Skip links

VDM300 去离子水蒸汽输送模块

实现最高流量精度的超高纯度去离子水蒸汽输送
型号 VDM300

Brooks Instrument 的蒸汽输送模块 (VDM) 是用于高精度输送超高纯度去离子水蒸汽的高性能、自足式模块。它的特点是节能设计,能在低温环境下产生超高纯蒸汽。该模块采用了成熟的蒸汽输送技术,并结合了先进的数字控制和集成诊断功能,集成在一个小巧,方便的外壳中。

VDM 专为先进的剥离和金属刻蚀后段钝化工艺设计。相比闪蒸系统,它能提高精度,使流速更快,控制范围更广,功耗更小。基于成熟的热式质量流量测量技术,VDM 能在非过热蒸汽阶段产生蒸气,从而降低去离子水的侵蚀效果,提高了可靠性,改良了清洁操作。

它还通过一个独立的服务端口和直观的图形用户界面,提供人性化的数据记录和诊断功能。

如有疑问

请与我们的应用工程专家取得联系:

联系电话: + 86-21-38720770 传真

得到报价

VDM300 数据表

特点

  • 流量范围:3 slpm (去离子水蒸汽)
  • 具有超高流量精度的直接水蒸汽测量
  • 能直接连接到厂房去离子水供应系统
  • 在较低温度下可操作(非过热状态)
  • 冲刷和排水的优化设计
  • EtherCAT数字通讯
  • Brooks Expert Support Tool (BEST)图形用户界面

优势

  • 采用了成熟可靠的热式质量流量测量和控制技术
  • 适用于各种FAB去离子水供水的压力
  • 接液件耐腐蚀性能增强
  • 确保更清洁的操作
  • 可匹配各种设备的模拟或数字通讯接口
  • 直接用户界面可增强数据收集或故障排查

应用

  • 硅材料半导体金属刻蚀后段工艺
  • 硅材料半导体金属剥离工艺
  • 在负大气压的环境中超高纯加湿
产品类型

DI Water Vapor Delivery Module

 

区别

Ultra High Purity DIW Vapor

Highest Flow Accuracy

Compact Design

EtherCAT interface

蒸发方式
Vapor Draw
流体类型
UHP DI Water
流量范围-满量程容量

3000 sccm

量程比
20:1
响应时间-常闭

<2 sec

精度

±1% SP @ >10% FS

±0.2% FS @ 5 - 10% FS

线性
±0.5% of FS
重复性
<±0.2% FS
温度系数
0.05% per °C zero and span
阀门关闭

Normally Closed Valve: <0.5% FS

电气
模拟通讯

0 to 5-24 Vdc

数字通讯

EtherCAT via dual RJ-45 jacks

Diagnostic (RS485) via  microUSB

电气连接

230 Vac, 50/60 Hz, 290 Watts Nominal (tank heater)

± 15 Vdc, ± 5% @ 1.2 amp (MFC heater and PCBA)

状态灯

Zero

Device Ready

Warm Up

Device Fault

ECAT Error

EtherCAT Run

EtherCAT Link Active

诊断/服务端口

RS-485 via microUSB

接头

Outlet Vapor: 1/2" Female VCR

Inlet DI Water: 1/4" Male VCR or Tube Compression

DI Water Drain: 1/8" Instant Tube Fitting

安装方向
Vertical with DIW inlet fittings down
等级
最大压力

Vapor Outlet: 200 torr

供给压力

DI Water: 10 - 40 psig

N2 Purge: 10 - 40 psig

环境温度范围
15 - 45°C
内部容积
0 to 95% RH, non-condensing
承诺
电磁兼容性
Electromagnetic Compatibility (EMC): Fully Compliant to Directive 2004/108/EC (EN: 61326-1:2013)

Low Voltage Directive (LVD): Fully Compliant to Directive 2006/95/EC (EN: 61010-1:2010)

符合环保要求

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

SEMI E54.20-1108: Standard for Sensor/Actuator Network Communication for EtherCAT®

VDM300

流量范围-满量程容量

3000 sccm (DIW Vapor)

电源输入 230 Vac, 50/60 Hz, 290 Watts nominal
精度

±1% SP @ >10% FS

±0.2% FS @ 5 - 10% FS

控制范围 20:1
供给压力 10 - 40 psig
线性 <0.5% of FS
最大压力 200 torr
安装方向 Vertical (inlet down)
重复性 <±0.2% FS
响应时间-常闭

<2 sec

模拟通讯

0 to 5-24 Vdc

数字通讯

EtherCAT via dual RJ-45 jacks

Diagnostics (RS-485) via microUSB

FilenameFile TypeDocuments By Language
VDM300-At-a-Glance pdf Chinese English
vdm300-vapor-delivery-module-data-sheet pdf Chinese English German Japanese
Installation & Operation Manual pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English
A Windows™ based application providing expanded control of SLA and SLAMf Enhanced Series MFCs and Pressure Controllers.