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ホーム 製品 圧力 / 真空製品 メカニカルプレッシャーゲージ、レギュレータ、スイッチ、トランスミッタ 122 シリーズゲージ

122 シリーズメカニカルプレッシャーゲージ

高清浄度アプリケーション用に効率的かつ正確に圧力をローカルでモニタリング
モデル S122 / C122 / F122

ブルックスインスツルメント122シリーズメカニカルプレッシャーゲージは、半導体産業の要求の厳しい高清浄アプリケーション向けに設計･開発されています。ステンレス製のボディフレームで、1%フルスケールの高精度を実現します。2種類のインチゲージは、さまざまなプロセス接続、圧力レンジ、ソケット向きに対応する耐久性の高いデバイスで、効率的かつ正確に圧力をローカルでモニタリングします。

お問合せ先

アプリケーションエンジニアにお問合せ：

電話：03-5633-7100

122 シリーズ データシート

特長

  • 精密性能を実現するステンレス製可動部
  • 316Lステンレスの接ガス・接液部
  • 無酸素チャンバの溶接ゲージで、厳しい清浄性･安全性ガイドラインにも適合します。
  • 豊富なモデルと圧力レンジをそろえ、固有の設計ニーズをサポート

メリット

  • 確実かつ効率的に圧力をローカルでモニタリング

用途

半導体処理に使用されるガス供給システムおよびツール：

  • バルクガス
  • ガスキャビネット
  • ガス供給
機種
Mechanical Pressure Gauges
特長

High-Purity

Performance
圧力レンジ

- 30" - 4000 psi

精度
1% Full Scale
Burst Pressure
400%
Proof Pressure
110%
Ratings
Safety Relief
Unrestricted rear blow-out plug
Helium Leak Check
4 x 10-9 Inboard Std. cc/sec
Cleanliness
Cleaned for oxygen service to ANSI B40.1 level IV specifications
Mechanical
Housing
300 Series Stainless Steel, electropolished
Bezel and Lens Material
One-piece polycarbonate, screw-on
Socket Material
316L Stainless Steel
Movement

300 Series Stainless Steel

Bourdon Tube
316L Stainless Steel
Process Connections

Face-seal male, Face-seal swivel male,

Face-seal swivel female and 1/4" NPT male

Dial
White with Black markings, "Use no Oil" is red
Surface Finish

Not Applicable

S122 C122 F122
特長 Socket Orientation Socket Orientation Socket Orientation
圧力レンジ Vacuum - 4,000 psi Vacuum - 4,000 psi Vacuum - 4,000 psi
精度 1% FS 1% FS 1% FS
Socket Orientation Stem Mounted

Center Back Mounted

Center Back Mounted with SS Front Flange
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Data Sheet pdf English