モデル GF040
GF040 エラストマーシール式質量流量コントローラーおよび流量計
デバイス1台で さまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現
1台のデバイスで複数のガスに対応するので、プロセスの柔軟性と生産性が最大限に向上します。ブルックスインスツルメント独自の MultiFlo™ テクノロジーを搭載したGF40シリーズエラストマシールマスフローコントローラ/メータは、多様なガスを使用する、頻繁にガスの種類を変更する、またはガスの測定と制御精度は維持したまま、範囲を再調整する必要のあるシステム、プロセス、施設に最適です。これまでにない流量測定と制御性能を備え、プロセスの柔軟性を新たな次元に高めます。
特長
- 設定可能なマルチガス/マルチレンジ機能
- Brooks® MultiFlo™ ガスデータベースは、補正する関数を確立するための数千もの実ガステストに基づく
- 負荷の高いアプリケーションでも、1秒未満の応答時間とセットポイント1%の精度
- さまざまなガスに対応
- 高速応答のハステロイ製センサ
- ツールの通信系と独立し、アクセスしやすい診断サービスポートを搭載
- DeviceNet™, EtherCAT®, Profibus®, RS-485 アナログインターフェースなど、マルチプロトコル通信オプション
メリット
- MFC（マスフローコントローラ）をガスラインから取り外さず、新しいガスキャリブレーションとフルスケールレンジに対応するMultiFlo™ テクノロジーを搭載し、プロセス生産稼働時間を最大限に拡張
- シンプルでわかりやすいMultiFlo™ プログラミング：異なるガスへの選択切替が 60秒未満で可能
- OEMや大規模なエンドユーザー様が所有するガス種と流量レンジが固定されたコントローラーの在庫削減
- グローバルスタンダードに基づいた高性能の計測システムやキャリブレーションにより、優れたプロセスガス精度を実現
- 耐腐食性センサにより、最大の収率とスループットを保証するセンサの長期安定性を提供
- ユーザーがアクセスしやすいサービスポートを搭載し、トラブルシューティングと診断作業を簡素化
- 様々なアプリケーションで柔軟なパフォーマンスを合理的コストで実現するエラストマシール
- 数種類のプロトコル通信インターフェースにより、既存システムへの組み込みをサポート
How to Write LabVIEW™ Programs for a Mass Flow Meter
| 使用媒体 | Gas |
|---|---|
| 流量測定原理 | Thermal (TMF) |
| 流量範囲 | 3 sccm - 50 slpm |
| 精度範囲 | 1% of S.P. 35-100%, 0.35% of FS 2-35% |
| 却下率 | 2-100% |
| 再現性 | 0.20% SP |
| 最大圧力 | 150 psi |
| 動作温度 | 5°C - 50°C |
| 測定／制御 | Measure & Control (Controller), Measure Only (Meter) |
| 最大流量 | 50 slpm |
| 最高温度 | 50 celsius |
| シールオプション | Elastomer |
| 精度（流量比） | ±1.0% |
| 接続性 | Analog (0–5 V), Analog (0–10 V), Analog (0–20 mA), DeviceNet, EtherCAT, Profibus, RS485 |
ファイル名
ファイル形式
言語別ドキュメント
Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.
Example: GF040 - N2 - S5
| Meter Series | Fitting | Communications/Connector |
| GF040 | XX - 9/16” - 18 UNF | P5 - Profibus / Analog (Input 0-5 V; Output 0-5 V); 9-Pin Female D conn. / 15-Pin Male D conn. |
| T1 - 1/8” tube compression | P0 - Profibus / Analog (Input 0-20 mA; Output 0-20 mA); 9-Pin Female D conn. / 15-Pin Male D conn. | |
| T2 - 1/4” tube compression | P4 - Profibus / Analog (Input 4-20 mA; Output 4-20 mA); 9-Pin Female D conn. / 15-Pin Male D conn. | |
| T3 - 3/8” tube compression | E5 - EtherCAT™ / (Output 0-5 V); 2xRJ45 signal 2-Pin power | |
| T4 - 1/2” tube compression | D5 - DeviceNet / Analog (Output 0-5 V); 5-Pin mico signal and power / 3-Pin analog signal | |
| T6 - 6 mm tube compression | S5 - RS485: (S-Protocol)/Analog (Input 0-5 V; Output 0-5 V)15-Pin Male D (Brooks Protocol) | |
| T0 - 10 mm tube compression | S1 - RS485: (S-Protocol)/Analog (Input 0-10 V; Output 0-10 V); 15-Pin Male D (Brooks Protocol) | |
| R2 - 1/4” RC (BSP) | S0 - RS485 (S-Protocol)/Analog (Input 0-20 mA ; Output 0-20 mA); 15-Pin Male D (Brooks Protocol) | |
| VX - 1/4” VCR | S4 - RS485 (S-Protocol)/Analog (Input 4-20 mA; Output 4-20 mA); 15-Pin Male D (Brooks Protocol) | |
| O2 - 1/4” VCO | L5 - RS485 (L-Protocol)/Analog (Input 0-5 V; Output 0-5 V); 15-Pin Male D (Celerity/Legacy Protocol) | |
| N2 - 1/4” NPT | L1 - RS485 (L-Protocol)/Analog (Input 0-10 V; Output 0-10 V); 15-Pin Male D (Celerity/Legacy Protocol) |
ファイル名
ファイル形式
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