GF080 金属密封式质量流量控制器和流量计
提升价值驱动型金属密封应用的性能标准
对于许多工业和半导体加工过程，性能和成本效率同样重要。GF80 系列金属密封质量流量控制器拥有以下两个特点：设计采用与最畅销的 GF100 系列响应速度相同的传感器以及第四代 MultiFlo™ 专利技术，该产品绝对是高性价比运营的正确选择。另外，金属密封的 MFC 拥有 MultiFloTM 多气体/多量程功能所带来的全部优势，原因是可用气体方面没有限制并且由于不会发生弹性体氧渗透而提升了气体纯度，同时还由于金属密封件有效期相当长而减少了维护工作量。
特点
- 长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 ± 0.5%
- 1 秒内稳定
- 全量程流量可达55升/分钟
- 全金属密封流路 - 16µ 英寸 Ra 表面处理
- 耐腐蚀 Hastelloy® 传感器可在较低温度下工作，适用于易发生热分解的气体
- 可编程 MultiFloTM 功能 - 一台设备即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求，无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度
- 通过有源温度补偿实现的一流温度系数规范
- 内嵌式常规自检功能和独立的诊断/维护端口
- 带有 VCR 配件的细线体设计
- DeviceNetTM、Profibus®、RS-485 和模拟接口
优势
- 1 秒完成流量稳定，消除废气和过程变量影响
- 未采用会发生氧渗透并且使用一定时间之后需要进行更换的弹性体密封件
- MultiFloTM 精简了过程气体切换操作 — 无需再拆除并重新校准 MFC
- 60 秒内即可完成新气体和/或量程的设定操作
- 测量精度不受温度变化影响
- 可轻松访问诊断端口以实现运行时间最大化
- 规格紧凑，可轻松集成至紧张的设备空间内；设备改型的绝佳选择
- 多协议通信接口可简化向现有系统的集成操作
How to Write LabVIEW™ Programs for a Mass Flow Meter
| 介质类型 | Gas |
|---|---|
| 流量测量原理 | Thermal (TMF) |
| 流量范围 | 3 sccm - 55 slpm |
| 精度范围 | ±1% S.P. 35-100%, ±0.35% F.S. < 5-35% |
| 拒绝率 | < 5% - 100% |
| 重复性 | < ±0.2% S.P. |
| 最大压力 | 150 psi |
| 工作温度 | 5°C - 50°C |
| 測量/控制 | Measure & Control (Controller), Measure Only (Meter) |
| 最大流量 | 55 slpm |
| 最高温度 | 50 celsius |
| 密封选项 | Metal |
| 精度（占流量百分比） | ±1.0% |
| 连接方式 | Analog (0–5 V), Analog (0–10 V), Analog (0–20 mA), DeviceNet, Profibus, RS485, Analog (4–20 mA) |
Use the model code information from the data sheet to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.
0250 Series
Controls and powers up to 4 devices
0260 Series
Controls and monitors up to 30 devices, powers up to 10 devices.
Brooks Expert Support Tool (BEST)
The Brooks Expert Support Tool (BEST) provides expanded control of mass flow controllers and allows the user to take advantage of multiple servicing tasks.
MultiFlo™ Configurator
A comprehensive gas database enabling you to configure your MultiFlo™ capable MFC for thousands of gas types and ranges without removing it from the gas line.
Smart DDE
Dynamic Data Exchange software allows user to make bi-directional links between Windows® based applications and Brooks Instrument RS485 S-Protocol devices.