BrooksのNRS™コントロールバルブは、極低流量のガスおよび液体アプリケーション向けに特別に設計されています。
Brooks Instrumentのエラストマーシール サーマル マスフローコントローラー・メーターは高精度、高コストパフォーマンス、耐久性高い流量制御・測定に最適です。
SLA 5800シリーズのエラストマーシールマスフローコントローラは、安定した精密かつ高精度の質量流量の制御と測定を行います。
GF40シリーズのエラストマーシールマスフローコントローラー/メータには、プロセスツールの生産性を最大限に高める、MultiFloテクノロジー(ガス種/流量レンジ変更機能)を搭載しています。
Brooks の4800シリーズエラストマシールマスフローコントローラ/メータは、多くの標準的なガスに対して応答時間が早く、コンパクトなデザインになっています。
5700シリーズエラストマーシールマスフローメータは、パージガス、プロセス分析、分析フロー測定用で、信頼性とコストパフォーマンスの高いガス流量計です。
Brooks の5850E＆iシリーズエラストマシールマスフローコントローラ/メータは、製造業で要求される長期的な安定性と精度を提供します。
Brooks Instrument のGF80シリーズメタルシールマスフローコントローラー・メーターは順応性のある、高費用効果な、マルチガス/マルチレンジ流量測定及びコントロールを提供します。
Brooks Instrument のGF100シリーズメタルシールマスフローコントローラー・メーターはグローバルスタンダードの精度、生産性、ガスフロー純度及び順応性のあるMuttiFlo™テクノロジーを持ったものです。
実証済みの安定性と高純度なメタルシールの組み合わせにより、Brooks Instrument の5850EMHシリーズマスフローコントローラーは優れた長期安定性、優れたリーク性能、高いガス純度を高圧領域におけるアプリケーションに提供します。