模型 VDM300
VDM300 去离子水蒸汽输送模块
实现最高流量精度的超高纯度去离子水蒸汽输送
Brooks Instrument 的蒸汽输送模块 (VDM) 是用于高精度输送超高纯度去离子水蒸汽的高性能、自足式模块。它的特点是节能设计，能在低温环境下产生超高纯蒸汽。该模块采用了成熟的蒸汽输送技术，并结合了先进的数字控制和集成诊断功能，集成在一个小巧，方便的外壳中。
VDM 专为先进的剥离和金属刻蚀后段钝化工艺设计。相比闪蒸系统，它能提高精度，使流速更快，控制范围更广，功耗更小。基于成熟的热式质量流量测量技术，VDM 能在非过热蒸汽阶段产生蒸气，从而降低去离子水的侵蚀效果，提高了可靠性，改良了清洁操作。
它还通过一个独立的服务端口和直观的图形用户界面，提供人性化的数据记录和诊断功能。
特点
- 流量范围：3 slpm （去离子水蒸汽）
- 具有超高流量精度的直接水蒸汽测量
- 能直接连接到厂房去离子水供应系统
- 在较低温度下可操作（非过热状态）
- 冲刷和排水的优化设计
- EtherCAT数字通讯
- Brooks Expert Support Tool (BEST)图形用户界面
优势
- 采用了成熟可靠的热式质量流量测量和控制技术
- 适用于各种FAB去离子水供水的压力
- 接液件耐腐蚀性能增强
- 确保更清洁的操作
- 可匹配各种设备的模拟或数字通讯接口
- 直接用户界面可增强数据收集或故障排查
| 流量范围 | 3000 sccm |
|---|---|
| 出口壓力 | 200tor |
| 精度 | ±1% SP @ >10% FS | ±0.2% FS @ 5 - 10% FS |
| 重复性 | <±0.2% FS |
| 连接方式 | Analog (0–5 V), Analog (0–20 mA), EtherCAT, RS485 |
| 最高温度 | 45 celsius |
Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.
Example: VDM3 - 1
| Series | Inlet Fitting |
| VDM3 | 1 - 1/4” VCR Male |
| 2 - 1/4” Tube Compression |