Skip links

5866RT エラストマシールプレッシャーコントローラ/フローメータ

汎用性が高く、幅広い流量測定レンジの高圧アプリケーションに対応
モデル 5866RT

ブルックスのモデル 5866RT メタルまたはエラストマシールプレッシャーコントローラ/フローメータは、圧力を制御すると同時に流量レートを測定します。モデル5866RT は、リモートのプレッシャートランスデューサ信号を受信し、一体型PID 制御エレクトロニクスと制御バルブを使用し、圧力を必要なレベルで一定に保ちます。シール、電解研磨の接ガス・接液表面、幅広い圧力レンジ、流量測定レンジのオプションを備え、5866RT は、さまざまなプロセスで優れた結果をもたらしています。

お問合せ先

アプリケーションエンジニアにお問合せ:

電話:03-5633-7100

5866RT データシート

特長

  • 一体型プレッシャートランスデューサ
  • 応答時間:0.8秒以下
  • 0 - 3 sccmから0 – 30,000 sccmのフルスケール流量レートの幅広い測定レンジ
  • 幅広いフルスケール圧力(最大圧力 1500 psig)
  • オプション対応のメタルシール
  • 電解研磨された接ガス・接液表面(オプション)
  • 電動式バルブオーバーライド
  • 上流または下流制御に最適
  • アナログインターフェース

メリット

  • ドループ、ヒステリシス、ブーストを制御
  • 高リークインテグリティ
  • 圧力や流量を強力に制御
  • トップに取り付けたDIPスイッチでダイナミックなチューニング調節

用途

  • 薄膜プロセス
  • 化学研究
  • 石油化学研究
  • 実験室・ラボ
  • 燃料電池
  • ライフサイエンス
機種

Pressure Controller & Flow Meter

特長

Remote Transducer

Pressure Control & Flow Measurement

Performance
流量範囲(フルスケール容量)

Any range 0 to 3 sccm to 0 to 30,000 sccm N2 Eq.

精度

Flow Accuracy:

 ±1% F.S. including linearity at the calibration conditions

±1.5% F.S. for flow rates greater than 20 slm

Repeatability

±0.25% of rate

Temperature Coefficient

0.1% F.S. per °C

圧力レンジ
Dependent upon remote pressure transducer
Pressure Control Range

100:1 for a remote transducer with a 0-10 V output

Response Time - NC

Pressure Response Time:

< 0.8 sec typical for a 0-100% command step with <2% pressure overshoot.

Actual pressure response depends on system design.

Ratings
最大圧力
1500 psig
温度レンジ
0 - 65°C
Leak Integrity

Inboard to Outboard

Metal Seal: 1 x 10-10 atm cc/sec He max 

Elastomer Seal: 1 x 10-9 atm cc/sec He max

Mechanical
Seal Material
Elastomer or Metal
Wetted Materials

Wetted Parts: Standard 316L/316L VAR Stainless Steel

Valve Seat: Standard Viton® fluoroelastomers or metal

External/Internal Seals: flouroelastomers or metal

Optional: Buna-N, Teflon® or Kalrez®

Valves

Normally Closed

Normally Open

No Valve (elastomer, upstream configuration only)

Electrical
Analog Communication

0-5 V

デジタル通信

Electrical Connection

15-Pin "D" Connector

Power Supply - Consumption

Normally Closed: 3.5 watts; +15 Vdc (±5%) @ 35 mA, -15 Vdc (±5%) @ 180 mA

Normally Open: 10.5 watts; ±15 Vdc (±5%) @ 350 mA

Diagnostic Capability

Compliance
認定 / 承認
電磁環境適合性

EMC Directive 89/336/EEC EN 61326-1

サイズ

Compact

5866RT
流量範囲(フルスケール容量)

Any range from 0 to 3 sccm to 0 to 30,000 sccm N2 Eq.

Pressure Control Range

100:1 for a remote transducer with a 0-10 V output

最大圧力

1500 psig

Seal Material

Elastomer or Metal Seal

Electrical Connection

15-Pin "D" Connector

FilenameFile TypeDocuments By Language
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English