 / PC125

PC100シリーズプレッシャーコントローラおよびメータは、さまざまな高性能なテクノロジーを組み合わせ、要求の厳しい半導体、蒸着、高精度の製造プロセスでも、精度と信頼性の高い圧力制御を実現します。

実績あるブルックスGF 100マスフローコントローラテクノロジーを基に作られたPC100シリーズは、高清浄オールメタル流路、センサドリフト(偏差)を低減する高性能なセンサテクノロジー、ユーザーインターフェース、デバイスの診断機能を搭載。デバイス評価やトラブルシューティングを容易に実行し、稼働中断やダウンタイムを大幅に減らします。

お問合せ先

アプリケーションエンジニアにお問合せ:

電話:03-5633-7100

PC100 データシート

特長

  • 応答時間:1秒以下
  • フルスケール流量レート 最大10 slm
  • トランデューサ圧力レンジ:1000 Torr FS
  • メタルシール流量経路:5µインチRa表面仕上げ
  • 組み込みフローメータ付PC125には、高速ARMプロセッサを搭載した耐腐食ハステロイ®製C-22フローセンサが付属
  • 非ダイアフラム高速動作バルブアセンブリ
  • 使いやすいプッシュボタンを備え、流量、温度、ネットワークアドレスをローカル表示する可視性の高いLCDディスプレイ
  • 独立した診断/サービスポート独立した診断/サービスポート
  • DeviceNet™ プロトコル

メリット

  • 圧力制御向上のための応答時間と設定時間を短縮する高性能コンポーネント
  • 転用ガス消費と廃棄コストを削減
  • SEMI F20準拠の耐腐食性オールメタル接ガス・接液部流路で表面積とデッ ドボリュームを削減し、パージ時におけるドライダウン時間を短縮
  • サーマルセンサと圧力センサの長期安定性により、最大の収率とスループットを保証
  • スローランプ付の圧力制御が必要なプロセス向けにユーザー定義が可能な起動機能

用途

  • 半導体高度エッチングツール
  • 薄膜化学蒸着(CVD)システム(CVD、MOCVD、PECVD、ALD)
  • 物理蒸着(PVD)システム
機種
Pressure Controller
Differentiator

Control Mode: Downstream or Upstream

Ultra-High Purity

Digital Pressure Control

Performance
流量範囲(フルスケール容量)

10 slm (N2 or H2 only)

精度

Pressure Reading: ± 1% of reading

Pressure Control: ± 0.2% of F.S. <10% F.S.; ± 1% of reading >10% to 100% F.S.

Flow Reading: ± 0.35% of F.S. 2-35% F.S. ; ± 1% of reading >35% F.S

Repeatability

< ±0.2% F.S.

Temperature Coefficient

Zero: < 0.05% F.S./°C

Span: < 0.08% of reading/°C

最大圧力

1000 Torr FS

Pressure Control Range

> 2 to 100%

Response Time - NC

< 1 sec typ. (excluding system time constant)

温度レンジ
10 - 50°C
Leak Integrity

External: 1 x 10-10 atm scc/sec He max

Mechanical
Seal Material
Metal
Level of Purity

5 µ inch Ra

Wetted Materials

SEMI F20 HP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

Valves

Normally Closed

Electrical
Diagnostic Capability
Available

Analog Communication

デジタル通信

DeviceNet™

Electrical Connection

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" Connector

Power Supply - Consumption

DeviceNet™: 545 mA max @ +11-25 Vdc

Compliance
EMC

EC Directive 2014/30/EU

CE: EN61326-1: 2013

環境法令遵守

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

PC115 PC125
Differentiator

Control Mode: Downstream and Upstream

Embedded Thermal Flow Sensor: No

Control Mode: Downstream

Embedded Thermal Flow Sensor: Yes

流量範囲(フルスケール容量)

20 sccm - 5 slm (N2 and H2 only)

10 slm (N2 and H2 only)

Pressure Control Range

Downstream: >2 to 100%

Upstream: >15 to 100%*

*Assuming hard vacuum on the outlet and 150 Torr min DP to achieve max flow

>2 to 100%

最大圧力

Transducer Pressure Range: 1000 Torr F.S.

Transducer Over Pressure Limit: 2 x F.S. range

Transducer Pressure Range: 1000 Torr F.S.

Transducer Over Pressure Limit: 2 x F.S. range

Seal Material

Metal Seal

Metal Seal

Electrical Connection

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" Connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" Connector

FilenameFile TypeDocuments By Language
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual - PC100 Series pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English

4デバイスまでのコントロールと権限