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  1. GF125 シリーズ メタルシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ

    Brooks Instrument のGF125シリーズメタルシールマスフローコントローラー・メーターはグローバルスタンダードの応答速度、ガスフロー純度及び一時側圧力のふらつきに対応のあるMuttiFlo™テクノロジーを持ったものです。

  2. GF135 シリーズ メタルシールサーマルマスフローコントローラ

    一時側圧力のふらつきに対応のあるGF135マスフローコントローラーは先進的Brooks Instrumentテクノロジーを使用し、リアルタイムでプロセスフローの精度をテストしコントロールすることで、生産性の無駄を低減し、生産性を向上させます。

  3. Quantim® シリーズコリオリ式マスフローコントローラ/メータ

    Brooks InstrumentのQuantim®Coriolisマスフローコントローラ/メータは、微小流量のガスおよび液体を高精度に測定し制御します。

  4. 9861 シリーズ高温マスフローコントローラ/メータ

    Brooks Instrument の9861シリーズ高温マスフローコントローラー・メーターは凝縮性プリカーサー及びドーパンとを高温で供給するためにデザインされています。

  5. 5850EMH シリーズ 高温マスフローコントローラ

    実証済みの安定性と高純度なメタルシールの組み合わせにより、Brooks Instrument の5850EMHシリーズマスフローコントローラーは優れた長期安定性、優れたリーク性能、高いガス純度を高温領域におけるアプリケーションに提供します。

  6. メカニカルプレッシャーゲージ、レギュレータ、スイッチ、トランスミッタ

    Brooksのプレッシャーゲージ、プレッシャーレギュレータ、プレッシャースイッチ/トランスミッタは厳しい環境に適した堅牢な製品を提供します。

  7. メタルシール プレッシャーコントローラ

    Brooks Instrumentの最大級の圧力コントロール制御性を持ったメタルシール圧力コントローラーで、効果的な正確な圧力制御を実施し、プロセスの結果を良くします。

  8. エラストマシールプレッシャーコントローラ

    Brooks Instrumentエラストマーシール圧力コントローラーは、屈強な耐久性のあるそしてコスト効果があるクローズドループ制御のコントローラーです。

  9. 金属管面積式流量計

    Brooks Instrumentのメタルチューブ面積式流量計(ロータメーター)は実証された耐久性・可能にするメタルボディを採用し、高い精度・再現性で液体またはガス流量計測を可能にします。