型号 CMX0 / CMX1 / CMX2 / CMX3
XacTorr® 加热式电容压力计
最大限度降低漂移和热效应。最大限度优化真空处理结果
使真空依赖型工艺的效率和性能最大化：选择布鲁克斯仪器的 XacTorr® 系列数字式真空电容压力计。XacTorr® 系列设备同时拥有各种业内领先的功能技术，可提升测量可靠性、最大限度减少漂移、耐隔膜污染并能够使热效应最小化。
先进的 Mark-IV 传感器提供不用于压力测量的表面区域 – 可用于累积颗粒和可压缩蒸汽。因此减少了仪表重新调零的工作、延长了传感器寿命并且不会带来传感器漂移风险。此外，还有快速响应传感器可供选择，用于提供高级闭环控制性能。
结果：超精确、可重复并且高效的真空度测量，可确保每次对仓室压力进行抽真空时都能够准确使其达到工艺所需的目标 Torr 值以实现洁净、无污染生产。
特点
- 适用于 0.10 Torr - 1000 Torr 过程真空度范围
- 有多种精度水平可供选择
- Mark IV 专利传感器
- 数字化架构可实现超高精确度的宽动态范围操作
- 双区域温控功能可提高测量稳定性和可重现性
- 多段数字校准功能可提供高级窗口显示已知精度
- 智能触控式零点调节
- 可单独轻松访问的诊断维护端口
- DeviceNet® 和模拟通信选件
优势
- 漂移较低，能够为过程气体沉积提供极好的保护
- 无需使用手动电位计，不存在电子漂移
- 快速预热、闭阀温度控制并能够根据变化做出快速响应
- 多段校准功能可提供高级窗口显示已知精度以及对环境温度影响的实时补偿
- 如果压力过高或者未达到目标温度则无法调零
- 诊断端口允许用户在设备运行期间提供监视和数据采集功能，实现仓室和工具匹配以及“实时”高级故障排除
| 壓力範圍 | 0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr (mBar & Pascal References Available) |
|---|---|
| 精度 | CMX0: 0.25% of Reading, CMX1, CMX2: 1 to 1000 Torr Ranges = 0.15% of Reading, CM1, CMX2: < 1 Torr Ranges = 0.25% of Reading |
| 连接方式 | RS485, EtherNet/IP |
| 設備溫度 | CMX0 Ambient, CMX1 45°C, CMX2 100°C, CMX3 160°C |
| 测量原理 | Capacitance Diaphragm Gauge |
Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.
Example: CMX - 0 - XXX - 2 - 2
| Capacitance Manometer | Temperature | Flow Range | Electrical Connector | Fitting |
| CMX | 0 - CMX0 (Ambient) 1 - CMX45 (45°C) 2 - CMX100 (100°C) |
XXX - Full Scale Range See data sheet for complete listing. |
2 - 15 Pin Male Sub D See data sheet for complete listing. |
2 - KF 16 Flange 3 - KF 25 Flange 4 - 8 VCR (1/2") Female 5 - Mini CF See data sheet for complete listing. |
文件名
文件类型
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