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CMCシリーズキャパシタンスマノメーター

コスト効率の高い真空測定を実現するコンパクトな非加熱ゲージ
モデル CMC

ブルックスインスツルメントのCMCシリーズキャパシタンスマノメーターは、広範囲な動作温度にわたって信頼性の高い正確な真空測定を実行し、高額な大型非加熱ゲージに代わる経済的な代替品です。コンパクトなデザインと実証された性能で、小型形状のゲージが必要な既存ツールのアップグレード版として理想的です。

全溶接型ボディ設計とインコネル®製接ガス・接液部表面により、最も難易度の高いプロセスでも、信頼性と繰り返し性の高い運転が可能です。精密コンポーネントと幅広い温度補償動作範囲を組み合わせることで、最適な測定安定度を実現するクラス最高のゼロおよびスパン温度係数を提供します。

お問合せ先

アプリケーションエンジニアにお問合せ:

電話:03-5633-7100

CMC シリーズ データシート

特長

  • 10 Torrから1000 Torrまでのプロセスレンジに対応
  • 2種類の精度レベル:0.25%または0.50%の読み取り(オプション)
  • 広範囲な動作温度にわたって卓越した性能を提供
  • 従来の非加熱キャパシタンスマノメーターより40%も小さなコンパクトサイズ
  • 全溶接型ボディ設計とインコネル®製接ガス・接液部表面

メリット

  • 高額な非加熱マノメーターと同等の精度を実現するオプションの高精度キャリブレーション
  • クラス最高のゼロおよびスパン温度係数
  • 狭小なマシンスペースにも組み込める省スペース設計
  • エラーの原因となる内部ストレスを起こす他社製品の設計と比較すると、最適な測定繰り返し性を実現

用途

  • 超電導体製造
  • 薄膜蒸着プロセス - ガラス、ウェブ、光学被膜
  • 生鮮素材のフリーズドライ
  • 医療機器のハイテクコーティング(外科手術器具、歯科用ドリルなど)
Product Type
Capacitance Manometer
Differentiator

Unheated

Performance
温度
Ambient
圧力レンジ

10, 20, 50, 100, 500 and 1000 Torr Full Scale

精度

Type A = 0.25% of Reading

Type B = 0.50% of Reading

Measurement Range
4 Decades
Temperature Effect

On Zero

0.002% FS / °C

 

On Span

0.027% FS / °C

Mechanical
Exposed Materials
Inconel
Over Pressure Limit
45 psia
サイズ
Compact
Electrical
Analog Communication

0-10 Vdc (<10k Ohm load)

Digital Communication

Electrical Connection

15-Pin DSub on 6” cable

9-Pin DSub

5-Pin terminal strip

Power Supply - Consumption
< 200 mW
認定 / 承認
EMC

CE

Directive 89/336/EEC

Environmental Compliance

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006

CMC
温度 Ambient
圧力レンジ 10, 20, 50, 100, 500, 1000 Torr
精度

±0.25% of reading

±0.50% of reading (optional)

Analog Communication 0 - 10 Vdc
Digital Communication
FilenameFile TypeDocuments By Language
Data Sheet pdf English
Installation & Operation Manual pdf English
CE EU Declaration of Conformity Certificate pdf English