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5850E/i シリーズ エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ

長期安定性に優れ、生産の的確性を維持
モデル 5850E, i / 5860E, i / 5851E, i / 5861E, i / 5853E, i / 5863E, i

どの製品ラインにも主力製品があります。ブルックスインスツルメントの5850Eと5850iシリーズサーマル式マスフローコントローラは、その条件に当てはまる製品です。数十年に渡って、世界中の数千種類ものアプリケーションでアクティブに使用された実績を持つ本シリーズは、独自の安定した流量センサを備え、現代の要求の厳しい工業生産プロセスに必要な信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います。

お問合せ先

アプリケーションエンジニアにお問合せ:

電話:03-5633-7100

5850E/i シリーズ データシート

特長

  • 長期的なゼロ点安定性:0.2%フルスケール/年以下
  • 微少オーバーシュート/アンダーシュートによる変更に対応する高速フロー応答
  • 幅広い定格流量 - 3 sccmから1000 slpm
  • 定格高圧力 - 最大1,500 psi
  • 取り外し可能な流量センサ
  • 取付姿勢の影響なし
  • 他のマスフローコントローラとの機械的/電気的互換性
  • 電動式バルブオーバーライド
  • 耐腐食バルブ

メリット

  • 幅広いプロセスとアプリケーション範囲で実証済みの長期安定性と精度
  • 信頼性の高いパフォーマンスにより優れた投資利益率を提供
  • 連続監視とガス圧の最調整が必要ない取り外し可能な流量センサ
  • アナログ専用入力/出力により、取り付けとサービスが容易

用途

  • 化学および石油化学の触媒研究およびパイロットプロセス
  • ラボおよび解析システム
  • ライフサイエンスバイオリアクタ
  • ソーラー
機種
Mass Flow Controller
特長

Proven Reliable Performance

Long Term Stability

Easy to Change Range and Recalibrate in the Field

Performance
流量範囲(フルスケール容量)

0 - 1000 slpm

精度

1% of FS

1.5% of FS > 20 slpm

Repeatability

0.25% of Rate

Linearity

Included in accuracy

Response Time - NC

E Series Controllers: < 3 seconds

I Series Controllers: < 6 seconds

Meters: 6 Seconds

Multi-Gas Multi-Range

最大圧力

Controllers: 1500 psig

Meters: up to 4500 psig on some models

Control Range

50:1

Zero Stability

< 0.2% F.S. per year

Temperature Coefficient

Zero: <0.075% of F.S per oC

Span: <1.0% of S.P. over 10-50 oC

Input and Output

0-5 Vdc

I Series: 0-20 mA; 4-20 mA


Ratings
最大温度
65oC
Mechanical

Seal Material
Elastomer Seal
Diagnostics

Diagnostic Capability
Electrical

Analog Communication

0-5 Vdc
0-20 mA
4-20 mA

デジタル通信


Electrical Connection
D-type connector
Power Supply - Consumption

< 10.5 watts

Compliance
認定 / 承認
サイズ
Medium
5850E, i 5860E, i 5851E, i 5861E, i 5853E, i 5863E, i
機種 Mass Flow Controller Mass Flow Meter Mass Flow Controller Mass Flow Meter Mass Flow Controller Mass Flow Meter
特長

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range

Device Type

Flow Range
流量範囲(フルスケール容量)

Up to 30 slpm

Up to 30 slpm 10 - 100 slpm 10 - 100 slpm 100 -1000 slpm 100 - 1000 slpm
最大圧力 1500 psi

4500 psi

1500 psi / 100 bar

4500 psi

1500 psi

1500 psi

精度

1.0% F.S. < 20 SLPM

1.5% F.S. 20-50 SLPM

1.0% F.S. < 20 SLPM

1.5% F.S. 20-50 SLPM

1% full scale including linearity at calibrated conditions

1% full scale including linearity at calibrated conditions

1% full scale including linearity at calibrated conditions

1% full scale including linearity at calibrated conditions

Repeatability 0.25% Rate 0.25% Rate 0.25% Rate 0.25% Rate 0.25% Rate 0.25% Rate
Response Time - NC

E Series: < 3 seconds within 2% of full scale (0-100% command step)

I Series: 6 seconds within 2% of full scale (0-100% command step)

E Series: < 3 seconds within 2% of full scale (0-100% command step)

I Series: 6 seconds within 2% of full scale (0-100% command step)

E Series: < 3 seconds within 2% of full scale (0-100% command step)

I Series: 6 seconds within 2% of full scale (0-100% command step)

E Series: < 3 seconds within 2% of full scale (0-100% command step)

I Series: 6 seconds within 2% of full scale (0-98% command step)

E Series: < 3 seconds within 2% of full scale (0-100% command step)

I Series: 6 seconds within 2% of full scale (0-100% command step)

E Series: < 3 seconds within 2% of full scale (0-100% command step)

I Series: 6 seconds within 2% of full scale (0-100% command step)

Multi-Gas Multi-Range

N/A

N/A

N/A

N/A

N/A

N/A

Diagnostic Capability

Manual

Manual

Manual

Manual

Manual

Manual

Analog Communication

E Series: 0-5 Vdc

I Series: 0-5 Vdc; 0-20 mA; 4-20 mA

E Series: 0-5 Vdc

I Series: 0-5 Vdc; 0-20 mA; 4-20 mA

E Series: 0-5 Vdc

I Series: 0-5 Vdc; 0-20 mA; 4-20 mA

E Series: 0-5 Vdc

I Series: 0-5 Vdc; 0-20 mA; 4-20 mA

E Series: 0-5 Vdc

I Series: 0-5 Vdc; 0-20 mA; 4-20 mA

E Series: 0-5 Vdc

I Series: 0-5 Vdc; 0-20 mA; 4-20 mA

デジタル通信

N/A


N/A

N/A

N/A

N/A

N/A

Electrical Connection D-type connector D-type connector D-type connector D-type connector D-type connector D-type connector
FilenameFile TypeDocuments By Language
Data Sheet pdf English
Data Sheet - 5850E European pdf English
Installation & Operation Manual - 5850E pdf English
Installation & Operation Manual - 5850i pdf English
Installation & Operation Manual - 5851E pdf English
Installation & Operation Manual - 5851i pdf English
Installation & Operation Manual - 5853, 5863 pdf English
Installation & Operation Manual - 5860E pdf English
Installation & Operation Manual - 5860i pdf English
Installation & Operation Manual - 5861E pdf English
Installation & Operation Manual - 5861i pdf English

4デバイスまでのコントロールと権限