VersaTorr BVT100 Vakuummeter
Vakuummessung im extrem breiten Messbereich
Die Vakuummessgeräte der Serie VersaTorr BVT100 bieten eine in ihrer Klasse unübertroffene Leistung und haben neue Maßstäbe gesetzt, indem sie den nutzbaren Messbereich für Wärmeleitungs-Vakuummessgeräte um 1 bis 3 Dekaden erweitert haben.
Die Vakuummessgeräte der Serie VersaTorr BVT100 basieren auf modernster MEMS-Sensortechnologie (mikroelektromechanische Systeme) und verbinden diese mit einer neuartigen Architektur für die präzise digitale Signalverarbeitung sowie fortschrittlichen, innovativen Messalgorithmen. In Verbindung mit präzisen automatisierten Fertigungs- und Kalibrierungsprozessen ergeben diese Elemente zusammen ein einzigartiges Produkt, das eine kompromisslose Messleistung bietet.
Die bekannte Gasabhängigkeit von Wärmeleitfähigkeitsmessgeräten im Grobvakuumbereich wurde durch die Integration eines MEMS-Membransensors beseitigt, dessen Präzision mit der teurerer kapazitiver Manometer vergleichbar ist. Diese Eigenschaft gewährleistet eine genauere Steuerung der Entlüftungsprozesse im Vakuumsystem und kann einen Überdruck im Vakuumsystem verhindern.
Funktionen und Vorteile
- Erhältlich in zwei Ausführungen: Das Modell BVT100 misst von Atmosphärendruck bis 7,5 × 10-7 , während das Modell BVT125 über einen Atmosphärendruckschalter verfügt.
- Diese Vakuummessgeräte vereinfachen die Systemkonstruktion, sparen Platz und Kosten, da sie den Bedarf an mehreren Vakuummessgeräten und einem separaten Atmosphärenschalter auf ein Minimum reduzieren.
- Extrem großer Messbereich von 9 Dekaden
- Fortschrittliche digitale Signalverarbeitung sorgt für ein unübertroffenes Preis-Leistungs-Verhältnis
- Gasunabhängiger Membransensor von 2 bis 1333 mbar
- Einfache Konfiguration über den Brooks Vacuum Transducer Communicator USB-Programmierer
- Extrem stabile Nullpunktdriftkompensation
- Optionales Halbleiter-Sollwertrelais für die Prozesssteuerung
Anwendungen
- Lastschleusen
- Transferkammern
- Vorderleinen
- Vakuum-Vorbearbeitungsanlagen
- Dünnschichtverarbeitung
| Druckbereich | 8e-7 to 1000 Torr |
|---|---|
| Genauigkeit | 7.5x10-5 to 7.49x10-3 Torr: ±5%, 7.5x10-3 to 7.49 Torr: ±0.5%, 7.50 to 7.49 Torr: ±0.5%, 75 Torr to 1000 Torr: ≤±0.5% |
| Konnektivität | Analog (0–10 V), RS232, RS485 |
| Gerätetemperatur | Ambient - 50°C |
| Messprinzip | Piezo |
Verwenden Sie die folgende Übersicht (Typenbezeichnungsangaben aus dem Datenblatt), um die unten aufgeführten CAD-Konfigurationen zuzuordnen. Wenn Sie Hilfe benötigen oder nicht finden, wonach Sie suchen, kontaktieren Sie uns bitte.
| Modell | Montage | Elektrischer Anschluss |
| BVT100 | DN16KF | 15-poliger D-Sub-Stecker |