蒸気供給モジュール

蒸気供給モジュールは、超高清浄度の水蒸気を供給する自給式モジュールです。フラッシュ気化システムと比較して、優れた精度、大流量率、幅広い制御範囲、低電力消費を実現します。

主な用途

蒸気供給モジュールにより、プロセスの可能性を無限に広げる。

	VDM300
機種	DI Water Vapor Delivery Module
特長	Ultra High Purity DIW Vapor Highest Flow Accuracy Compact Design EtherCAT interface
Vaporization Method	Vapor Draw
流体タイプ	UHP DI Water
流量範囲（フルスケール容量）	3000 sccm
最大圧力	Vapor Outlet: 200 torr