モデル 5850EM / 5851EM
5850EM 金属密閉型マスフローコントローラー
実証された長期安定性。高圧アプリケーション向けの超高清浄性能
5850EMシリーズメタルシールマスフローコントローラは、幅広く使用されている5850E & i シリーズ MFCの性能に基づく安定性を備え、清浄環境において高圧ガス流量を測定・制御します。メタルシール設計と電解研磨による接ガス表面により、優れた流量インテグリティを実現し、安定したガス流量を提供するプロセス全体の効率性を向上します。ガス圧の継続監視や再調整が必要ありません。
特長
- 長期的なゼロ点安定性：0.2％フルスケール/年以下
- 3秒以下のセトリングタイムで、微少オーバーシュート/アンダーシュートによる変更に対応
- 幅広い流量レンジ – 3 sccmから30,000 slpm
- 定格高圧力 - 最大1,500 psi
- オプションの強化されたプロセス内部仕上げ - 平均5µインチRa
- 取り外し可能な流量センサ
- 取付姿勢の影響なし
- 他のマスフローコントローラとの機械的/電気的互換性
- TTL準拠の「バルブオフ」およびパージ機能
メリット
- ガス清浄度を向上し、リークを削減するメタル製流路
- 幅広いプロセスとアプリケーション範囲で実証済みの長期安定性と精度
- 信頼性の高いパフォーマンスにより優れた投資利益率を提供
- 連続監視とガス圧の最調整が必要ない取り外し可能な流量センサ
- アナログ専用入力/出力により、取り付けとサービスが容易
| 使用媒体 | Gas |
|---|---|
| 流量測定原理 | Thermal (TMF) |
| 流量範囲 | 3 sccm - 30,000 sccm |
| 精度範囲 | 1% F.S. incl. linearity, 1.5% F.S. incl. linearity >20 slpm |
| 却下率 | 2-3% - 100% |
| 再現性 | 0.2% of rate |
| 最大圧力 | 1500 psi |
| 動作温度 | 5°C - 65°C |
| 測定／制御 | Measure & Control (Controller) |
| 最大流量 | 30000 sccm |
| 最大使用圧力 | 103 bar |
| 最高温度 | 65 celsius |
| シールオプション | Metal |
| 精度（フルスケール） | ±1% FS, ±1.5% FS |
| 接続性 | Analog (0–5 V) |