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GP200シリーズ 圧力ベース・メタルシール・マスフローコントローラ

最高の性能を最大限に引き出す

GP200シリーズは、半導体製造における高度なエッチングやデポジションのプロセスに特化して設計された、業界初の完全圧力不感応タイプの圧力ベースのマスフローコントローラ(P-MFC)です。

GP200シリーズP-MFCは、従来のP-MFCの限界を克服し、低蒸気圧のプロセスガスでも高精度なプロセスガス供給を可能にする特許取得済みのアーキテクチャを採用しています。GP200シリーズは、差圧センサーを内蔵し、下流側にバルブを配置するなど、独自の設計を採用することで、業界で最も広い範囲の動作条件で高精度のプロセスガス供給を可能にしています。

GP200シリーズは、幅広いプロセス条件に対応しているため、従来のP-MFCやサーマルMFCの代替品やアップグレード品として使用することができます。また、圧力調整器や変換器などの部品が不要になるため、ガス供給システムを簡易化し、コストを低減することができます。

GP200シリーズのデザインの詳細と、その仕組みをご紹介します。

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電話:03-5633-7100

GP200 シリーズ データシート

特徴

  • 差圧のダイレクト測定
  • 低供給圧動作
  • 最先端のバルブアーキテクチャ
  • 超高速・高精度流量コントロール
  • ゼロリーク・コントロールバルブ
  • MultiFlo™テクノロジーにより、MFCをガスラインから外すことなく、何千もの異なるガス種や流量レンジへ制度を維持したまま設定変更することが可能です。
  • ディスプレイは流量、温度、圧力、ネットワーク・アドレスを確認することが可能です。
  • DeviceNet™、EtherCAT®、RS-485 L-Protocol、およびアナログインターフェースに対応しています。

利点

  • GP200は差圧を直接測定するため、2つの異なる圧力センサーのマッチングや補正による測定の不確実性を排除し、精度、再現性、ドリフト性能を向上することが可能です。
  • 低差圧測定用に特別に最適化されたGP200差圧センサーにより、より低い入口圧力でのより安全なファブ操作が、P-MFCで実現できるようになった。
  • ダウンストリームバルブアーキテクチャにより、下流の圧力に依存しない精度が確保され、1200 Torr の高圧への流量供給が可能になる。高速閉鎖弁は、ガスの内容積を抽気するために追加の時間を必要とする上流のMFC弁設計で見られる非生産的なレシピ待機時間、すなわち「テール効果」に対処する。
  • 流量コントロールは超高速かつ高精度なため、超最先端の成膜・エッチングプロセスにおいて、よりタイトかつ高精度なプロセス制御を可能にします。
  • バルブシャットダウン100倍改善
  • MultiFlo™を使用すると、MFCフルスケール流量範囲を通常3:1倍に縮小でき、精度、ターンダウン、または仕様による漏れに影響がないため、最適なプロセスおよび在庫の柔軟性を得ることができる
  • 便利なユーザー表示と独立した診断/サービスポート補助装置の設置、監視、およびトラブルシューティング

主な用途

  • 半導体製造
  • エッチング
  • CVD
  • 高純度のオールメタル流路を必要とするガス流量制御アプリケーション
{8724994F-2E59-4874-8036-26F7E58A59E4}
製品タイプ

Mass Flow Controller

{C1C2B1B1-D63C-4597-B230-34F8A27096A9}
差別化要因

Fully Pressure Insensitive P-MFC

Most Precise Process Gas Delivery Over the Widest Range of Operating Conditions


{054040AE-B310-40B5-998B-D1AF69E98963}
パフォーマンス
{0CE6BA5F-82D2-4A23-A562-F0F2CF5BBDE9}
流量範囲(フルスケール容量)

3 sccm - 50,000 sccm

{01282299-7D13-416A-BCAD-22621F93803F}
精度

Zero Leak Valve

1% S.P. (5-100% F.S.)

0.05% F. S. (0.5-5% F.S.)


Metal Seal Valve

1% S.P. (5-100% F.S.)

0.05% F. S. (2-5% F.S.)


{2F0B3742-3DC0-46F9-AE8D-D1B0E4B5D92C}
再現性
< ±0.15% S.P.
{617316A7-AF88-4EB8-AB73-11C5BB8569B0}
レスポンスタイム

280 ± 20 ms Matched Transient Response, for any ascending or descending non-zero setpoint

{29CF3459-F83C-4996-A2ED-73F9100F89F1}
マルチガス  マルチレンジ
MultiFlo™ Standard
{1D855B08-B1AF-4382-A649-FE952A8F9DB6}
供給圧力変動耐性/背圧変動耐性 (安定時)

<± 1% S.P. up to 40 psi/sec inlet pressure spike


{BD160C6D-8161-4E0C-BE70-17C759559B69}
Control Range

Zero Leak Valve

0.5 - 100% F.S.


Metal Seal Valve

2 - 100% F.S.

{AF592619-6639-46C3-B295-AE52F5C3D244}
Number of Bins

Nine (9) standard bin ranges

{CB39301E-7A4A-4726-8283-4B8E7BC2A408}
Zero Stability
< ±0.15% F.S. per year

{C0CA7DCC-7003-41AE-959B-F802EE80DE4F}
Temperature Coefficient

Zero: 0.005% F.S. per °C

Span: 0.05% S.P. per °C

{07A5BDB4-36C5-4CA4-9C09-4400CFA7A37E}
メカニカル
{9098CC70-D40E-4EA6-9C81-84FDD6E9FBA7}
シール材

Metal

{86EDE3E7-6B3B-44E7-98CD-5BC16D18200E}
表面仕上げ
5µ inch Ra avg
{FE35F248-521C-4500-98BA-099B82732385}
Wetted Materials

316L

Hastelloy C-22

316/316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

KM-45

PCTFE

{B70F8148-7658-41D9-87E2-F2AC3D7C3A10}
Valves

Normally Closed

{29A84077-A29E-476F-92E1-BC8CAA8D5B90}
評価
{BFE5A757-6EB1-41FF-80F4-ECE1A20F311F}
最高気温
60oC
{4FE0BC41-AFB1-4E8A-BA02-361310FCDF46}
Differential Pressure Range

Min: 7 psid

Max: up to 50 psid

{66BABDD1-831E-474D-A215-788B58C91EAC}
最高圧力

150 psia

{2C4DC457-3ED4-424D-A5D6-14ECE9872D91}
診断と表示
{C67DFCEB-FEDC-4469-8124-096E14D7A0D8}
診断能力
Available

{AD849A65-486D-47A6-B656-65089BD92530}
Status Lights

DeviceNet

MFC Health

Network Status


EtherCAT

Run

Error

Power

Network Status


RS-485 (analog)

Network Status

{5B74CA8C-5F62-4686-B6D4-D12031C50884}
警報

Process Control Deviations

Flow

Temperature

*For full list of alarms see supplemental communication manuals

{D3AC9C04-9967-4F68-B1A4-ABD34FBB5CB1}
Diagnostic - Service Port

RS-485 via micro-USB

{0A47F7DB-5E54-4482-8BDF-22BA94C0F7AF}
Display

Top Mount Integrated LCD

Viewing Angle: Rotatable

Viewing Distance: 10 feet

Units Displayed: Flow (%), Temp (°C), Pressure (psia, kPa)

Resolution: 0.1 (unit)

{35FDEB38-EDC3-468B-8328-0FC5283DD7CC}
Electrical
{394DECA1-6F9A-4696-A51E-7FDA4BEF0D89}
アナログ通信

0-5 Vdc

{323B4E7F-7A59-45EC-BCB7-35B0B0CF0EDD}
デジタル通信

DeviceNet™

EtherCAT®

RS-485 L-Protocol

{A16772F9-BB39-4EBC-B10B-13A6E106A95F}
Electrical Connection

Analog/RS-485 via 9-Pin "D" connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" connector

EtherCAT® via RJ45 jacks, Power via 5-pin M8 connector


{EEACA90E-E709-45B6-9A80-A50561C69A52}
Power Supply - Consumption

Analog/RS-485 L Protocol: 6 Watts max @ ±15 Vdc (±10%) or +24 Vdc (±10%)

DeviceNet™: 545 mA max @ +11-25 Vdc, 250 mA max @ 24 Vdc

EtherCAT™: 360 mA max @ +18-30 Vdc, 270 mA max @ 24 Vdc

(Under typical operating conditions)

{48A177B5-FADD-4FFF-BC32-A221C7701131}
コンプライアンス
{2EFFEC5B-05E3-46D1-A562-5981B2FE61C2}
電磁環境適合性

2014/30/EU EMC Directive EN:61326-1: 2013

{253814E8-11B5-4429-B11A-276E7E9A59AF}
環境法令遵守

2011/65/EU & 2015/863/EU RoHS Directive

EC 1907/2006 REACH Directive

Filename File Type Documents By Language
シリーズ データシート - GP200 pdf Japanese English Korean
Installation and Operation Manual pdf English
Standard Bin Gas Listing pdf English
Low Pressure Bin Gas Listing pdf English
DeviceNet™ Supplemental Manual - GP200 Series pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - GP200 Series pdf English
RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GP200 Series pdf English
0250 シリーズ

4デバイスまでのコントロールと権限

ブルックスエキスパートサポートツール(BEST)
ブルックスエクスパートサポートツール(BEST)は、SLA58XXおよびSLAMfXX高機能マスフローコントローラ、メータ、圧力コントローラの制御を強化するWindowsベースのアプリケーションです。このソフトウェアを使用すれば、セットアップ、属性設定、診断、トラブルシューティング、バルブ調整、キャリブレーション(ライセンスキー)を含むサービスタスクを利用することができます。デバイスの上部にある診断ポートからアクセスできます。