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蒸気供給モジュールは、超高清浄度の水蒸気を供給する自給式モジュールです。フラッシュ気化システムと比較して、優れた精度、大流量率、幅広い制御範囲、低電力消費を実現します。
DI Water Vapor Delivery Module
Ultra High Purity DIW Vapor
Highest Flow Accuracy
Compact Design
EtherCAT interface
3000 sccm
Vapor Outlet: 200 torr