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VDM300 去离子水蒸汽输送模块

实现最高流量精度的超高纯度去离子水蒸汽输送
型号 VDM300

Brooks Instrument 的蒸汽输送模块 (VDM) 是用于高精度输送超高纯度去离子水蒸汽的高性能、自足式模块。它的特点是节能设计,能在低温环境下产生超高纯蒸汽。该模块采用了成熟的蒸汽输送技术,并结合了先进的数字控制和集成诊断功能,集成在一个小巧,方便的外壳中。

VDM 专为先进的剥离和金属刻蚀后段钝化工艺设计。相比闪蒸系统,它能提高精度,使流速更快,控制范围更广,功耗更小。基于成熟的热式质量流量测量技术,VDM 能在非过热蒸汽阶段产生蒸气,从而降低去离子水的侵蚀效果,提高了可靠性,改良了清洁操作。

它还通过一个独立的服务端口和直观的图形用户界面,提供人性化的数据记录和诊断功能。

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VDM300 数据表

特点

  • 流量范围:3 slpm (去离子水蒸汽)
  • 具有超高流量精度的直接水蒸汽测量
  • 能直接连接到厂房去离子水供应系统
  • 在较低温度下可操作(非过热状态)
  • 冲刷和排水的优化设计
  • EtherCAT数字通讯
  • Brooks Expert Support Tool (BEST)图形用户界面

优势

  • 采用了成熟可靠的热式质量流量测量和控制技术
  • 适用于各种FAB去离子水供水的压力
  • 接液件耐腐蚀性能增强
  • 确保更清洁的操作
  • 可匹配各种设备的模拟或数字通讯接口
  • 直接用户界面可增强数据收集或故障排查

应用

  • 硅材料半导体金属刻蚀后段工艺
  • 硅材料半导体金属剥离工艺
  • 在负大气压的环境中超高纯加湿
产品类型

DI Water Vapor Delivery Module

 

区别

Ultra High Purity DIW Vapor

Highest Flow Accuracy

Compact Design

EtherCAT interface

蒸发方式
Vapor Draw
流体类型
UHP DI Water
流量范围-满量程容量

3000 sccm

量程比
20:1
响应时间-常闭

<2 sec

精度

±1% SP @ >10% FS

±0.2% FS @ 5 - 10% FS

线性
±0.5% of FS
重复性
<±0.2% FS
温度系数
0.05% per °C zero and span
阀门关闭

Normally Closed Valve: <0.5% FS

电气
模拟通讯

0 to 5-24 Vdc

数字通讯

EtherCAT via dual RJ-45 jacks

Diagnostic (RS485) via  microUSB

电气连接

230 Vac, 50/60 Hz, 290 Watts Nominal (tank heater)

± 15 Vdc, ± 5% @ 1.2 amp (MFC heater and PCBA)

状态灯

Zero

Device Ready

Warm Up

Device Fault

ECAT Error

EtherCAT Run

EtherCAT Link Active

诊断/服务端口

RS-485 via microUSB

接头

Outlet Vapor: 1/2" Female VCR

Inlet DI Water: 1/4" Male VCR or Tube Compression

DI Water Drain: 1/8" Instant Tube Fitting

安装方向
Vertical with DIW inlet fittings down
等级
最大压力

Vapor Outlet: 200 torr

供给压力

DI Water: 10 - 40 psig

N2 Purge: 10 - 40 psig

环境温度范围
15 - 45°C
内部容积
0 to 95% RH, non-condensing
承诺
电磁兼容性
Electromagnetic Compatibility (EMC): Fully Compliant to Directive 2004/108/EC (EN: 61326-1:2013)

Low Voltage Directive (LVD): Fully Compliant to Directive 2006/95/EC (EN: 61010-1:2010)

符合环保要求

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

SEMI E54.20-1108: Standard for Sensor/Actuator Network Communication for EtherCAT®

VDM300

流量范围-满量程容量

3000 sccm (DIW Vapor)

电源输入 230 Vac, 50/60 Hz, 290 Watts nominal
精度

±1% SP @ >10% FS

±0.2% FS @ 5 - 10% FS

控制范围 20:1
供给压力 10 - 40 psig
线性 <0.5% of FS
最大压力 200 torr
安装方向 Vertical (inlet down)
重复性 <±0.2% FS
响应时间-常闭

<2 sec

模拟通讯

0 to 5-24 Vdc

数字通讯

EtherCAT via dual RJ-45 jacks

Diagnostics (RS-485) via microUSB

FilenameFile TypeDocuments By Language
VDM300-At-a-Glance pdf Chinese English
vdm300-vapor-delivery-module-data-sheet pdf Chinese English German Japanese French Korean Russian Romanian Spanish
Installation & Operation Manual pdf English
EtherCAT® Supplemental Manual - VDM300 pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English

Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: VDM3 - 1

Series
  Inlet Fitting
VDM3
  1 - 1/4” VCR Male
    2 - 1/4” Tube Compression

 

FilenameFile Type
VDM3-1 STEP
VDM3-2 STEP
A Windows™ based application providing expanded control of SLA and SLAMf Enhanced Series MFCs and Pressure Controllers.