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蒸気供給モジュール

蒸気供給モジュールは、超高清浄度の水蒸気を供給する自給式モジュールです。フラッシュ気化システムと比較して、優れた精度、大流量率、幅広い制御範囲、低電力消費を実現します。

主な用途

  • シリコン半導体の金属エッチング後プロセス
  • シリコン半導体メタルストリッププロセス
  • 低大気圧環境における超高清浄度加湿
蒸気供給モジュールにより、プロセスの可能性を無限に広げる。

製品

VDM300
VDM300
Product Type

DI Water Vapor Delivery Module

 

Differentiator

Ultra High Purity DIW Vapor

Highest Flow Accuracy

Compact Design

EtherCAT interface

Vaporization Method Vapor Draw
流体タイプ UHP DI Water
流量範囲(フルスケール容量)

3000 sccm

最大圧力

Vapor Outlet: 200 torr