最速かつ超精密なマスフローコントローラ

速度機能強化された EtherCAT®
モデル GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126


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EtherCAT® GF100 Series Flyer

半導体プロセス向けの最適なパフォーマンス

  • リアルタイムの診断力が埋め込まれた、EtherCAT® データ収集機能
  • 超安定性のあるフローセンサ (セットポイントの≤ 0.15%、1年ごとに)により、 低いセットポイントにおける精度が上がり、メンテナンスの要求度も低減されます
  • バルブシャットダウンを改良し (ビンレンジの≤ 0.15%)、ファーストウエハエフェクトを低減させるため、バルブリークバイを減らしました
  • 新たに強化された圧力変動耐性(PTI)により、クロストークの感度が減り、一貫したマスフロー供給が実施されます

特徴

  • 長期間のゼロ点安定性、±0.15% F.S./年以下
  • 応答速度: 300 ms から1 second以下
  • 流量レートのフルスケールは、300 slpmまで
  • 接ガス部は全て金属: 最大0.125µ もしくは 0.25µm Ra 表面仕上げがオプションであります
  • 高耐腐食性ハステロイT-Riseセンサにより、高温下における温度再現性の向上 
  • MultiFloTM ガス、レンジ変更機能: ガスラインからMFCを取り外すことなく、また精度を損なうことなく、一つのデバイスで数千種類もの異なるガスと流量に設定可能
  • 使いやすいユーザーディスプレイ及び独立した診断/サービスポートより、機器の取り付け、モニタリング及びトラブルシュートの手助けになります
  • GF120 Safe Delivery System (SDS®) は、インプラントやエッチングプロセスで使用される大気圧以下のSDSガス供給用の、ブルックスの最高技術による低圧力損失マスフローコントローラです。

利点

  • 非常に優れたパフォーマンス
    • 素早い反応時間により改善されたアプリケーションの効率性
  • フレキシブルな接続形態
    • 実質的に制限の無いネットワーク接続形態
  • 簡単で頑丈
    • コンフィグレーション、診断及びメンテナンス
  • 値ごろ感
    • 標準のイーサネットポート

用途

  • 半導体エッチ装置
  • CVD, MOCVD, PECVD, ALD装置
  • PVD装置
  • エピタキシャルプロセス装置

{DEBCCA8D-7434-4BA7-B54F-92D4EDC04A75}
製品タイプ

Mass Flow Controller

{8B89F14C-B912-4424-BCC5-AA95C46D59C6}
差別化要因

EtherCAT Communication

High Purity/Ultra-High Purity

Embedded Diagnostics

Ultra-stable Flow Sensor

Improved Valve Shutdown

{FFBE3C7F-0139-4CBE-AF94-74D8A0B30009}
パフォーマンス
{98B3C086-0985-4066-807F-25A2E7C53EEB}
流量範囲(フルスケール容量)

Standard GF Series: 3 sccm - 55 slm

High Flow GF Series: 55 slm - 300 slm

{057BC068-8AB8-4BD6-A8B3-CD29145D4DF9}
精度

Standard GF Series: ±1% S.P. > 20-100%; ±0.2% F.S. 2-20%

High Flow GF Series: ±1% S.P. > 35-100%; ±0.35% F.S. 2-35%

{5B41E208-F4F0-4FC0-9111-CD17A8732770}
再現性
< ±0.15% S.P.
{DD758BDD-DC5E-4D81-B070-C51FEA9BEA18}
レスポンスタイム

Normally Closed Valve: 300 ms - < 1 sec

SDS Gas Delivery: < 3 sec

{2F1BACB2-A180-49D2-B83D-EF895EA85224}
Response Time - NO

Normally Open Valve: <1.5 sec (specific models)

{D301F211-A735-4E4E-B229-495A16152C83}
供給圧力変動耐性/背圧変動耐性 (安定時)

Specific models

{B0847CB2-612D-47B5-AF00-D9D3CB8DAD32}
マルチガス  マルチレンジ
MultiFlo™ Standard (most models)
{1374FB78-7FB7-4CFF-A118-5F0CAD7B25A1}
Control Range

Standard GF Series:  2-100%

High Flow GF Series: 5-100%

{0C2AFBD5-F1CD-48C0-8FC4-5216C27FF550}
Number of Bins

Standard GF Series: 11 bins

High-Flow GF Series: 4 bins

{C7BE52FB-B8E6-44DC-BEFB-DCF0FBE99991}
Valve Shut Down

Standard GF Series: < 0.15% F.S.

High Flow GF Series: < 2% F.S. @ 30 N2 psig/atm out

{3F92A104-D508-4775-8D9D-7E7DCE62EDD9}
Zero Stability

< ±0.15% F.S. per year

{60452C9A-BF36-444D-93A6-CCEE2F21D1C1}
Temperature Coefficient

Span: 0.05% S.P. per °C

Zero: 0.005% F.S. per °C

{BCC7C7BB-C17C-4AA7-9ADD-61780C3EE5F4}
メカニカル
{0958A6A9-71D6-4F26-9137-91EDC4625EA5}
シール材
Metal
{03131EF2-B3E3-48A2-99D2-FA45A35FF3E3}
表面仕上げ

5 - 10µ inch Ra

{87A68973-BB8F-487E-855A-69FEA4FFFF66}
Wetted Materials

SEMI F20 HP/UHP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

KM-45

{8FC7632B-8368-41BD-826E-B464E8A5E0BC}
Valves

Normally Closed

Normally Open (specific models only)

Meter (no valve)

{94F70132-F545-4627-9AE6-23B21068029A}
評価
{8B312DB0-CCA6-4685-AF36-F91260857AE9}
最高気温
50oC
{80BBEAF4-4D4F-49A0-8C75-7199B4A700A8}
Differential Pressure Range

3-860 sccm = 7-45 psid

861-7200 sccm = 10-45 psid

7201-55000 sccm = 15-45 psid

51 slm-300 slm = 30-90 psid

SDS Models 10 Torr- 30 psid typical

*Typical pressure drops. Contact Brooks Technical Support for more information.

{7A261F9D-32B9-4A05-B2FC-96981C6ED085}
最高圧力

Standard GF Series: up to 500 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

{6E5FC165-C3A0-43F7-A3A6-65541C20BA4D}
Leak Integrity
1x10-10 atm cc/sec He
{FD0F3EAE-7739-4E0D-AEAB-34FA7068CA98}
診断と表示
{4C717972-2B93-453A-AE05-A480456E8950}
診断能力
Available

{1EDA9026-203E-4B26-86C4-3BE44F6E9364}
Status Lights

Run

Error

Power

Network Status

{AFFD95BD-CF8E-4D68-B535-F99D31B78954}
警報

Control Valve Output

Network Interruption

Temperature High/Low

Pressure High/Low

Power Surge/Sag

{E866E098-05A5-4290-94ED-9267E9BC1068}
Diagnostic - Service Port

Micro USB

{0B05CA40-E0DB-4DFF-915C-FC9D400DDBDF}
Display

Top Mount Integrated LCD

Viewing Angle: Fixed

Viewing Distance: 10 feet

Units Displayed: Flow (%), Temp (°C), Pressure (psia, kPa)

Resolution: 0.1 (unit)

{2968243A-89B4-47FA-95CF-5CC6A110956B}
Electrical
{26790E4F-2742-4CEB-BCAD-961628E74B1C}
アナログ通信

{8DF0F740-166B-4660-B620-D7997FA6AACE}
デジタル通信

EtherCAT®

{53E88974-5783-4CA5-98F3-B802CD91CC8F}
Electrical Connection

Power via 5-pin M8 Connector, EtherCAT via twin RJ45

{AEE200ED-68A0-43B5-B9DC-BD8F1863CA4F}
Power Supply - Consumption

24 Vdc, 7 Watts

(Under typical operating conditions)

GF100 GF101 GF120 GF120XSD GF120XSL GF121 GF125 GF126
差別化要因

High Purity

High Purity

High Flow Rate

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response Time

SDS Gas Delivery

SDS Gas Delivery

Ultra-High Purity

High Flow Rate

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response

Pressure Transient Insensitivity

High Flow Rate

流量範囲(フルスケール容量) 3 sccm - 55 slm

55 slm - 300 slm

3 sccm - 55 slm >25 sccm - 1 slm 4 - 25 sccm

55 slm - 300 slm

3 sccm - 55 slm

55 slm - 300 slm

Surface Finish 10µ inch Ra 10µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra

5µ inch Ra

精度

±1% S.P. > 20-100%

±0.20% F.S. 2-20%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 20-100%

±0.20% F.S. 2-20%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 20-100%

±0.20% F.S. 2-20%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

再現性 < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P.

< ±0.15% S.P.

< ±0.15% S.P.

< ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P. < ±0.15% S.P.
レスポンスタイム

Normally Closed

<1 sec

Normally Closed

<1 sec

Normally Closed

700 ms

Normally Closed

<3 sec

Normally Closed

<3 sec

Normally Closed

<1 sec

Normally Closed

300ms - <700ms

 

Normally Closed

<1 sec

 

Response Time - NO

Normally Open

<1.5 sec

Normally Open

Normally Open

<1.5 sec

Normally Open

Normally Open

Normally Open

Normally Open

<1.5 sec

Normally Open

マルチガス  マルチレンジ MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard MultiFlo™ Standard
供給圧力変動耐性/背圧変動耐性 (安定時)

±5% S.P. up to 5 psi/sec upstream press. spike

Ability to measure inlet pressure

診断能力

Status Lights & Alarms

Status Lights & Alarms

Status Lights & Alarms

Status Lights & Alarms

Status Lights & Alarms

Status Lights & Alarms

Status Lights & Alarms

Status Lights & Alarms

デジタル通信

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

EtherCAT

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Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - GF1xx pdf English