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直接真空测量

挑战:降低真空传感器漂移量和过程工具的停机时间

绝大多数基于腔体的制造工艺需要创建、测量和精确控制真空条件,以便:

  • 清洁操作:在工艺开始之前将腔室抽吸到高真空状态,可以将污染水平降低到 PPT(万亿分之)的范围。
  • 轻松操作:大多数薄膜涂层 - 特别是金属 - 不能在大气压力下进行沉积。
  • 重复操作:真空环境有利于重复进行薄膜工艺,因为每当工艺进行时就会排出污染物(O2、H2O、H2 等)。

要实现这些效果,则需要非常可靠和可重复的直接真空测量 - 工艺诱生的传感器污染会造成漂移输出以及腔中压力测量不稳定。

解决方案:XacTorr® 系列数字电容压力计

Brooks Instrument XacTorr® CMX 系列的数字真空电容压力计具有业界领先功能,能提高测量的可靠性,从根本上消除漂移,抵制隔膜污染,并尽量减少热效应。因此,该电容压力计非常可靠,能提供功能强大的工具,帮助确保每次将腔室处理为真空条件时,其无污染度符合您的需求。

产品

CMC 系列
CMC 系列
XacTorr® 系列
XacTorr® 系列
产品类型 Capacitance Manometer Capacitance Manometer
区别

Unheated

Heated or Unheated

Analog or Digital

 

压力范围

10, 20, 50, 100, 500 and 1000 Torr Full Scale

0.1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr

mBar & Pascal References Available

精度

Type A = 0.25% of Reading

Type B = 0.50% of Reading

CMX0: 0.25% of Reading

CMX1, CMX2: 1 to 1000 Torr Ranges = 0.15% of Reading

CMX1, CMX2: < 1 Torr Ranges = 0.25% of Reading

温度 Ambient

CMX0 Ambient

CMX1 45°C

CMX2 100°C

CMX3 160°C

模拟通讯

0-10 Vdc (<10k Ohm load)

0-10 Vdc 5k Ohm load
数字通讯

DeviceNet™

RS485

大小 Compact Large