モデル 5866RT
5866RT エラストマーシール式圧力コントローラーおよび流量計
汎用性が高く、幅広い流量測定レンジの高圧アプリケーションに対応
ブルックスインスツルメントのモデル5866RTメタルまたはエラストマシールプレッシャーコントローラ/フローメータは、圧力を制御すると同時に流量レートを測定します。モデル5866RTは、リモートのプレッシャートランスデューサ信号を受信し、一体型PID制御エレクトロニクスと制御バルブを使用し、圧力を必要なレベルで一定に保ちます。シール、電解研磨の接ガス・接液表面、幅広い圧力レンジ、流量測定レンジのオプションを備え、5866RTは、さまざまなプロセスで優れた結果をもたらしています。
特長
- 一体型プレッシャートランスデューサ
- 応答時間：0.8秒以下
- 0 - 3 sccmから0 – 30,000 sccmのフルスケール流量レートの幅広い測定レンジ
- 幅広いフルスケール圧力（最大圧力 1500 psig）
- オプション対応のメタルシール
- 電解研磨された接ガス・接液表面（オプション）
- 電動式バルブオーバーライド
- 上流または下流制御に最適
- アナログインターフェース
メリット
- ドループ、ヒステリシス、ブーストを制御
- 高リークインテグリティ
- 圧力や流量を強力に制御
- トップに取り付けたDIPスイッチでダイナミックなチューニング調節
| 流量測定原理 | Pressured-based (P-MFC) |
|---|---|
| 技術原理 | Pressure Control |
| 測定／制御 | Measure & Control (Controller) |
| 最大流量 | 30000 sccm |
| 最大圧力 | 1500 psi |
| 圧力制御範囲 | 100:1 |
| 最大使用圧力 | 103 bar |
| 最高温度 | 65 celsius |
| シールオプション | Elastomer, Metal |
| 精度（フルスケール） | ±1% FS, ±5% FS |
| 精度 | ±1% F.S. including linearity at the calibration conditions | ±1.5% F.S. for flow rates greater than 20 slm |
| 接続性 | Analog (0–5 V) |
| 再現性 | ±0.25% of rate |
| 流量範囲 | 0 to 3 sccm/0 to 30,000 sccm |
| 使用媒体 | Pressure |
| 動作温度 | 0°C - 65°C |