122 シリーズメカニカルプレッシャーゲージ

高清浄度アプリケーション用に効率的かつ正確に圧力をローカルでモニタリング
モデル S122 / C122 / F122

ブルックスインスツルメント122シリーズメカニカルプレッシャーゲージは、半導体産業の要求の厳しい高清浄アプリケーション向けに設計・開発されています。ステンレス製のボディフレームで、1%フルスケールの高精度を実現します。2種類のインチゲージは、さまざまなプロセス接続、圧力レンジ、ソケット向きに対応する耐久性の高いデバイスで、効率的かつ正確に圧力をローカルでモニタリングします。

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アプリケーションエンジニアにお問合せ:

電話:03-5633-7100

122 シリーズ データシート

特長

  • 精密性能を実現するステンレス製可動部
  • 316Lステンレスの接ガス・接液部
  • 無酸素チャンバの溶接ゲージで、厳しい清浄性・安全性ガイドラインにも適合します。
  • 豊富なモデルと圧力レンジをそろえ、固有の設計ニーズをサポート

メリット

  • 確実かつ効率的に圧力をローカルでモニタリング

用途

半導体処理に使用されるガス供給システムおよびツール:

  • バルクガス
  • ガスキャビネット
  • ガス供給
{0611827E-BDAA-489D-B1E4-90280E983F1C}
製品タイプ
Mechanical Pressure Gauges
{58EE102D-966D-40FB-847A-4CE8A05E0390}
差別化要因

High-Purity

{8C1D9CF4-A047-47E5-8B60-DCA9345494D4}
パフォーマンス
{BCE97E3A-6AB4-4FF9-AA3C-DE8806BC5A98}
圧力レンジ

- 30" - 4000 psi

{D5E3CCA9-7DB7-4529-9166-4D98263C7B70}
精度
1% Full Scale
{9BF3C762-3A99-476E-8803-5B5699122EDA}
Burst Pressure
400%
{3FDCA61E-85EA-41BA-B093-4E1BE6D8043D}
Proof Pressure
110%
{96AFF225-26AB-415C-B9DD-B3204F27C8F7}
評価
{0702E29E-FE1E-4AAA-9CCA-87C8CADD4615}
Safety Relief
Unrestricted rear blow-out plug
{F38B86EC-6DA4-400F-85C7-C2DD796D2180}
Helium Leak Check
4 x 10-9 Inboard Std. cc/sec
{9E1347BE-6B8B-4E22-8450-248E460C1061}
Cleanliness
Cleaned for oxygen service to ANSI B40.1 level IV specifications
{6DED59C7-53DC-4A73-86C1-5D4199D961C3}
メカニカル
{2CE03364-084A-4FAE-A477-74D832523BA3}
ハウジング
300 Series Stainless Steel, electropolished
{278E35B0-C665-4348-B821-7A4AD6F2999E}
Bezel and Lens Material
One-piece polycarbonate, screw-on
{CE3DA0D6-5A16-4487-89C1-649516DAC2DC}
Socket Material
316L Stainless Steel
{D19E13DD-8E08-4337-B30A-586282BCE0FC}
Movement

300 Series Stainless Steel

{A5558470-8BFF-42B5-B293-834A69FA1BC4}
Bourdon Tube
316L Stainless Steel
{AF45CDCD-7B72-41C9-A00D-3FFB5A402667}
プロセス接続

Face-seal male, Face-seal swivel male,

Face-seal swivel female and 1/4" NPT male

{057116C4-C19C-4EB0-8FC9-120C57D0B2AC}
Dial
White with Black markings, "Use no Oil" is red
{C7C38FE5-5267-483D-9763-8BFD673565A7}
Surface Finish

Not Applicable

S122 C122 F122
差別化要因 Socket Orientation Socket Orientation Socket Orientation
圧力レンジ Vacuum - 4,000 psi Vacuum - 4,000 psi Vacuum - 4,000 psi
精度 1% FS 1% FS 1% FS
Socket Orientation Stem Mounted

Center Back Mounted

Center Back Mounted with SS Front Flange

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