零点稳定性：
每年 ±0.20% FS
重复性：
0.20% SP
模拟和数字 I/O：
每年 ±0.20% FS
极低泄漏率：
阀门：小于 150 slpm 时 <0.005 sccm；大于 150 slpm 时 <15.6 sccm
预校准多气体页：
空气、CO2、N2、O2气体页可就地更换，以减少库存备用 MFC 的数量和类型
认证：
流体通路结构材料 2.1 材料认证；NIST/ICC 校准可追溯性
精度：
SP 的 ±0.9% (20-100% FS)，FS 的 ±0.18% (<20% FS)
高级诊断：
确保设备在用户指定的范围内运行，以保证较高的过程正常运行时间
高关断比：
250:1 FS 流速为 5 sccm -150 slpm；所有其他 FS 流速为 150:1
了解更多
增强型传感器设计：
符合行业清洁度标准
VI 级弹性体：
不含 FDA/USP VI 级和 ADI 的 O 形圈和阀座
零点稳定性：
每年 ±0.20% FS
重复性：
0.20% SP
模拟和数字 I/O：
每年 ±0.20% FS
极低泄漏率：
阀门：小于 150 slpm 时 <0.005 sccm；大于 150 slpm 时 <15.6 sccm
预校准多气体页：
空气、CO2、N2、O2气体页可就地更换，以减少库存备用 MFC 的数量和类型
精度：
SP 的 ±0.9% (20-100% FS)，FS 的 ±0.18% (<20% FS)
高级诊断：
确保设备在用户指定的范围内运行，以保证较长的工艺正常运行时间
高关断比：
250:1 FS 流速为 5 sccm -150 slpm；所有其他 FS 流速为 150:1
了解更多
增强型传感器设计：
符合行业清洁度标准
零点稳定性：
每年 ±0.20% FS
重复性：
0.20% SP
模拟和数字 I/O：
每年 ±0.20% FS
精度：
±0.9% SP (20-100% FS)，±0.18% FS (<20% FS)
高级诊断：
确保设备在用户指定的限制范围内运行，以保证较高的过程正常运行时间
