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製品 圧力 / 真空製品 メカニカルプレッシャーゲージ、レギュレータ、スイッチ、トランスミッタ PGシリーズゲージ
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PGシリーズ機械式圧力計

高純度用途向けに、信頼性が高く効率的な局所圧力監視を実現。
モデル PG15（C15およびS15） / PG20（C20およびS20）

PG15およびPG20メカニカル圧力計は、半導体業界の厳しい高純度アプリケーション向けに設計・開発されました。ステンレス鋼製のこれらのマルチスケールダイヤル式圧力計は、耐久性に優れた測定機器であり、1.5インチまたは2インチのダイヤルサイズに加え、様々なプロセス接続、圧力範囲、ソケット方向に対応しているため、現場での圧力監視を確実かつ効率的に行うことができます。世界をリードする圧力計メーカーから、高精度で高性能な製品をお求めください。

お問合せ先

アプリケーションエンジニアにお問合せ：

電話：03-5633-7100

PG シリーズ データシート

特徴

  • 精密な性能を提供するステンレススチール製ムーブメント
  • 316Lステンレス鋼製の接液部
  • 厳格な清浄度および安全基準を満たすため、酸素を含まないチャンバー内でゲージを溶接する。

利点

  • 機械式圧力計は、圧力を現場で監視するための耐久性があり効率的な方法を提供する。

アプリケーション

  • 半導体製造プロセスで使用されるガス供給システムおよびツールには、以下が含まれます。
    • バルクガス
    • ガスキャビネット
    • ガス配給
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製品タイプ
機械式圧力計
{58EE102D-966D-40FB-847A-4CE8A05E0390}
差別化要因

高純度

{8C1D9CF4-A047-47E5-8B60-DCA9345494D4}
パフォーマンス
{BCE97E3A-6AB4-4FF9-AA3C-DE8806BC5A98}
圧力レンジ

15～4,000 PSI

{D5E3CCA9-7DB7-4529-9166-4D98263C7B70}
精度
PG15：3/2/3% またはクラスB、PG20：2/1/2% またはクラスA
{9BF3C762-3A99-476E-8803-5B5699122EDA}
破裂圧力
400%
{3FDCA61E-85EA-41BA-B093-4E1BE6D8043D}
耐圧
110%フルスケール
{96AFF225-26AB-415C-B9DD-B3204F27C8F7}
評価
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安全対策
制限のない後方吹き出しプラグ
{F38B86EC-6DA4-400F-85C7-C2DD796D2180}
ヘリウム漏れチェック
4 x 10-9 船内標準 cc/秒
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清潔さ
ASME B40.1 レベルIV
{6DED59C7-53DC-4A73-86C1-5D4199D961C3}
メカニカル
{2CE03364-084A-4FAE-A477-74D832523BA3}
ハウジング
300シリーズステンレス鋼、電解研磨仕上げ
{278E35B0-C665-4348-B821-7A4AD6F2999E}
ベゼルとレンズ素材
透明ポリカーボネート製、スナップ式またはネジ止め式
{CE3DA0D6-5A16-4487-89C1-649516DAC2DC}
ソケット材質
316Lステンレス鋼
PG15（C15およびS15） PG20（C20およびS20）
差別化要因 1.5インチの文字盤サイズ 2インチの文字盤サイズ
圧力レンジ 15～4,000 PSI 15～4,000 PSI
精度 3/2/3% またはクラス B 2/1/2% またはクラスA
ソケットの向き センターバックまたはステムマウント 2/1/2% またはクラスA
Filename File Type Documents By Language
Data Sheet pdf English
Installation and Operation Manual pdf English

以下のサンプルモデルコードを使用して、下記に記載されているCAD構成を翻訳してください。サポートが必要な場合、またはお探しのものが見つからない場合は、アプリケーションエンジニアリング部門またはお近くのブルックス・インスツルメントの担当者までお問い合わせください。

例：C - 15 - CS

ソケットの向き  モデル

繋がり

C

 15

CS -1.125インチ Cシール - 1.5インチダイヤルのみ